An ion exchange glass substrate clamp waveguide method, which is composed of a lifting rod, clamp piece, fixture bracket and connecting assembly, the lifting rod can be lifted flexibly, in the process of ion exchange without opening the oven cavity, so as to ensure the stability of the exchange temperature; glass substrate supporting fixture in support the cross section of the upper part is triangular or semicircular, lifting clamp on ion exchange after molten salt can flow, can not remain in the bottom of the glass substrate, glass substrate to ensure clean. The glass substrate clamp for preparing the waveguide by the ion exchange method has the advantages of simple structure, convenient processing and reliable use.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光波导器件，是一种离子交换法制备波导的玻璃基片夹具，该夹具主要用于利用离子交换法制备玻璃波导器件的工艺过程中玻璃基片的提取。
技术介绍
近年来，随着集成光学技术的迅速发展，人们对光波导的研究越来越深入，目前光波导的制作主要是在Si、InP、LiNbO3、玻璃等衬底材料上完成的，主要的制备工艺有等离子体化学气相沉淀法、溅射法、溶胶—凝胶法、离子交换法等。其中利用离子交换法制备玻璃光波导器件具有制作工艺简单、成本低廉、制备的玻璃波导器件具有传输损耗低、折射率及模场分布与光纤匹配良好、便于集成等优点，在光通信、光传感器及其他需要对光信号进行处理和控制的领域中有着广阔的应用前景。利用离子交换法制备玻璃波导的基本原理是将玻璃基片浸入具有一定温度的熔盐中(如AgNO3、KNO3等)，玻璃中金属阳离子(如Na+)与熔盐中的金属阳离子(如Ag+或K+)发生交换，熔盐中的阳离子进入到玻璃中，玻璃中的阳离子被置换出来，从而引起交换处折射率的改变，引起折射率改变的机制主要有以下三种(1)交换离子的半径不同引起玻璃内部结构和摩尔体积发生变化；(2)交换离子的电位移极化率...
【技术保护点】
一种用于离子交换法制备波导的玻璃基片夹具，特征在于它由提升杆（１）、第一夹具片（２）、第二夹具片（３）和夹具托（４）通过一连接件（５）组合而成，所述的第一夹具片（２）、第二夹具片（３）各为一矩形块，相对且平行地置于所述的连接件（５）左右两端与所述的连接件（５）相连接，所述的夹具托（４）与所述的连接件（５）的底面相连接，所述的提升杆（１）与所述的连接件（５）顶面相连接，所述的第一夹具片（２）、第二夹具片（３）的相对面挖设有两对或两对以上的一一相对的供玻璃基片插设的上下贯通的凹槽（２３，２Ｎ，３３，３Ｎ），所述的夹具托（４）的玻璃基片托（４１，４４）的顶面呈棱形或圆弧形，所述的...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：韩秀友，方祖捷，庞拂飞，叶青，初凤红，蔡海文，瞿荣辉，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]
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