蒸镀装置、蒸镀方法及有机EL元件制造方法及图纸

在蒸镀装置(11)中设置有：第一蒸镀源(12)及第二蒸镀源(13)；与该第一蒸镀源(12)及第二蒸镀源(13)连接的共用配管(27)；与共用配管(27)连接并且放出来自第一蒸镀源(12)及第二蒸镀源(13)中的各个蒸镀源的蒸镀颗粒的蒸镀颗粒放出源(29)；与蒸镀颗粒放出源(29)连接的排气阀(32)；和与排气阀(32)连接的排气泵(34)。

Evaporation apparatus, evaporation method, and organic EL element

In the evaporation device (11) is provided with a first evaporation source (12) and two of the evaporation source (13); and the first evaporation source (12) and two of the evaporation source (13) connected to the common pipe (27); and the common piping (27) connected and released from the first steam plating source (12) and two of the evaporation source (13) in the evaporation source of evaporated particles deposited particles released the source (29); and the evaporated particles released the source (29) connected to the exhaust valve (32); and the exhaust valve and exhaust pump connection (32) (34).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于在基板上形成被膜的蒸镀装置及蒸镀方法。本专利技术特别涉及将二种以上的材料共蒸镀的蒸镀装置及蒸镀方法。另外，本专利技术涉及具有通过蒸镀形成的发光层等的有机EL(电致发光)元件。
技术介绍
近年来，平板显示器被应用在各种各样的商品及领域，要求平板显示器的进一步大型化、高画质化、低耗电化。在这种状况下，具有利用了有机材料的电场发光(ElectroLuminescence)的有机EL(电致发光)元件的有机EL显示装置是全固体型，作为在可低电压驱动、高速响应性、自发光性等方面优异的平板显示器，受到高度关注。另外，在上述的有机EL元件中设置有阳极、阴极和形成于该阳极与阴极之间的发光层。另外，在这样的有机EL元件中，为了实现该发光层的发光效率的提高等，在阳极与发光层之间设置空穴注入层、空穴输送层，或者在阴极与发光层之间设置电子注入层、电子输送层。而且，在这样的有机EL元件中，其发光层等各构成要素例如使用真空蒸镀法形成。即，就有机EL元件而言，在设置于蒸镀装置的真空槽内，对作为基底的基板依次放出与各构成要素对应的蒸镀颗粒，各构成要素适当地形成于基板上。另外，已知在有机EL元件中，例如由于为了在发光层获得希望的发光色或提高发光效率等的目的，使用在称为“主体”的母体材料中添加称为“掺杂剂”的添加材料(客体化合物)的掺杂法形成发光层。具体地说，在现有的蒸镀装置中，例如，如下述专利文献1中记载的那样，提出了将主体材料的蒸镀颗粒和掺杂剂材料的蒸镀颗粒共蒸镀来形成发光层的方法。即，如图24所示，该现有的蒸镀装置100包括：产生主体材料103h的蒸镀颗粒的第一蒸镀源101；产生掺杂剂材料103d的蒸镀颗粒的第二蒸镀源102；设置于真空槽104内并且对基板105放出将来自第一蒸镀源101的主体材料103h的蒸镀颗粒和来自第二蒸镀源102的掺杂剂材料103d的蒸镀颗粒混合而得到的混合蒸镀颗粒106的蒸镀颗粒放出源107。