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一种环境传感器、集成装置制造方法及图纸
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文档序号:15085315
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本实用新型公开了一种环境传感器、集成装置,包括衬底,在所述衬底上设置有至少一个电阻器,在所述衬底的上方还设置有覆盖所述电阻器的第一绝缘层;还包括形成在所述第一绝缘层上的导电图案,在所述导电图案的上方设置有连接在导电图案中的环境敏感材料层。本...
该专利属于歌尔声学股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过歌尔声学股份有限公司授权不得商用。
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