一种软化水桶液位监视的控制装置制造方法及图纸

一种软化水桶液位监视的控制装置，涉及半导体加工设备领域，由软化水桶、软化水供给泵、出水管道、入水管道、浮球和监控系统构成，在软化水桶上设有入水管道和出水管道，出水管道设有软化水供给泵，软化水桶内设有监控系统；本实用新型专利技术实用性强，不但可以自动监控软化水桶内的软化水使用量，而且可以实时进行提醒，防止了事故的发生。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体加工设备领域，尤其是涉及一种软化水桶液位监视的控制装置。
技术介绍
公知的，目前随着硅片加工工艺不断改进，清洗硅片的软化水要求也非常严格，相应的加工设备及辅助设备也不断更新，硅片清洗重要的是软化水，若软化水出现问题或者供应不上必然引起硅片的品质，然在清洗硅片是用软化水量大，要是软化水系统在反冲洗时就会停止产软化水，在不知道软化水系统反冲洗时还在大量清洗硅片，突然没有软化水就会对硅片清洗质量有很大影响，所以需要让各清洗车间工作人员都时刻知道软化水的情况来进行相应的清洗作业，但是目前还没有专门用于监控软化水工作情况的装置，这样就给整个行业带来极大困扰，极大制约了企业的自动化生产。
技术实现思路
为了克服
技术介绍
中的不足，本技术公开了一种软化水桶液位监视的控制装置，本技术通过在软化水桶上设置入水管道、出水管道和软化水供给泵，并通过监控系统进行监控，以此来达到自动监控软化水的目的。为了实现所述技术目的，本技术采用如下技术方案：一种软化水桶液位监视的控制装置，包括软化水桶、软化水供给泵、出水管道、入水管道、浮球和监控系统，在软化水桶上设有入水管道和出水管道，出水管道设有软化水供给泵，软化水桶内设有监控系统。所述软化水桶为长方型、圆柱型或棱柱型的空心结构，软化水桶由硬质抗压材料制作而成，软化水桶的上部和下部均设有通孔，入水管道和出水管道分别通过通孔和软化水桶连通。所述监控系统由浮球、水位灯和蜂鸣器构成，在软化水桶上安装3个液位浮球开关即SL1、SL2、SL3，分别设置在高、中、低三个水位，当软化水桶里的水位在H位置以上时即浮球开关处于常态，SL1常闭开关接通电源，高水位灯HL1亮，当水位低于H位置时，浮球在重力的作用下拉下SL1开关，即常开触电闭合，常闭触电断开，高水位灯熄灭，SL1常开触点闭合与SL2常闭触点串联使HL2中水位灯点亮，当水位处于M以下时，SL2开关在浮球的重力下动作，即常开触点闭合，常闭触点断开，HL2中水位灯熄灭，同时SL2常开触点闭合与SL3常闭触点串联接通HL3低水位灯使其点亮，当水位低于L位置时，SL3开关动作，常开触点闭合，常闭触点断开，HL3低水位灯熄灭，同时KT和KA线圈得电，KA常开触点闭合经过KT常闭触点接通蜂鸣器报警，通电时间继电器KT计时到时KT的常闭触点断开，蜂鸣器就自动停止报警。由于采用了上述技术方案，本技术具有如下有益效果：本技术所述的一种软化水桶液位监视的控制装置，包括软化水桶、软化水供给泵、出水管道、入水管道、浮球和监控系统，通过在软化水桶上设置入水管道、出水管道和软化水供给泵，并通过监控系统进行监控，以此来达到自动监控软化水的目的；本技术实用性强，不但可以自动监控软化水桶内的软化水使用量，而且可以实时进行提醒，防止了事故的发生。【附图说明】图1为本技术的立体结构示意图；图2为本技术的电路结构示意图；图中：1、软化水桶；2、软化水供给泵；3、出水管道；4、入水管道；5、浮球。【具体实施方式】通过下面的实施例可以详细的解释本技术，公开本技术的目的旨在保护本技术范围内的一切技术改进。