在第一蒸镀源101设置有坩埚101a和对该坩埚101a的内部进行加热的加热器101b，第一蒸镀源101对装入坩埚101a内的主体材料103h进行加热，产生其蒸镀颗粒。另外，在第一蒸镀源101上连接有设置了阀门108a的配管108。另外，在该配管108上设置有监测在该配管108内流动的主体材料103h的蒸镀颗粒的颗粒量(蒸镀颗粒的浓度)的速率监测器110。在第二蒸镀源102设置有坩埚102a和对该坩埚102a的内部进行加热的加热器102b，第二蒸镀源102对装入坩埚102a内的掺杂剂材料103d进行加热，产生其蒸镀颗粒。另外，在第二蒸镀源102上连接有设置了阀门109a的配管109。另外，该配管109设置有监测在该配管109内流动的掺杂剂材料103d的蒸镀颗粒的颗粒量(蒸镀颗粒的浓度)的速率监测器111。另外，在配管108及109上连接有一端与蒸镀颗粒放出源107连接的混合配管112的另一端，在该混合配管112内混合主体材料103h的蒸镀颗粒和掺杂剂材料103d的蒸镀颗粒，生成混合蒸镀颗粒106。而且，在该现有的蒸镀装置100中，放出主体材料103h的蒸镀颗粒和掺杂剂材料103d的蒸镀颗粒的混合蒸镀颗粒106，形成由该混合蒸镀颗粒106构成的发光层。现有技术文献专利文献专利文献1：国际公开第2012/098927号小册子
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题然而，在上述的现有蒸镀装置100中，主体材料103h的蒸镀颗粒和掺杂剂材料103d的蒸镀颗粒在混合配管112内混合。因此，在该现有的蒸镀装置100中，由于从配管108流入混合配管112内的主体材料103h的蒸镀颗粒的压力和从配管109流入混合配管112内的掺杂剂材料103d的蒸镀颗粒的压力的相互干涉等，形成的发光层(共蒸镀膜)中的主体材料103h与掺杂剂材料103d的浓度比，跟通过速率监测器110及111分别观测到的主体材料103h的蒸镀颗粒的浓度与掺杂剂材料103d的蒸镀颗粒的浓度之比有时不一致。因此，在该现有的蒸镀装置100中，存在产生以下问题的情况，即，进行主体材料103h和掺杂剂材料103d的共蒸镀的情况下，这些主体材料103h与掺杂剂材料103d的浓度比不能为希望的值，不能高精度地形成这些共蒸镀膜。鉴于上述技术问题，本专利技术的目的在于，提供即使在对二种以上的材料进行共蒸镀的情况下，也能够高精度形成共蒸镀膜的蒸镀装置、蒸镀方法及使用它的有机EL元件。解决技术问题的技术方案为了实现上述目的，本专利技术的蒸镀装置是这样的一种装置，其特征在于，包括：多个蒸镀源；与上述多个蒸镀源连接的至少一个共用配管；与所述至少一个共用配管连接并且放出来自上述多个蒸镀源中的各个蒸镀源的蒸镀颗粒的至少一个蒸镀颗粒放出源；与上述至少一个蒸镀颗粒放出源连接的排气阀；和与上述排气阀连接的排气泵。在如上述那样构成的蒸镀装置中，多个蒸镀源与至少一个共用配管连接，并且来自多个蒸镀源中的各个蒸镀源的蒸镀颗粒从与至少一个共用配管连接的至少一个蒸镀颗粒放出源放出。另外，在至少一个蒸镀颗粒放出源上连接有排气阀及排气泵。由此，通过排气泵能够排出残留在至少一个共用配管的内部及至少一个蒸镀颗粒放出源的内部的不需要的蒸镀颗粒，并且从至少一个蒸镀颗粒放出源相互独立地放出来自多个蒸镀源中的各个蒸镀源的蒸镀颗粒。因此，能够以稳定的蒸镀速率放出来自多个蒸镀源中的各个蒸镀源的蒸镀颗粒，能够将来自多个蒸镀源中的各个蒸镀源的蒸镀颗粒的浓度比形成为希望的值。其结果与上述现有例不同，即使在对二种以上的材料进行共蒸镀的情况下，也能够高精度地形成共蒸镀膜。