线性图像传感器制造技术

技术编号:14991738 阅读:84 留言:0更新日期:2017-04-03 22:45
光检测部AR以具有沿着列方向排列的多个像素区域PX的方式被分割。将来自多个像素区域PX的信号分别按各光检测部AR累计,作为与一维的光学图像对应的电信号而依时间顺序输出。各个像素区域PX具备促进光电转换区域内的电荷的传送的电阻性栅电极R与电荷存储区域S2,漏极区域ARD隔着沟道区域而邻接于电荷存储区域S2。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种将所入射的能量线(光/X射线)转换为电荷(电子),使半导体内部的电位变化,从而传送所转换的电荷的线性图像传感器。现有技术电荷耦合元件(CCD)等线性图像传感器是将入射至其中的一维的光学图像进行光电转换之后,依时间顺序输出通过光电转换而产生的电信号的固体拍摄元件。现有的图像传感器例如记载于专利文献1~3。在这样的图像传感器的中,线性图像传感器(一维CCD)被用于与二维的图像传感器不同的用途,要求不同的特性。图18表示现有的线性图像传感器。在光感应区域中,在行方向上排列有多个像素,在列方向仅存在1个像素。根据能量线的入射,在各像素中产生的电荷经由传送栅电极的正下方的区域而被传送至水平记录仪。输入至水平记录仪的电荷在水平方向传送,经由放大器而输出至外部。这样的线性图像传感器用于检测微弱光的分光分析。为了实现较高的S/N比(SignaltoNoiseRatio,信噪比),优选为增大1个像素的受光部面积,从而增加入射至1个像素的信号光子本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种线性图像传感器,其特征在于:具有排列于行方向的多个光检测部,各所述光检测部以具有沿着列方向排列的多个像素区域的方式被分割,将来自多个像素区域的信号分别按各所述光检测部累计,依时间顺序输出与一维的光学图像对应的电信号,且各个所述像素区域具备:光电转换区域,其将入射的能量线进行光电转换;梯度电位形成机构,其在所述光电转换区域内形成促进沿着所述列方向的电荷的传送的电位梯度;电荷存储区域,其分别存储各个所述光电转换区域中产生的电荷;漏极区域,其隔着沟道区域而邻接于所述电荷存储区域;及重置栅电极,其配置于所述沟道区域上,以控制在所述沟道区域中流动的电荷量。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.11.05 JP 2013-2297451.一种线性图像传感器,其特征在于:
具有排列于行方向的多个光检测部,各所述光检测部以具有沿着
列方向排列的多个像素区域的方式被分割,将来自多个像素区域的信
号分别按各所述光检测部累计,依时间顺序输出与一维的光学图像对
应的电信号,且
各个所述像素区域具备:
光电转换区域,其将入射的能量线进行光电转换;
梯度电位形成机构,其在所述光电转换区域内形...

【专利技术属性】
技术研发人员:高木慎一郎米田康人铃木久则村松雅治
申请(专利权)人:浜松光子学株式会社
类型:发明
国别省市:日本;JP

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