One for coating a substrate (3), especially a transparent substrate (1), the system includes at least one coating chamber (2), at least one used in the coating chamber (2) is generated in a vacuum pump (5), and at least one sputtering cathode (9). One or more of the cathode (9) together with system components undergo process induced dirt together on an insert element within the system components such as shielding, cover, or used to transfer the substrate (3) through the process chamber (2) of the transport roller (6). The insertion element (8) can slide through the opening (10) of the chamber wall (2a) into the chamber as a drawer. For maintenance purposes, any part of the coating system (1) requiring thorough maintenance and cleaning can be removed easily from the interior of the coating chamber (2) by means of the insertion element (8). An insertion element (8) that has been removed can be replaced directly by inserting an inserted element that has just started service.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一涂敷一基底(尤其是一透明基底)的系统，具体来说，涉及生产建筑用玻璃的系统，其包括至少一个涂敷腔室，本专利技术还涉及一用于涂敷一基底(尤其是一透明的基底)系统的插入元件。
技术介绍
用于涂敷诸如大面积的建筑用的玻璃板之类的大面积基底的玻璃涂敷系统，通常在基底一个接一个地被闸定之后才连续地发挥功能。基底被导向通过大量的连续布置的腔室或腔室部分，由此，在个别的腔室内可进行相同的或不同的处理和涂敷过程。用来防止相邻涂敷腔室之间污染的多个泵腔室可布置在它们之间。在这种类型的系统中，工艺过程所需要的装置，诸如阴极、阳极、屏蔽、屏幕、供气管线、冷却设备等，附连到突缘、盖上，或直接附连到涂敷腔室内部的壁上。尤其是，设置用来连续地传送基底通过涂敷腔室的运输滚轮也牢固地装配在腔室外壳内。至于阴极的维护、靶的更换或受脏物影响部件的清洗，则通过拆卸搁置在腔室开口顶上的盖板，可进入到涂敷腔室内。然而，进入腔室内部很不方便，并需花费相当的时间和精力。就涉及到的维护工作而言，设计和规划诸部件固定在涂敷腔室内部也很不方便。诸部件可能必须拆卸开来才能实施维护保养工作。其结果，发...
【技术保护点】
一用于涂敷一基底（３）、尤其是一透明基底（３），特别是用来生产建筑用玻璃的系统（１），包括： 至少一个涂敷腔室（２），其特征在于，至少一个插入元件（８），该插入元件具有用来将涂层涂敷到所述基底（３）上的涂敷工具（９），所述工具布置在所述插入元件（８）上，所述工具连同所述插入元件（８）一起可插入所述涂敷腔室（２）内部或可从其中将它们撤回。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：M舒马赫，G约斯，
申请(专利权)人：应用薄膜两合股份有限公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]
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