一种半导体制造黄光室用的LED光源制造技术

本实用新型专利技术涉及一种半导体制造黄光室内曝光显影区使用的照明LED光源，属于电子产品技术领域，它解决了现有技术中半导体曝光显影区的光源为日光灯管外层批覆黄色玻璃纸转移光色方式所存在蓝光污染、光源衰减寿命快、玻璃纸(布)变质与人眼不适应的问题。本半导体制造黄光室用的LED光源包括承载基板，承载基板上分别设有绿光LED芯片、黄光LED芯片或使用光色转移技术发出黄光的发光二极管，本专利中绿光LED芯片所发出的可视光波长范围为505～535nm；黄光LED芯片所发出的可视光波长范围为580～595nm；所述混合可视光波长范围为570～620nm。本半导体制造黄光室用的LED光源通过两个单色LED光源分别发出绿光和黄光，所形成的混合光，其光色柔合，适合人眼接收。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于电子产品
，涉及一种LED光源，特别是一种半导体制造黄光室的LED黄色封装光源。
技术介绍
由于LED具有节能、环保、光色易调等诸多优点，近年来LED在照明领域得到了飞速发展。越来越多的传统照明灯具被LED灯代替，并取得了很好的效果。在半导体制造领域中，有一种刻蚀技术——光刻，被广泛应用。为了避免其他灯光对光刻曝光过程的干扰，曝光过程一般都在一个相对密闭的环境中进行，而光刻室内的灯光需要把500nm以下的短波长光去除，因此光刻室通常呈黄色，俗称黄光室或黄房。目前半导体制造黄光室所用的黄灯大多是在传统的荧光灯管内壁涂上一层黄色的荧光粉，利用黄色荧光粉把荧光灯所发出的白光中500nm以下的光过滤掉。利用这种方法制造的黄灯往往存在蓝光污染、光源衰减寿命快、玻璃纸(布)变质与人眼不适应、光效低、显色性不良、光衰严重、光色不纯等缺陷。利用LED黄灯等代替原来的黄灯是一个很好的解决方案。对LED封装光源，要想达到黄灯所要的效果，就必须把封装光源发射光中的蓝光全部覆盖掉。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种结构简单，显示效果好的半导体制造黄光室用的LED光源。本技术的目的可通过下列技术方案来实现：一种半导体制造黄光室用的LED光源，包括承载基板，所述的承载基板上分别设有绿光LED芯片和黄光LED芯片，所述的绿光LED芯片所发出的光波长为505～535nm，所述的黄光LED芯片所发出的光波长为580～595nm，所述的混合光波长为570～620nm。本技术的目的还可通过下列技术方案来实现：一种半导体制造黄光室用的LED光源，包括PCB板，所述的PCB板上分别设有绿光LED封装单体和黄光LED封装单体，所述的绿光LED封装单体所发出的光波长为505～535nm，所述的黄光LED封装单体所发出的光波长为580～595nm，使用光色转移技术所发出混合可视光波长范围为570～620nm。与现有技术相比，本半导体制造黄光室用的LED光源通过两个单色LED光源分别发出绿光和黄光，所形成的混合光，其光色柔合，适合人眼接收。将此光源应用在照明灯具，可完全消除了曝光显影制程蓝光污染，解决曝光显影区照明光害问题。附图说明图1是本技术中实施例1的主视结构示意图；图2是本技术中实施例2的主视结构示意图；图3是本半导体制造黄光室用的LED光源中绿光LED光源的光谱图；图4是本半导体制造黄光室用的LED光源中黄光LED光源的光谱图；图5是本半导体制造黄光室用的LED光源的混合光谱图。图中，1、承载基板；2、绿光LED芯片；3、黄光LED芯片；4、PCB板；5、绿光LED封装单体；6、黄光LED封装单体。具体实施方式以下是本技术的具体实施例并结合附图，对本技术的技术方案作进一步的描述，但本技术并不限于这些实施例。实施例1如图1所示，本半导体制造黄光室用的LED光源，包括承载基板1，所述的承载基板1上分别设有绿光LED芯片2和黄光LED芯片3，所述的绿光LED芯片所发出的光波长为505～535nm，所述的黄光LED芯片所发出的光波长为580～595nm，使用光色转移技术所发出混合可视光波长范围为570～620nm。实施例2如图2所示，本半导体制造黄光室用的LED光源，包括PCB板4，所述的PCB板上分别设有绿光LED封装单体5和黄光LED封装单体6，所述的绿光LED封装单体所发出的光波长为505～535nm，所述的黄光LED封装单体所发出的光波长为580～595nm，使用光色转移技术所发出混合可视光波长范围为570～620nm。本半导体制造黄光室用的LED光源通过两个单色LED光源分别发出绿光和黄光，所形成的混合光，其光色柔合，适合人眼接收。将此光源应用在照明灯具，可完全消除了曝光显影制程蓝光污染，解决曝光显影区照明光害问题。本文中所描述的具体实施例仅仅是对本技术精神作举例说明。本实用新型所属
的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本技术的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体制造黄光室用的LED光源，包括承载基板，所述的承载基板上分别设有绿光LED芯片和黄光LED芯片，所述的绿光LED芯片所发出的可视光波长范围为505～535nm，所述的黄光LED芯片所发出的可视光波长范围为580～595nm，所述的使用光色转移技术所发出混合可视光波长范围为570～620nm。

【技术特征摘要】
1.一种半导体制造黄光室用的LED光源，包括承载基板，所述的承载基
板上分别设有绿光LED芯片和黄光LED芯片，所述的绿光LED芯片所发出的
可视光波长范围为505～535nm，所述的黄光LED芯片所发出的可视光波长范
围为580～595nm，所述的使用光色转移技术所发出混合可视光波长范围为
570～620nm。
2.一种半导...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡雅飞，颜志远，
申请(专利权)人：绍兴欧柏斯光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33