The invention discloses a production equipment of an arc quartz glass crucible which can improve the purity of the inner wall of a quartz glass crucible and reduce the density of the inner wall bubble, and a manufacturing process thereof. The utility model comprises a graphite mould, wherein a quartz feeding rod is arranged in the graphite mould, and the quartz feeding rod is communicated with the feeding bottle, and a rotating joint is arranged in the middle of the quartz feeding rod, and a vibrator is arranged in the feeding bottle. The invention adopts adjustable electromagnetic vibration and adjusts the current to achieve the purpose of adjusting the vibration, so as to ensure the high-purity crystal powder to be uniformly added to the crucible in a required time according to a specific flow rate. At the same time, by adjusting the rotating joint, the quartz feeding pipe is swung back and forth at a certain angle, and the crystal powder material is uniformly sprayed to the different positions of the inner wall of the crucible. A product capable of resisting crystallization during a long time and having mechanical strength in a higher temperature.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及电弧涂层石英玻璃坩埚的生产设备及其制造工艺。
技术介绍
目前,电弧石英玻璃坩埚生产的一般原理及方法在高速旋转的模具中加入水晶粉料,依靠离心力作用使水晶粉料附着在模具内壁,通过整形后,使水晶粉料的形状符合工艺要求,然后利用电弧间接加热使水晶粉料熔化成玻璃。但其纯度、气泡密度等均不能达到拉制电子级单晶产品的质量要求。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供能提高石英玻璃坩埚内壁纯度,减少内壁气泡密度的电弧石英玻璃坩埚的生产设备及其制造工艺。本专利技术包括石墨模具,在石墨模具内设有石英加料棒,石英加料棒与加料瓶相通,在石英加料棒的中间设有旋转接头,在加料瓶内设有振动器。本专利技术采用可调控的电磁振动,通过调整电流达到调整震动的目的,保证高纯水晶粉在所需时间内,按照特定的流速让粉料均匀地加到坩埚内。同时,通过调节旋转接头,使石英加料管以一定角度往返摆动,而使水晶粉料均匀地喷涂到坩埚内壁不同位置。能抵御在长时间内抗析晶能力,更高温状态下具有机械强度的产品。下面结合附图对本技术进一步说明1.附图说明图1是本专利技术内部结构示意图;2.图2是传统生产方法生产的电弧石英玻璃坩埚剖面示意图;3.图3是本专利技术生产的电弧涂层石英玻璃坩埚剖面示意图。1石英坩埚 2石墨模具 3水冷套4高速旋转部件5石墨电极 6电弧柱7.电弧电源 8气体导流板9石英加料管10旋转接头 11.电磁阀 12.加料瓶13超高纯水晶粉 13.振动器 15.SiO2热气流具体实施方式本专利技术的内容是引用贝努利原理,在整个产品制作过程中通过控制不同阶段的电压(145~160V)、电流 ...
【技术保护点】
电弧涂层石英玻璃坩埚的生产设备,包括石墨模具,其特征是:在石墨模具内设有石英加料棒,石英加料棒与加料瓶相通,在石英加料棒的中间设有旋转接头,在加料瓶内设有振动器。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:王龙森,朱锡剑,赵庆良,王和平,
申请(专利权)人:上海新沪玻璃有限公司,
类型:发明
国别省市:31[中国|上海]
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