用于遮蔽物的夹持装置制造方法及图纸

一种夹持装置（１２），用于在涂敷一基材特别是玻璃基材的装置的涂敷间室（２）中安装至少一遮蔽物（９），该夹持装置的设计使得由夹持装置（１２）所支撑的一遮蔽物（９）可以通过所述夹持装置（１２）的移动至少从涂敷间室（２）中的第一位置移动至第二位置。该夹持装置（１２）包括设备（１３），该设备可以使遮蔽物（９）在从第一位置到第二位置的路径上避开阻碍物。特别地，在遮蔽物由第一到第二位置的移动过程中，所述遮蔽物（９）被可回转地安装在夹持装置（１２）上。

Holding device for a shield

A clamping device (12) for use in coating a substrate, especially a coating device of glass substrate of the chamber (2) installed in at least a cover (9), the design of clip holding device makes a holding device (12) a cover (9) can be supported by the the clamping device (12) to move at least from the coating chamber (2) in the first position to the second position. The gripping device (12) includes a device (13) that allows the shield (9) to avoid obstructions in a path from the first position to the second position. In particular, the shield (9) is rotatably mounted on the gripping device (12) during the movement of the shield from the first to the second position.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在用以涂敷基材，特别是玻璃基材的装置的涂敷间室中的用于安装至少一遮蔽物的一种夹持装置，该夹持装置的设计使得通过该夹持装置的运动，由其所支撑的遮蔽物可至少从涂敷间室中的第一位置移动至第二位置。
技术介绍
在涂敷流水线例如玻璃涂敷流水线的涂敷间室内安装遮蔽物是公知技术；该遮蔽物可实现间室特定区域的必要屏蔽且有利于对玻璃基材的选择性地或均匀地涂敷。所述遮蔽物尤其适用于玻璃涂敷流水线的阴极区域。这种设计不仅适用于具有平面阴极体的流水线，而且适用于具有旋转阴极体的流水线。在涂敷间室中通常在阴极以上的区域设有一进入孔，以便维护和清洁时将遮蔽物从涂敷间室中移开。通过所述进入孔可更换所述阴极。如有必要，所述进入孔还为涂敷流水线的其他构件特别是遮蔽物提供通路。但是，当从进入孔进行观察时，所述遮蔽物的至少一部分通常位于阴极下面，即在阴极和基材之间的空间中。所述部分可以与安装在其上的阴极形成干涉边缘。因此，固定不变的安装或附于一框架的遮蔽物具有仅在阴极体被移开后才能被移走的缺点。换言之，只有在将阴极从涂敷间室移开时或移开之后才可能接触部分包围阴极的该遮蔽物。由于需要附加的安装步骤和时间损本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种夹持装置（１２），用于在涂敷一基材特别是一玻璃基材的装置的一涂敷间室（２）中安装至少一遮蔽物（９），该夹持装置的设计使得该夹持装置（１２）所支撑的一遮蔽物（９）通过所述夹持装置（１２）的移动从涂敷间室，至少从涂敷间室（２）中的一操作位置，移出至涂敷间室外的一位置，其特征在于，所述夹持装置（１２）包括设备（１３），该设备（１３）使遮蔽物（９）在从被涂敷间室移开时避开阻碍物。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：安德烈亚斯绍尔，哈拉尔德武斯特，格哈德朱斯，吉多哈滕多夫，
申请(专利权)人：应用材料有限责任与两合公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]