对基板作业装置及喷出头制造方法及图纸

在元件装配装置(100)中，喷出头(220)具备阀机构(90)，阀机构(90)能够在经由收容室(71)推压喷出口(14a)的粘接剂使其喷出的第一切换状态和不使粘接剂喷出的第二切换状态、及喷出口(14a)经由收容室(71)与大气连通的第三切换状态之间切换。并且，当圆筒齿轮(72)被输入来自头保持体的操作时，基于所输入的操作，切换部(73)切换阀机构(90)。另外，在吸附头的操作和喷出头(220)的圆筒齿轮(72)的操作中共用头保持体的离合器部件。另外，头保持体的离合器部件能够操作使吸附头的吸附嘴进行轴旋转的机构。另外，圆筒齿轮(72)在喷出头(220)保持于头保持体时的与头保持体的连接面上露出。

Substrate operating device and spray head

In the component mounting device (100), spray head (220) includes a valve mechanism (90), (90) in the valve chamber (71) via the push jet (14a) adhesive made out the first switching state and does not make the second switching state, and from the mouth (spray adhesive 14a) through the chamber (71) to switch between the third switch connected with atmosphere. Also, when the cylindrical gear (72) is input from the head holder, the switching section (73) switches the valve mechanism (90) based on the input operation. In addition, a clutch member of a head holding body is used in the operation of the head and the operation of a cylindrical gear (72) of the spray head (220). In addition, the clutch part of the head holding body can operate the mechanism of the adsorption nozzle of the adsorption head to rotate. In addition, the cylindrical gear (72) is exposed on the connection surface of the head of the spray head (220) to the head holding body.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及对基板作业装置及喷出头。
技术介绍
以往，已知在基板上进行粘性流体的涂布和元件的装配的对基板作业装置。例如，在专利文献1中，记载了一种电子元件保持装置，具备：喷出粘性流体的点胶头(喷出头)；吸附并保持元件的喷嘴头；及对点胶头及喷嘴头择一地进行保持的头保持体。在该电子元件保持装置中，在头保持体的内部形成有通路。该通路在头保持体保持有点胶头时与点胶头的流体收容部和喷嘴连通。另外，头保持体的内部的通路连接有切换装置。切换装置向通路择一地供给正压和负压。并且，在头保持体保持有点胶头的状态下切换装置向通路供给正压，由此经由通路向点胶头的液体收容部供给正压，从喷嘴喷出粘性流体。专利文献1：日本特开2007－73981号公报
技术实现思路
但是，在专利文献1中，来自切换装置的压力经由头保持体的内部的通路被供给至喷出头。因此，在切换装置进行了动作时等向喷出头供给的压力被切换了时，存在喷出头侧的压力响应滞后的情况。本专利技术是鉴于这样的课题而做出的，其主要目的是进一步提高喷出头对压力的切换的应答性。本专利技术的对基板作业装置是在基板上涂布粘性流体的对基板作业装置，该对基板作业装置具备：喷出头，具备：粘性流体收容室，收容上述粘性流体；粘性流体喷出口，与上述粘性流体收容室连通；阀机构，能够在经由上述粘性流体收容室推压上述粘性流体喷出口的粘性流体而使该粘性流体喷出的第一状态和不喷出上述粘性流体的第二状态之间切换；操作输入部，输入来自外部的操作；及切换部，基于上述操作输入部所输入的操作来切换上述阀机构；及头保持单元，能够保持上述喷出头。本专利技术的对基板作业装置具备喷出头和能够保持喷出头的头保持单元。喷出头具备能够在经由粘性流体收容室推压上述粘性流体喷出口的粘性流体而使该粘性流体喷出的第一状态和不喷出粘性流体的第二状态之间切换的阀机构。并且，当操作输入部输入来自外部的操作时，基于所输入的操作，切换部切换阀机构。如此，本专利技术的喷出头能够利用喷出头所具备的阀机构进行使粘性流体喷出或者不使粘性流体喷出的切换、即压力的切换。因此，例如，与在保持喷出头的头保持单元侧存在有阀机构的情况相比，由于阀机构的切换导致压力变化的点至粘性流体喷出口为止的距离减小。由此，能够进一步提高喷出头对压力的切换的响应性。在此，“来自外部的操作”包括机械操作和电气操作。“粘性流体”包括粘接剂、焊料、钎焊材料等。“不使粘性流体喷出”包括不经由粘性流体收容室对粘性流体喷出口施加压力(大气开放)的情况、以及经由粘性流体收容室对粘性流体喷出口施加负压的情况。在本专利技术的对基板作业装置中，也可以是，上述头保持单元是对上述喷出头和安装头以能够更换的方式进行保持的单元，并具有对所保持的上述安装头进行操作的操作部，上述安装头能够保持元件及解除对元件的保持，上述操作输入部能够在上述喷出头保持于上述头保持单元的状态下输入来自上述操作部的操作。