结合附图1~2所述的一种软化水桶液位监视的控制装置，包括软化水桶1、软化水供给泵2、出水管道3、入水管道4、浮球5和监控系统，在软化水桶1上设有入水管道4和出水管道3，出水管道3设有软化水供给泵2，软化水桶1内设有监控系统；所述软化水桶1为长方型、圆柱型或棱柱型的空心结构，软化水桶1由硬质抗压材料制作而成，软化水桶1的上部和下部均设有通孔，入水管道4和出水管道3分别通过通孔和软化水桶1连通；所述监控系统由浮球5、水位灯和蜂鸣器构成，在软化水桶1上安装3个液位浮球开关即SL1、SL2、SL3，分别设置在高、中、低三个水位，当软化水桶1里的水位在H位置以上时即浮球开关处于常态，SL1常闭开关接通电源，高水位灯HL1亮，当水位低于高位置时，浮球5在重力的作用下拉下SL1开关，即常开触电闭合，常闭触电断开，高水位灯熄灭，SL1常开触点闭合与SL2常闭触点串联使HL2中水位灯点亮，当水位处于中位以下时，SL2开关在浮球5的重力下动作，即常开触点闭合，常闭触点断开，HL2中水位灯熄灭，同时SL2常开触点闭合与SL3常闭触点串联接通HL3低水位灯使其点亮，当水位低于低位置时，SL3开关动作，常开触点闭合，常闭触点断开，HL3低水位灯熄灭，同时KT和KA线圈得电，KA常开触点闭合经过KT常闭触点接通蜂鸣器报警，通电时间继电器KT计时到时KT的常闭触点断开，蜂鸣器就自动停止报警。实施本技术所述的一种软化水桶液位监视的控制装置，在使用时，首先在软化水桶1上安装浮球开关，并在软化水桶1内不同的位置设置浮球5，浮球5与浮球开关相连通，当进入工作程序后，监控系统即开始工作，当软化水桶里的水位在高位置以上时即浮球开关处于常态，SL1常闭开关接通电源，高水位灯HL1亮，当水位低于高位置时，浮球5在重力的作用下拉下SL1开关，即常开触电闭合，常闭触电断开，高水位灯熄灭；SL1常开触点闭合与SL2常闭触点串联使HL2中水位灯点亮，当水位处于中位以下时，SL2开关在浮球5的重力下动作，即常开触点闭合，常闭触点断开，HL2中水位灯熄灭，同时SL2常开触点闭合与SL3常闭触点串联接通HL3低水位灯使其点亮，当水位低于低位置时，SL3开关动作，常开触点闭合，常闭触点断开，HL3低水位灯熄灭，同时KT和KA线圈得电，KA常开触点闭合经过KT常闭触点接通蜂鸣器报警提示工作人员现在是彻底没有水了，当通电时间继电器KT计时到时KT的常闭触点断开，蜂鸣器就自动停止报警。本技术未详述部分为现有技术。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种软化水桶液位监视的控制装置，包括软化水桶、软化水供给泵、出水管道、入水管道、浮球和监控系统，其特征是：在软化水桶上设有入水管道和出水管道，出水管道设有软化水供给泵，软化水桶内设有监控系统。

【技术特征摘要】
1.一种软化水桶液位监视的控制装置，包括软化水桶、软化水供给泵、出水管道、入水管道、浮球和监控系统，其特征是：在软化水桶上设有入水管道和出水管道，出水管道设有软化水供给泵，软化水桶内设有监控系统。2.根据权利要求1所述的一种软化水桶液位监视的控制装置，其特征是：所述软化水桶为长方型、圆柱型或棱柱型的空心结构，软化水桶由硬质抗压材料制作而成，软化水桶的上部和下部均设有通孔，入水管道和出水管道分别通过通孔和软化水桶连通。3.根据权利要求1所述的一种软化水桶液位监视的控制装置，其特征是：所述监控系统由浮球、水位灯和蜂鸣器构成，在软化水桶上安装3个液位浮球开关即SL1、SL2、SL3，分别设置在高、中、低三个水位，当软化水桶里的水...

【专利技术属性】
技术研发人员：李斌，
申请(专利权)人：洛阳鸿泰半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：河南;41