另外，在上述蒸镀装置中，也可以为：上述多个蒸镀源包括：产生主体材料的蒸镀颗粒的第一蒸镀源；和产生掺杂剂材料(dopantmaterial)的蒸镀颗粒的第二蒸镀源，来自上述第一蒸镀源的上述主体材料的蒸镀颗粒和来自上述第二蒸镀源的上述掺杂剂材料的蒸镀颗粒通过一个上述共用配管，从一个上述蒸镀颗粒放出源交替放出。该情况下，能够从一个蒸镀颗粒放出源交替放出主体材料的蒸镀颗粒和掺杂剂材料的蒸镀颗粒，因此能够高精度地形成由主体材料的蒸镀颗粒构成的主体材料层及由掺杂剂材料的蒸镀颗粒构成的掺杂剂材料层，还能够高精度地形成由这些主体材料层及掺杂剂材料层构成的共蒸镀膜。另外，在上述蒸镀装置中，优选：上述第一蒸镀源经由第一开关阀与上述一个共用配管连接，上述第二蒸镀源经由第二开关阀与上述一个共用配管连接，在上述第一开关阀上连接有用于排出来自上述第一蒸镀源的上述主体材料的蒸镀颗粒的第一排气用泵，在上述第二开关阀上连接有用于排出来自上述第二蒸镀源的上述掺杂剂材料的蒸镀颗粒的第二排气用泵。该情况下，总是同时使第一蒸镀源及第二蒸镀源动作，能够交替放出主体材料的蒸镀颗粒和掺杂剂材料的蒸镀颗粒。其结果是，主体材料及掺杂剂材料的各蒸镀颗粒的蒸镀速率控制变得容易，能够容易地形成高品质的共蒸镀膜。另外，在上述蒸镀装置中，也可以为：上述多个蒸镀源包括：产生主体材料的蒸镀颗粒的第一蒸镀源；产生掺杂剂材料的蒸镀颗粒的第二蒸镀源；和产生辅助材料的蒸镀颗粒的第三蒸镀源，来自上述第一蒸镀源的上述主体材料的蒸镀颗粒、来自上述第二蒸镀源的上述掺杂剂材料的蒸镀颗粒和来自上述第三蒸镀源的上述辅助材料的蒸镀颗粒通过一个上述共用配管，从本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀装置，其特征在于，包括：多个蒸镀源；与所述多个蒸镀源连接的至少一个共用配管；与所述至少一个共用配管连接并且放出来自所述多个蒸镀源中的各个蒸镀源的蒸镀颗粒的至少一个蒸镀颗粒放出源；与所述至少一个蒸镀颗粒放出源连接的排气阀；和与所述排气阀连接的排气泵。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.08.01 JP 2014-1582201.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：多个蒸镀源；与所述多个蒸镀源连接的至少一个共用配管；与所述至少一个共用配管连接并且放出来自所述多个蒸镀源中的各个蒸镀源的蒸镀颗粒的至少一个蒸镀颗粒放出源；与所述至少一个蒸镀颗粒放出源连接的排气阀；和与所述排气阀连接的排气泵。2.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于：所述多个蒸镀源包括：产生主体材料的蒸镀颗粒的第一蒸镀源；和产生掺杂剂材料的蒸镀颗粒的第二蒸镀源，来自所述第一蒸镀源的所述主体材料的蒸镀颗粒和来自所述第二蒸镀源的所述掺杂剂材料的蒸镀颗粒通过一个所述共用配管，从一个所述蒸镀颗粒放出源交替放出。3.如权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于：所述第一蒸镀源经由第一开关阀与所述一个共用配管连接，所述第二蒸镀源经由第二开关阀与所述一个共用配管连接，在所述第一开关阀上连接有用于排出来自所述第一蒸镀源的所述主体材料的蒸镀颗粒的第一排气用泵，在所述第二开关阀上连接有用于排出来自所述第二蒸镀源的所述掺杂剂材料的蒸镀颗粒的第二排气用泵。4.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于：所述多个蒸镀源包括：产生主体材料的蒸镀颗粒的第一蒸镀源；产生掺杂剂材料的蒸镀颗粒的第二蒸镀源；和产生辅助材料的蒸镀颗粒的第三蒸镀源，来自所述第一蒸镀源的所述主体材料的蒸镀颗粒、来自所述第二蒸镀源的所述掺杂剂材料的蒸镀颗粒和来自所述第三蒸镀源的所述辅助材料的蒸镀颗粒通过一个所述共用配管，从一个所述蒸镀颗粒放出源依次放出。