如此，头保持单元能够使用在安装头的操作中使用的操作部来切换喷出头的阀机构。即，能够在安装头的操作和喷出头的操作中共用头保持单元的操作部。由此，例如，与头保持单元具备在安装头的操作中不使用的喷出头用的操作部的情况相比，能够将头保持单元形成为更简单的结构。另外，能够将以对安装头可更换地进行保持的方式制作出的头保持单元也用于喷出头的保持，而无需设置新的操作部。此外，头保持单元能够保持安装头即可，该情况下的对基板作业装置可以不具备安装头，也可以具备安装头。该情况下，也可以是，上述头保持单元的上述操作部在上述头保持单元保持有上述安装头的状态下能够对上述安装头所具有的轴旋转机构进行操作，上述轴旋转机构使能够保持上述元件及解除对上述元件的保持的多个元件保持件中的一个以上元件保持件进行轴旋转，上述头保持单元的上述操作部在上述头保持单元保持有上述喷出头的状态下能够对上述操作输入部进行操作。如此，头保持单元能够使用进行安装头的轴旋转机构的操作的操作部来操作喷出头。在本专利技术的对基板作业装置中，也可以是，上述操作输入部露出于上述喷出头被保持在上述头保持单元上时与该头保持单元连接的连接面。由于操作输入部在连接面上露出，因此，喷出头被保持于头保持单元时操作输入部与头保持单元接触，由此容易从头保持单元侧对操作输入部进行操作。在本专利技术的对基板作业装置中，也可以是，上述喷出头具备：第一开口，在上述喷出头保持于上述头保持单元的状态下，经由该头保持单元向上述第一开口供给正压；及第二开口，在上述喷出头保持于上述头保持单元的状态下，经由该头保持单元向上述第二开口供给负压，上述头保持单元具备：第一供给口，在该头保持单元保持有上述喷出头的状态下，上述第一供给口与上述第一开口连通而供给正压；及第二供给口，在该头保持单元保持有上述喷出头的状态下，上述第二供给口与上述第二开口连通而供给负压，上述阀机构能够在上述粘性流体喷出口经由上述粘性流体收容室而与上述第一开口连通且不与上述第二开口连通的上述第一状态和上述粘性流体喷出口经由上述粘性流体收容室而与上述第二开口连通且不与上述第一开口连通的上述第二状态之间切换。如此，通过切换使第一开口和第二开口中的任一开口与粘性流体收容室连通，能够进行压力的切换。在本专利技术的对基板作业装置中，也可以是，上述阀机构能够在上述第一状态、上述第二状态及上述粘性流体喷出口经由上述粘性流体收容室而与大气连通的第三状态之间切换。本专利技术的喷出头是能够由在基板上涂布粘性流体的对基板作业装置所具备的头保持单元保持并且能够喷出上述粘性流体的喷出头，该喷出头具备：粘性流体收容室，收容上述粘性流体；粘性流体喷出口，与上述粘性流体收容室连通；及阀机构，能够在经由上述粘性流体收容室推压上述粘性流体喷出口的粘性流体而使该粘性流体喷出的第一状态和不喷出上述粘性流体的第二状态之间切换；操作输入部，输入来自外部的操作；及切换部，基于上述操作输入部所输入的操作来切换上述阀机构。本专利技术的喷出头能够利用喷出头所具备的阀机构进行使粘性流体喷出或者不使粘性流体喷出的切换、即压力的切换。因此，例如，与在保持喷出头的头保持单元侧存在有阀机构的情况相比，由于阀机构的切换导致压力变化的点至粘性流体喷出口为止的距离减小。由此，能够进一步提高喷出头对压力的切换的响应性。此外，在本专利技术的喷出头中，也可以采用上述的任一对基板作业装置所具备的喷出头的方本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种对基板作业装置，在基板上涂布粘性流体，所述对基板作业装置具备：喷出头，具备：粘性流体收容室，收容所述粘性流体；粘性流体喷出口，与所述粘性流体收容室连通；阀机构，能够在经由所述粘性流体收容室推压所述粘性流体喷出口的粘性流体而使该粘性流体喷出的第一状态和不喷出所述粘性流体的第二状态之间切换；操作输入部，输入来自外部的操作；及切换部，基于所述操作输入部所输入的操作来切换所述阀机构；及头保持单元，能够保持所述喷出头。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种对基板作业装置，在基板上涂布粘性流体，所述对基板作
业装置具备：
喷出头，具备：粘性流体收容室，收容所述粘性流体；粘性流体
喷出口，与所述粘性流体收容室连通；阀机构，能够在经由所述粘性
流体收容室推压所述粘性流体喷出口的粘性流体而使该粘性流体喷出
的第一状态和不喷出所述粘性流体的第二状态之间切换；操作输入部，
输入来自外部的操作；及切换部，基于所述操作输入部所输入的操作
来切换所述阀机构；及
头保持单元，能够保持所述喷出头。
2.根据权利要求1所述的对基板作业装置，其中，
所述头保持单元是对所述喷出头和安装头以能够更换的方式进行
保持的单元，并具有对所保持的所述安装头进行操作的操作部，所述
安装头能够保持元件及解除对元件的保持，
所述操作输入部能够在所述喷出头保持于所述头保持单元的状态
下输入来自所述操作部的操作。
3.根据权利要求2所述的对基板作业装置，其中，
所述头保持单元的所述操作部在所述头保持单元保持有所述安装
头的状态下能够对所述安装头所具有的轴旋转机构进行操作，所述轴
旋转机构使能够保持所述元件及解除对所述元件的保持的多个元件保
持件中的一个以上元件保持件进行轴旋转，
所述头保持单元的所述操作部在所述头保持单元保持有所述喷出
头的状态下能够对所述操作输入部进行操作。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的对基板作业装置，其中，
所述操作输入部露出于所述喷出头被保持在所述头保持单元上时
与该头保持单元连接的连接面。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的对基板作业装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：手岛力茂，
申请(专利权)人：富士机械制造株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP