The utility model discloses a vacuum pumping system with a LED processing, including at least two vacuum machine, vacuum machine each through the main exhaust pipe is connected with a vacuum pump, the main pumping pipe is provided with a first electromagnetic valve opening and closing the main pumping pipeline, the first electromagnetic valve and the vacuum machine are connected to a control device each; vacuum pump through several pumping branches including auxiliary exhaust pipeline and other vacuum pumping machine connection, each second solenoid valve is arranged on the gas branch connected to the control device. The utility model has the advantages of artful design, simple structure, by setting the auxiliary pumping pipe so that each vacuum pump and other vacuum machine with auxiliary pumping and control principle of opening and closing the gas pipeline, the power vacuum pump can cause vacuum machine to solve effectively the corresponding vacuum pump does not work when the losses, at the same time, can make more a vacuum pump at the same time on one or more vacuum vacuum machine, effectively improve the efficiency of vacuum pumping, to ensure safety.
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种抽真空系统,具体涉及一种LED加工用抽真空系统。
技术介绍
在机械、化工、低温设备、医药、食品、工业电炉、电子行业、真空设备、化肥、冶金、石油、矿山、火电等领域都存在很多抽取气体获得真空的需求。按获取真空的压力高低大致可分为粗真空、高真空、超高真空三类,其中,在LED制备过程中,真空机台作业时需要保持真空一般在10-6torr,而单独的泵浦抽气需要40min左右,耗时较长,效率较低。同时,由于现有的抽真空系统,往往是一个真空机台对应一个泵浦,而真空机台只在作业的时候才进行抽气,不工作时不抽气,但是,由于泵浦启动后再开启需要消耗8小时以上的时间,因此泵浦一般保持常开的工作状态,此时,如果一个真空机台上没有作业,而其对应的泵浦仍然工作,这就造成了泵浦工作效率的损失。
技术实现思路
本技术的目的就是为了解决现有技术中存在的上述问题,提供一种LED加工用抽真空系统。本技术的目的通过以下技术方案来实现:一种LED加工用抽真空系统,包括至少两个真空机台,每个真空机台通过主抽气管路连接一真空泵浦,所述主抽气管路上设置有用于开闭所述主抽气管路的第一电磁阀,所述第一电磁阀和真空机台均连接到控制装置;每个所述真空泵浦还通过包括若干抽气支路的辅助抽气管路与其他真空机台连接,每个所述抽气支路上设置的第二电磁阀连接到所述控制装置。优选的,所述的一种LED加工用抽真空系统,其中:所述真空机台上设置有压力检测装置,所述压力检测装置连接到所述控制装置。优选的,所述的一种LED加工用抽真空系统,其中:所述真空泵浦是冷泵或机械泵或油泵。优选的,所述的一种LED加工用抽真空系统,其中: ...
【技术保护点】
一种LED加工用抽真空系统,其特征在于:包括至少两个真空机台(1),每个真空机台(1)通过主抽气管路(2)连接一真空泵浦(3),所述主抽气管路(2)上设置有用于开闭所述主抽气管路(2)的第一电磁阀(4),所述第一电磁阀(4)和真空机台(1)均连接到控制装置(5);每个所述真空泵浦(3)还通过包括若干抽气支路(6)的辅助抽气管路与其他真空机台(1)连接,每个所述抽气支路(6)上设置的第二电磁阀(7)连接到所述控制装置(5)。
【技术特征摘要】
1.一种LED加工用抽真空系统,其特征在于:包括至少两个真空机台(1),每个真空机台(1)通过主抽气管路(2)连接一真空泵浦(3),所述主抽气管路(2)上设置有用于开闭所述主抽气管路(2)的第一电磁阀(4),所述第一电磁阀(4)和真空机台(1)均连接到控制装置(5);每个所述真空泵浦(3)还通过包括若干抽气支路(6)的辅助抽气管路与其他真空机台(1)连接,每个所述抽气支路(6)上设置的第二电磁阀(7)连接到所述控制装置(5)。2.根据权利要求1所述的一种LED加工用抽真空系统,其特征在于:所述真空机台(1)上设置有压力检测装置(8),所述压力检测装置(8)连接到所述控制装...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱庆荣,
申请(专利权)人:苏州新纳晶光电有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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