一种自动减薄机制造技术

本实用新型专利技术提供一种自动减薄机。本实用新型专利技术的自动减薄机包括砂轮系统和两个以上工作系统，所述砂轮系统包括砂轮轴和固定在所述砂轮轴上的砂轮，所述工作系统包括工作轴和固定在所述工作轴上的工作盘，所述工作盘与所述砂轮相对设置，所述砂轮在工作状态下与每一工作系统的工作盘上的至少一个圆片接触。本实用新型专利技术的自动减薄机提高了砂轮的有效使用率和自动减薄机的产能，进而降低了产品成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及发光二极管(LED)制造领域，具体涉及一种自动减薄机。
技术介绍
衬底是外延层生长的基板，在生产和制作过程中起到支撑和固定的作用。LED衬底主要采用蓝宝石材料，其成分为Al2O3，该材料对光具有一定的吸收，且导热性较差。在利用LED照明的过程中，如果量子阱发光区产生的温度得不到及时的释放，就会造成结温过高，在过高的温度下使用会加速灯具的老化损坏。研磨、抛光作为LED制造的一个工序，用于将在外延生长时的衬底减薄至一定程度，从而使其能够有效地将热量及时散发到基座上，并且提高光的透光效率。在利用研磨设备对基板进行减薄时，由于Al2O3材料非常坚硬，因此通常采用金刚石等材质的砂轮进行减薄。具体地，一般先使用自动减薄机对圆片背面(即蓝宝石衬底面)进行初步减薄，再使用单面精密抛光机对圆片背面进行精密抛光。如图1所示，现有的自动减薄机通常设有砂轮系统和一个与其对应的工作系统，砂轮系统包括砂轮轴(未图示)和固定在砂轮轴上的砂轮11，工作系统包括工作轴(未图示)和固定在工作轴上的工作盘12。在使用上述自动减薄机对工作盘12上的圆片进行减薄时，砂轮11与工作盘12非完全重合，砂轮11的有效使用率仅为30％左右。由于金刚石砂轮价格昂贵，较低的有效使用率会显著提高产品的成本。
技术实现思路
本技术提供一种自动减薄机，其能够提高砂轮的有效使用率，从而降低产品成本。本技术提供一种自动减薄机，包括砂轮系统和两个以上工作系统，所述砂轮系统包括砂轮轴和固定在所述砂轮轴上的砂轮，所述工作系统包括工作轴和固定在所述工作轴上的工作盘，所述工作盘与所述砂轮相对设置，所述砂轮在工作状态下与每一工作系统的工作盘上的至少一个圆片接触。进一步地，所述砂轮位于所述工作盘的上方或侧面。进一步地，所述砂轮系统还包括驱动装置，所述驱动装置与所述砂轮轴连接并且能够驱动所述砂轮轴转动以及驱动所述砂轮朝向所述工作盘运动。进一步地，所述驱动装置驱动所述砂轮轴转动的速度为1050-1100转/分，所述驱动装置驱动所述砂轮朝向所述工作盘运动的速度为0.3-0.7微米/秒。进一步地，所述工作系统还包括驱动装置，所述驱动装置与所述工作轴连接并且能够驱动所述工作轴朝与所述砂轮轴相反的方向转动。进一步地，所述驱动装置驱动所述工作轴转动的速度为55-60转/分。进一步地，自动减薄机包括四个所述工作系统，四个所述工作系统的工作盘围成圆形，并且四个所述工作系统的工作盘均布在所述圆形的圆周方向上。进一步地，所述工作系统还包括用于将所述工作盘真空吸附固定在所述工作轴上的真空系统。进一步地，所述工作系统还包括用于对工作盘上的圆片进行冷却的冷却系统。进一步地，所述工作系统还包括用于对工作盘上的圆片进行测量的测量系统。本技术的自动减薄机，针对一个砂轮系统设置两个以上工作系统，砂轮系统的砂轮在工作状态下能够与每一工作系统的工作盘上的至少一个圆片接触，从而能够对多个工作盘上的圆片进行减薄，既提高了砂轮的有效使用率，又提高了自动减薄机的产能，进而降低了产品成本。附图说明图1为现有的自动减薄机的局部结构示意图；图2为本技术一实施方式的自动减薄机的局部结构示意图。附图标记说明：11、21：砂轮；12、22：工作盘。具体实施方式为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术的附图和实施例，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。如图2所示，本技术的自动减薄机，包括砂轮系统和两个以上工作系统，砂轮系统包括砂轮轴(未图示)和固定在砂轮轴上的砂轮21，工作系统包括工作轴(未图示)和固定在工作轴上的工作盘22，工作盘22与砂轮21相对设置，砂轮21在工作状态下与每一工作系统的工作盘22上的至少一个圆片接触。本技术的自动减薄机，针对一个砂轮系统设置两个以上工作系统，砂轮系统的砂轮21在转动状态下能够与每一工作系统的工作盘22上的至少一个圆片接触，从而能够对多个工作盘22上的圆片进行减薄，既提高了砂轮21的有效使用率，又提高了自动减薄机的产能，进而降低了产品成本。