磁盘用玻璃坯料的制造方法及磁盘用玻璃基板的制造方法、玻璃坯料、磁盘用玻璃基板技术

本发明专利技术提供一种通过冲压成型可得到表面波纹良好的磁盘用玻璃坯料的磁盘用玻璃坯料的制造方法及磁盘用玻璃基板的制造方法。一种磁盘用玻璃坯料的制造方法，包括使用一对模具对熔融玻璃块进行冲压成型的成型工序，其中，在所述成型工序中，使用用于减小所述熔融玻璃的冲压中的所述模具的冲压成型面内的温差的均热装置，进行冲压成型。

【技术实现步骤摘要】
本申请是国际申请号为PCT/JP2012/002766、国际申请日为2012年4月20日、国家申请号为201280019632.1、专利技术名称为“磁盘用玻璃坯料的制造方法及磁盘用玻璃基板的制造方法、磁盘用玻璃坯料、磁盘用玻璃基板及磁盘”的专利技术专利申请的分案申请。
本专利技术涉及磁盘用玻璃坯料的制造方法及磁盘用玻璃基板的制造方法、磁盘用玻璃坯料、磁盘用玻璃基板及磁盘。
技术介绍
目前，为了数据记录，在个人电脑、或者DVD(DigitalVersatileDisc)记录装置等中内置有硬盘装置(HDD：HardDiskDrive)。特别地，在用于以笔记型个人电脑等的可携性为前提的设备的硬盘装置中，使用在玻璃基板设有磁性层的磁盘，通过在磁盘的面上稍微悬浮的磁头(DFH(DynamicFlyingHeight)磁头)在磁性层记录、或者读取磁记录信息。作为该磁盘的基板，具有与金属基板(铝基板)等相比不易塑性变形的性质，因此，适合使用玻璃基。磁头具备例如磁阻效应元件，但作为这种磁头中固有的障碍，有时会引起热粗糙度障碍。热粗糙度障碍是在磁头从磁盘的微小凹凸形状的主表面上一边悬浮飞行一边通过时，通过空气的绝热压缩或接触加热磁阻效应元件，产生读取错误的障碍。所以，为了回避热粗糙度障碍，磁盘用玻璃基板的主表面的表面粗糙度、平面度等表面性状制作为良好的水平。作为现有的板状玻璃(玻璃坯料)的制造方法，公知有垂直直接冲压法。该冲压法为将熔融玻璃块供给至下模上，使用上模对熔融玻璃块(熔融玻璃块)进行冲压成型的方法(专利文献1)。另外，还公知有将滴下的熔融玻璃在滴下途中沿水平方向夹住进行冲压成型的水平直接冲压法(专利文献2、图4等)。另外，作为现有的磁盘用玻璃基板的制造方法，公知有对通过冲压成型熔融玻璃块而成型的玻璃坯料实施退火处理的方法。退火处理为用于通过将冲压成型的玻璃坯料在应变点以上且玻璃化转变点(Tg)以下的规定温度维持规定时间，从而使在玻璃坯料的内部产生的翘曲(内部翘曲)开放的处理(专利文献3)。另外，应变点为玻璃的内部翘曲在数小时消失的温度，为相当于玻璃粘度为约1014.5dPa·s的温度。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开平11－255521号公报专利文献2：专利4380379号公报专利文献3：日本特开2008－287779号公报专利技术所要解决的课题但是，公知的垂直直接冲压法存在所制作的玻璃坯料的表面波纹较差的问题。理由如下。在垂直直接冲压法中，开始熔融玻璃块的冲压成型后，熔融玻璃块通过与上模及下模接触而冷却固化。这时，在上模及下模各自的冲压成型面的中央部分，由于其周围也存在熔融玻璃，因此熔融玻璃块的热量容易积聚。另一方面，在冲压成型中的上模及下模各自的冲压成型面的周边部分，由于与中央部分相比，与熔融玻璃接触的冲压成型面的面积相对较广、及在不规制外形的情况下存在不与熔融玻璃接触的模具的外缘部分等，所以熔融玻璃块的热量容易扩散，因此，在冲压成型中冲压成型面内的温差变大。由此，在冲压成型中，在冲压成型面产生不均匀的热变形(热膨胀)，因此，所制作的玻璃坯料由于冲压成型面的热变形被形状转印，而主表面的表面波纹变大。因此，玻璃坯料的表面波纹劣化。关于公知的水平直接冲压法也会产生同样的问题。另外，为了高效实施上述退火处理，需要大型的退火处理装置。另外，在实施退火处理的情况下，需要使将玻璃坯料的温度设定在应变点附近的状态维持约15分钟程度。另外，若包括向应变点的升温处理及自应变点的慢冷却处理，则需要约3～12小时的处理时间。因此，在实施退火处理制造磁盘用玻璃基板的情况下，需要大型的设备和很多的时间，因此，磁盘用玻璃基板的制造成本增大。所以，优选为尽量不实施退火处理。