一种环境传感器、集成装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种环境传感器、集成装置，包括衬底，在所述衬底上设置有至少一个电阻器，在所述衬底的上方还设置有覆盖所述电阻器的第一绝缘层；还包括形成在所述第一绝缘层上的导电图案，在所述导电图案的上方设置有连接在导电图案中的环境敏感材料层。本实用新型专利技术的一种环境传感器，其结构简单，在敏感材料层的下方设置了电阻器结构，该电阻器通电后，其产生的热量可以通过氧化层传递至敏感材料层上，从而可以对敏感材料层进行加热除湿，或者是来调节环境传感器的工作温度，这不但提高了环境传感器的灵敏度，还提高了环境传感器的应用领域。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种传感器测量领域，更具体地，涉及一种环境传感器；本技术还涉及一种环境传感器的集成装置。
技术介绍
近年来，随着科学技术的发展，手机、笔记本电脑等电子产品的体积在不断减小，而且人们对这些便携电子产品的性能要求也越来越高，这就要求与之配套的电子零部件的体积也必须随着减小。传感器作为测量器件，已经普遍应用在手机、笔记本电脑等电子产品上。现有的环境传感器，例如压力传感器、湿度传感器等，通常包括电阻式和电容式两种结构。对于电阻式的湿度传感器而言，其通过湿敏材料吸收周围环境内的湿气，从而改变其电阻率或者是介电常数以感测周围的环境湿度；但是此时如果希望其能快速恢复至常态，则需要对传感器的湿敏材料来除湿。电阻式的气敏传感器，其可用于如tVOC、甲醛等各种非挥发性有机物气体的探测。但是不同的气体在不同的温度下具有不同的灵敏度，因此针对特定的气体需要优化气敏传感器的工作温度，例如VOC气体的最佳工作温度一般在200-300℃，所以人们希望可以调节传感器工作的温度，从而获得较为准确的检测数据。
技术实现思路
本技术的一个目的是提供一种环境传感器的新技术方案。根据本技术的第一方面，提供了一种环境传感器本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种环境传感器，其特征在于：包括衬底(1)，在所述衬底(1)上设置有至少一个电阻器，在所述衬底(1)的上方还设置有覆盖所述电阻器的第一绝缘层(3)；还包括形成在所述第一绝缘层(3)上的导电图案(6)，在所述导电图案(6)的上方设置有连接在导电图案(6)中的环境敏感材料层(8)。

【技术特征摘要】
1.一种环境传感器，其特征在于：包括衬底(1)，在所述衬底(1)上设置有至少一个电阻器，在所述衬底(1)的上方还设置有覆盖所述电阻器的第一绝缘层(3)；还包括形成在所述第一绝缘层(3)上的导电图案(6)，在所述导电图案(6)的上方设置有连接在导电图案(6)中的环境敏感材料层(8)。2.根据权利要求1所述的环境传感器，其特征在于：所述电阻器包括层叠设置的多晶硅层(4)、导电介质层(5)。3.根据权利要求2所述的环境传感器，其特征在于：所述导电介质层(5)采用WSi2、TiSi2、NiSi2或MoSi2材料。4.根据权利要求1所述的环境传感器，其特征在于：所述衬底(1)采用单晶硅材料，在所述电阻器与衬...

【专利技术属性】
技术研发人员：张俊德，
申请(专利权)人：歌尔声学股份有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37