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对基板作业装置及喷出头制造方法及图纸
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下载对基板作业装置及喷出头的技术资料
文档序号:15073896
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在元件装配装置(100)中,喷出头(220)具备阀机构(90),阀机构(90)能够在经由收容室(71)推压喷出口(14a)的粘接剂使其喷出的第一切换状态和不使粘接剂喷出的第二切换状态、及喷出口(14a)经由收容室(71)与大气连通的第三切换...
该专利属于富士机械制造株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士机械制造株式会社授权不得商用。
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