另外，在对冲压成型时产生了内部翘曲的玻璃坯料进行退火处理的情况下，玻璃坯料的内部翘曲开放，另一方面，因内部翘曲的开放玻璃坯料会变形，因此，玻璃坯料的平面度劣化。例如，在为了使平面度变为4μm以下而对冲压成型的玻璃坯料进行退火处理时，在冲压成型时玻璃坯料残存内部翘曲的情况下，退火处理后的玻璃坯料的平面度有时会比4μm大。在该情况下，需要实施磨削工序，使玻璃坯料的平面度变为4μm以下。另外，在作为用于提高磁盘的存储密度的磁记录技术近年研究取得进展的热辅助磁记录方式(HAMR：HeatAssistedMagneticRecording)中，有时由具有L10规则构造的强磁性合金构成的磁性层形成于玻璃基板的主表面上。在此，为了形成L10规则构造，需要高温环境下的成膜处理和/或成膜处理后的退火处理。这时的温度有时会变为与玻璃的应变点接近的高温。这时，在成为玻璃基板的基础的玻璃坯料残存有内部翘曲的情况下，与上述退火处理一样，在高温环境下，玻璃基板的内部翘曲开放，另一方面，玻璃基板的平面度劣化，某些情况下，基板性能可能不符合要求。因此，作为用于热辅助磁记录方式的磁盘用玻璃基板，优选为以内部翘曲小、或没有内部翘曲残存的玻璃坯料为基础制造的玻璃基板。
技术实现思路
本专利技术的第一目的为提供一种通过冲压成型得到表面波纹良好的磁盘用玻璃坯料的磁盘用玻璃坯料的制造方法及磁盘用玻璃基板的制造方法。另外，本专利技术的第二目的为提供一种不进行退火处理，而可以减少内部翘曲的磁盘用玻璃坯料的制造方法及磁盘用玻璃基板的制造方法、以及磁盘用玻璃坯料、磁盘用玻璃基板及磁盘。用于解决课题的技术方案从上述观点来看，本专利技术的第一观点，一种磁盘用玻璃坯料的制造方法，包括使用一对模具对熔融玻璃块进行冲压成型以得到板状的玻璃素材的成型工序，其特征在于，在所述成型工序中，以板状玻璃素材的表面波纹在30nm以内的方式对冲压成型面内的温差进行控制。本专利技术的第二观点，一种磁盘用玻璃坯料的制造方法，包括使用一对模具对熔融玻璃块进行冲压成型以得到板状的玻璃素材的成型工序，其特征在于，在所述成型工序中，使用用于减小所述熔融玻璃的冲压中的所述模具的冲压成型面内的温差的均热装置，进行冲压成型。另外，“冲压成型面内的温差”例如，为模具中央部和周边部的温差。在上述磁盘用玻璃坯料的制造方法中，其特征在于，优选的是，所述均热装置通过对所述冲压成型面进行排热和/或加热，减小冲压成型面内的温差。在上述磁盘用玻璃坯料的制造方法中，其特征在于，所述均热装置为散热器。在上述磁盘用玻璃坯料的制造方法中，其特征在于，所述散热器设于所述冲压成型面的背面的至少局部。在上述磁盘用玻璃坯料的制造方法中，其特征在于，所述散热器以冲压成型中的熔融玻璃的中央部比周边部排热量大的方式进行设置。在上述磁盘用玻璃坯料的制造方法中，其特征在于，在所述成型工序中，使用所述一对模具从与该落下方向正交的方向对落下中的所述熔融玻璃块进行冲压成型。在上述磁盘用玻璃坯料的制造方法中，其特征在于，在所述成型工序中，以实质上所述模具的冲压成型面的温度在所述一对模具间为相同温度的方式进行冲压成型。在上述磁盘用玻璃坯料的制造方法中，其特征在于，冲压成型后得到的玻璃坯料的100℃～300℃的热膨胀系数在30～100×10－7(K－1)的范围内。在上述磁盘用玻璃坯料的制造方法中，其特征在于，实质上，所述模具的冲压成型面的表面粗糙度在面内相同。本专利技术的第三观点，一种磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁盘用玻璃坯料的制造方法，包括使相互对向的一对模具在大致水平方向动作而对熔融玻璃或软化了的玻璃进行冲压成型以得到板状的玻璃素材的成型工序，其特征在于，在所述成型工序中，通过使冲压成型中的熔融玻璃或软化了的玻璃的中央部的排热量比周边部的排热量大，对冲压成型面内的中央部和周边部的温差进行控制以使板状玻璃素材的表面波纹在30nm以内；在所述成型工序中，所述一对模具与所述熔融玻璃或软化了的玻璃接触的时机大致相同；所述表面波纹是对所述板状玻璃素材的主表面测量形状波长5mm以下的成分时的最大高低差。

【技术特征摘要】