在本技术中，砂轮系统主要用于对工作盘22上的圆片实施减薄工序，而工作系统主要用于承载圆片，从而配合砂轮系统对圆片进行减薄；对其具体结构不作严格限制，可以为本领域的常规结构。其中，砂轮21可以为金刚石砂轮等，其可以常规方式固定在砂轮轴上。本技术对砂轮系统和各工作系统的具体设置方式不作严格限制，只要砂轮21在工作状态下能够与每一工作系统的工作盘22上的至少一个圆片接触即可；可以理解的是，工作轴与砂轮轴的轴心不在一条直线上，从而便于砂轮21与每一工作盘22上的圆片接触。此外，多个工作盘22可以位于同一平面，从而便于对多个工作盘22上的圆片进行批量操作。在一实施方式中，工作轴与砂轮轴可以为立式安装，此时砂轮21位于工作盘22的上方；在另一实施方式中，工作轴与砂轮轴还可以为卧式安装，此时砂轮21位于工作盘22的侧面，例如左方或右方。本技术对工作轴与砂轮轴的设置方式不作严格限制，可根据实际情况合理设置。进一步地，砂轮系统还包括驱动装置(未图示)，驱动装置与砂轮轴连接并且能够驱动砂轮轴转动以及驱动砂轮21朝向工作盘22运动。该驱动装置能够对砂轮轴的转速以及砂轮21朝向工作盘22的运动速度(即进刀速度)进行调节，从而便于需要不同型号的参数要求将圆片减薄至目标厚度。对驱动装置的参数设置要求不作严格限制，可根据实际需要合理设置；例如，驱动装置驱动砂轮轴转动的速度可以设置为1050-1100转/分，驱动装置驱动砂轮21朝向工作盘22运动的速度可以设置为0.3-0.7微米/秒。该设置范围便于得到目标厚度的圆片。此外，工作系统还包括驱动装置(未图示)，驱动装置与工作轴连接并且能够驱动工作轴朝与砂轮轴相反的方向转动。该驱动装置能够使工作轴与砂轮轴反向转动，从而使砂轮21与工作盘22上的圆片相对转动，有利于提高减薄效率。对驱动装置的参数设置要求不作严格限制，可根据实际需要合理设置；驱动装置驱动工作轴转动的速度例如可以设置为55-60转/分。本技术对工作系统的设置个数不作严格限制，可根据砂轮21的尺寸合理设置，只要砂轮21在工作状态下能够与每一工作系统的工作盘22上的圆片接触即可，例如可以设置为2-4个。如图2所示，在一实施方式中，工作系统可设置为四个，四个工作系统的工作盘22可围成圆形，并且四个工作系统的工作盘22可以均布在圆形的圆周方向上。该设置方式能够在最大程度上提高砂轮21的有效使用率，从而降低产品成本。可以理解的是，工作系统还可以包括用于圆片减薄的其它系统，例如用于将工作盘22真空吸附固定在工作轴上的真空系统、用于对工作盘22上的圆片进行冷却的冷却系统以及用于对工作盘22上的圆片进行测量的测量系统等。这些系统可为本领域的常规结构，并且可以常规方式设置在工作系统中，在此不再赘述。在一实施方式中，利用上述自动减薄机对圆片进行减薄；具体地，先在砂轮轴上安装一砂轮21，并在各工作轴上放置工作本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种自动减薄机，其特征在于，包括砂轮系统和两个以上工作系统，所述砂轮系统包括砂轮轴和固定在所述砂轮轴上的砂轮，所述工作系统包括工作轴和固定在所述工作轴上的工作盘，所述工作盘与所述砂轮相对设置，所述砂轮在工作状态下与每一工作系统的工作盘上的至少一个圆片接触。

【技术特征摘要】
1.一种自动减薄机，其特征在于，包括砂轮系统和两个以上工作系统，所述砂轮系统包括砂轮轴和固定在所述砂轮轴上的砂轮，所述工作系统包括工作轴和固定在所述工作轴上的工作盘，所述工作盘与所述砂轮相对设置，所述砂轮在工作状态下与每一工作系统的工作盘上的至少一个圆片接触。2.根据权利要求1所述的自动减薄机，其特征在于，所述砂轮位于所述工作盘的上方或侧面。3.根据权利要求1或2所述的自动减薄机，其特征在于，所述砂轮系统还包括驱动装置，所述驱动装置与所述砂轮轴连接并且能够驱动所述砂轮轴转动以及驱动所述砂轮朝向所述工作盘运动。4.根据权利要求3所述的自动减薄机，其特征在于，所述驱动装置驱动所述砂轮轴转动的速度为1050-1100转/分，所述驱动装置驱动所述砂轮朝向所述工作盘运动的速度为0.3-0.7微米/秒。5.根据权利要求1或2所述的自动减薄...

【专利技术属性】
技术研发人员：段中红，韩晓翠，曹喜平，康建，梁旭东，
申请(专利权)人：圆融光电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34