【技术实现步骤摘要】
本专利技术是真空镀铝用的一种主要蒸发器具的制造工艺。目前国内使用的蒸发皿是用钛粉合成的,其合成时反应温度高,成品易断裂,使用寿命短,蒸发速度慢,热压温度高(2000℃),加工舟槽的工艺成本高、速度慢(用超声波法加工)。而国外自七十年代以来,美、英、西德等国均用硼化物加工合成陶瓷作蒸发源,但为二步合成反应法(先合成TiB2与AlN),工艺较复杂,生产周期相对较长。而日本虽为一步法合成,但没TiH4的成份。本专利技术的目的是解决上述存在的问题提出一种合成反应较易,成品不易断裂,使用寿命较长的工艺方法及其制品。本专利技术是一种导电复合陶瓷蒸发舟的制造工艺其特征在于由BN,B4C,Ti,TiH4和Al粉等组成,其合成比为BN36-44%,B4C13-20%,Ti25-33%,TiH42-6%,Al8-15%。并分别以43%,15%29%,2%,11%的比为较佳。其合成反应,是在加温加压的状态下进行。其压力为每平方厘米200公斤。热压温度为1800℃,其合成工艺方法是,按一定组分比取上述各料混合充分,再烘干(80℃)装于模具内置于石墨热压炉中升温加压2小时,在1800℃时保温20分钟,退火并保压20分钟,冷却至室温,取出并切割、磨光。用金刚石砂轮磨槽加工,即得蒸发舟成品。本专利技术的优点在于加工工艺简单,产品使用寿命长,原材料、电耗低,热压温度低(国外有二步合成法,也有没加TiH4等,且温度为2050℃),抗热震、耐腐蚀,镀铝速度快,增加镀铝纸的产量,提高了镀铝纸的质量。本专利技术的工艺流程为原料混合均匀→烘干(80℃)→装入石墨模具→入炉→加温、加压、烧结→1800 ...
【技术保护点】
一种导电复合陶瓷蒸发舟的制造工艺,其特征在于由BN,B↓[4]C,TI,TIH↓[4],AL,等原料组成。
【技术特征摘要】
1.一种导电复合陶瓷蒸发舟的制造工艺,其特征在于由BN,B4C,TI,TIH4,AL,等原料组成。2.根据权利要求1所述的导电复合陶瓷蒸发舟的制造工艺,其特征在于各种原料均为粉末,其组成比为BN36-44%,B4C13-20%,TI25-33%,TIH42-6%,AL8-15%。3.根据权利要求1或2所述的导电复合陶瓷蒸发舟的制造工艺,其特征在于其组成...
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