2011.04.21 JP 2011-095522;2011.04.27 JP 2011-100221.一种磁盘用玻璃坯料的制造方法，包括使相互对向的一对模具在大致水平方向动作而对熔融玻璃或软化了的玻璃进行冲压成型以得到板状的玻璃素材的成型工序，其特征在于，在所述成型工序中，通过使冲压成型中的熔融玻璃或软化了的玻璃的中央部的排热量比周边部的排热量大，对冲压成型面内的中央部和周边部的温差进行控制以使板状玻璃素材的表面波纹在30nm以内；在所述成型工序中，所述一对模具与所述熔融玻璃或软化了的玻璃接触的时机大致相同；所述表面波纹是对所述板状玻璃素材的主表面测量形状波长5mm以下的成分时的最大高低差。2.如权利要求1所述的磁盘用玻璃坯料的制造方法，其中，在所述成型工序中，通过对所述冲压成型面进行排热和/或对所述冲压成型面进行加热，减小冲压成型面内的温差。3.如权利要求2所述的磁盘用玻璃坯料的制造方法，其中，所述冲压成型面的排热采用散热器来进行。4.如权利要求3所述的磁盘用玻璃坯料的制造方法，其中，所述散热器设于所述冲压成型面的背面的至少局部。5.如权利要求1～4中任一项所述的磁盘用玻璃坯料的制造方法，其中，在所述成型工序中，以实质上所述模具的冲压成型面的温度在所述一对模具间为相同温度的方式进行冲压成型。6.如权利要求1～4中任一项所述的磁盘用玻璃坯料的制造方法，其中，冲压成型后得到的玻璃坯料的100℃～300℃的热膨胀系数在30～100×10－7K－1的范围内。7.如权利要求1～4中任一项所述的磁盘用玻璃坯料的制造方法，其特征在于，实质上所述模具的冲压成型面的表面粗糙度在面内相同。8.一种磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于，对利用如权利要求1～4中任一项所述的磁盘用玻璃坯料的制造方法所制造的玻璃坯料实施加工余量50μm以下的研磨加工，制造磁盘用玻璃基板。9.一种磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于，使用利用如权利要求1～4中任一项所述的磁盘用玻璃坯料的制造方法得到的磁盘用玻璃坯料制造磁盘用玻璃基板。10.一种磁盘用玻璃坯料的制造方法，包括通过使相互对向的一对模具在大致水平方向动作而对熔融玻璃或软化了的玻璃进行冲压成型，得到板状的玻璃坯料的成型工序，其特征在于，在上述成型工序中，以在上述熔融玻璃或软化了的玻璃的温度从该玻璃的玻璃化转变点冷却至应变点期间的冷却速度在－10℃/秒以内的方式，一边控制上述熔融玻璃或软化了的玻璃的冷却温度一边进行冲压成型，以使得对通过上述冲压成型而成型的玻璃坯料进行了热处理时该热处理前后的玻璃坯料的平面度的变化量为1μm以下；在所述成型工序中，所述一对模具与所述熔融玻璃或软化了的玻璃接触的时机大致相同；上述热处理是如下的热处理：在对玻璃坯料进行用20秒从室温升温到玻璃化转变点的急加热并保持10秒钟后，用10分钟将玻璃坯料缓慢冷却到室温。11.一种磁盘用玻璃坯料的制造方法，包括通过使相互对向的一模具在大致水平方向动作而对熔融玻璃或软化了的玻璃进行冲压成型，得到板状的玻璃坯料的成型工序，其特征在于，在上述成型工序中，为了减少熔融玻璃或软化了的玻璃在固化成板状玻璃坯料时产生的面内翘曲，一边控制在上述熔融玻璃或软化了的玻璃的温度从该玻璃的玻璃化转变点冷却至应变点期间的冷却速度一边进行冲压成型，以使得对通过上述冲压成型而成型的玻璃坯料进行了热处理时该热处理前后的玻璃坯料的平面度的变化量为1μm以下；在所述成型工序中，所述一对模具与所述熔融玻璃或软化了的玻璃接触的时机大致相同；上述热处理是如下的热处理：在对玻璃坯料进行用20秒从室温升温到玻璃化转变点的急加热并保持10秒钟后，用10分钟将玻璃坯料缓慢冷却到室温。12.一种磁盘用玻璃坯料的制造方法，包括通过使相互对向的一对模具在大致水平方向动作而对熔融玻璃或软化了的玻璃进行冲压成型，得到板状的玻璃坯料的成型工序，其特征在于，在所述成型工序中，以减小所述熔融玻璃或软化了的玻璃的冲压中的所述熔融玻璃或软化了的玻璃的面内的温差的方式一边控制所述熔融玻璃或软化了的玻璃的冷却速度，一边进行冲压成型，以使得对通过上述冲压成型而...

【专利技术属性】
技术研发人员：矶野英树，谷野秀和，村上明，佐藤崇，佐藤正宗，
申请(专利权)人：HOYA株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP