一种用于条带处理设备的气锁安全阀制造技术

本发明专利技术涉及一种气锁安全阀（１），尤其涉及一种用于条带处理的设备的气锁安全阀。所述气锁安全阀用于关闭间隙式开口（３），柔韧的条带基材（４）穿过所述开口（３），所述条带基材（４）位于设备的两个不同的部分之间，所述设备设有至少一个可移动的密封体（７），该密封体与密封表面（５）结合在一起，当密封体关闭所述开口（３）时，并且在所述气锁安全阀关闭的过程中，最终把所述条带基材设置在所述密封体（７）和密封表面（５）之间，根据本发明专利技术，其特征在于，由于密封表面（５）以框架结构的方式设于开口（３）周围，并且为了关闭开口（３），所述密封体（７）被挤压到所述密封表面（５）之上和／或穿过所述开口（３）的所述条带基材（４）之上，以至于至少由于所述密封体（７）间接邻接所述密封表面（５）的边缘而阻塞所述开口（３）。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种气锁安全阀，尤其涉及一种如权利要求1所述的用于处理或涂覆设备的气锁安全阀。
技术介绍
所述处理设备主要用于在真空中涂覆柔韧的条带基材，比如，塑料箔片，磁带，胶卷等(例如，通过喷镀，即目标喷雾，最终通过磁场、蒸汽、PVD或CVD镀膜处理来加强)，还有一些其它的处理方法，比如，预处理/清洁/烘干/表面激活/聚合等。这些方法都需要在所述设备中使用条带基材，该条带基材通常是捆的形式或薄片的形式，并且该条带基材被放置在一个承载轴上，以在涂覆处理的过程中，可以把条带基材从所述的捆中打开。(在涂覆室的最后步骤中)另一个轮轴上设有卷带轴，已经被涂覆过的条带基材重新被卷在上面。基本上，所述条带涂覆设备分成下面几个模块(开卷、涂覆和收卷模块)。对于一些熟悉的设备，比如轴或滚筒，都在两侧设有所述条带基材的开卷和收卷装置，一般把所述现有设备装配到一个共同的框架式基座上，这样设备和基座之间形成相互固定不变的位置关系。当在涂覆模块的两边设置轴或滚筒的时候，在绕轴交换的过程中，通过单独测量的方式，能够避免在真空中运作的涂覆室的通风。应该致力于，当在真空中运作，每次基材捆交换的时候，避免涂覆室本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气锁安全阀（１），尤其用于条带处理或涂覆设备的气锁安全阀，设置成关闭间隙式的开口（３），柔韧的条带基材（４）穿过所述开口，所述条带基材位于所述设备的两个不同的部分之间，所述设备至少有一个可移动的密封体（７），所述密封体（７）与所述密封表面（５）相结合来关闭所述开口（３），最后在气锁安全阀（１）的关闭阶段，所述条带基材（４）被夹在所述密封体（７）和所述密封表面（５）之间，其特征在于，所述密封表面（５）以框架的形式设于开口（３）的周围，并且为了关闭开口（３），会把所述密封体（７）压到所述密封表面（５）上和／或压到穿过开口（３）的所述条带基材上，以至于所述密封体至少通过在所述密封表面（５）边缘以...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：斯特凡海因，
申请(专利权)人：应用材料有限责任与两合公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]