5.如权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于：所述第一蒸镀源经由第一开关阀与所述一个共用配管连接，所述第二蒸镀源经由第二开关阀与所述一个共用配管连接，所述第三蒸镀源经由第三开关阀与所述一个共用配管连接，在所述第一开关阀上连接有用于排出来自所述第一蒸镀源的所述主体材料的蒸镀颗粒的第一排气用泵，在所述第二开关阀上连接有用于排出来自所述第二蒸镀源的所述掺杂剂材料的蒸镀颗粒的第二排气用泵，在所述第三开关阀上连接有用于排出来自所述第三蒸镀源的所述辅助材料的蒸镀颗粒的第三排气用泵。6.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于：所述多个蒸镀源包括：产生主体材料的蒸镀颗粒的第一蒸镀源；和产生掺杂剂材料的蒸镀颗粒的第二蒸镀源，作为所述至少一个共用配管，设置有第一共用配管、第二共用配管、第三共用配管及第四共用配管，作为所述至少一个蒸镀颗粒放出源，设置有与所述第一共用配管、第二共用配管、第三共用配管及第四共用配管分别连接的第一蒸镀颗粒放出源、第二蒸镀颗粒放出源、第三蒸镀颗粒放出源及第四蒸镀颗粒放出源，作为所述排气阀，设置有与所述第一蒸镀颗粒放出源、第二蒸镀颗粒放出源、第三蒸镀颗粒放出源及第四蒸镀颗粒放出源分别连接的第一排气阀、第二排气阀、第三排气阀及第四排气阀，所述第一蒸镀源经由第一开关阀及第三开关阀与所述第一共用配管及第二共用配管连接，并且所述第一蒸镀源经由第一开关阀及第四开关阀与所述第三共用配管及第四共用配管连接，所述第二蒸镀源经由第二开关阀及第五开关阀与所述第一共用配管及第二共用配管连接，并且所述第二蒸镀源经由第二开关阀及第六开关阀与所述第三共用配管及第四共用配管连接。7.如权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于：在所述第一排气阀、第二排气阀、第三排气阀及第四排气阀上连接有一个排气泵。8.如权利要求1～7中任一项所述的蒸镀装置，其特征在于：在所述多个蒸镀源中的各个蒸镀源与所述至少一个共用配管之间设置有对来自对应的蒸镀源的蒸镀颗粒的产生量进行监测的速率监测器。9.如权利要求1～8中任一项所述的蒸镀装置，其特征在于：所述多个蒸镀源中的各个蒸镀源包括坩埚和对该坩埚的内部进行加热的加热器。10.一种蒸镀方法，使用蒸镀装置，进行使蒸镀颗粒附着于基板上形成被膜的蒸镀工序，该蒸镀装置包括：多个蒸镀源；与所述多个蒸镀源连接的至少一个共用配管；与所述至少一个共用配管连接并且放出来自所述多个蒸镀源中的各个蒸镀源的蒸镀颗粒的至少一个蒸镀颗粒放出源；与所述至少一个蒸镀颗粒放出源连接的排气阀；和与所述排气阀连接的排气泵，该蒸镀方法的特征在于：在所述蒸镀工序中，通过交替使与第一蒸镀源及第二蒸镀源分别连接的第一开关阀及第二开关阀动作，使所述第一蒸镀源及第二蒸镀源交替与一个共用配管导通，蒸镀由主体材料的蒸镀颗粒构成的主体材料层和由掺杂剂材料的蒸镀颗粒构成的掺杂剂材料层。11.如权利要求10所述的蒸镀方法，其特征在于：在所述蒸镀工序中，依次进行形成所述主体材料层的主体材料层形成工序和形成所述掺杂剂材料层的掺杂剂材料层形成工序，在所述主体材料层形成工序中，蒸镀中的工序是下述这样的工序：所述第一蒸镀源及第二蒸镀源同时动作，并且，所述第一开关阀将所述第一蒸镀源与所述1个共用配管连接，所述第二开关阀将所述第二蒸镀源与第二排气用泵连接，所述排气阀关闭，并且，所述第二排气用泵动作，蒸镀后的工序是下述这样的工序：所述第一蒸镀源及第二蒸镀源同时动作，并且，所述第一开关阀将所述第一蒸镀源与第一排气...

【专利技术属性】
技术研发人员：越智贵志，川户伸一，小林勇毅，松永和树，菊池克浩，市原正浩，松本荣一，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP