一种变曲率反射镜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种变曲率反射镜装置，包括反射镜组件和气动驱动组件；反射镜组件包括反射镜本体和支撑底盘；反射镜本体和支撑底盘之间设置有气腔；支撑底盘上设置有压缩空气进气孔、排气孔和压力传感器采样孔；气动驱动组件包括空气压缩机、压力传感器、比例阀、开关阀和工控机；空气压缩机用于为反射镜组件的气腔提供压缩空气；压力传感器用于监测气腔内的空气压力；工控机用于控制气腔内的驱动气压；开关阀用于控制压缩空气进气孔的开启或关闭；比例阀用于控制压缩空气的进气量。本实用新型专利技术实现曲率变化的同时也能够获得高精度的面形保持效果，使变曲率反射镜技术可以应用到对面形精度保持要求更高的可见光波段变焦成像。

Variable curvature mirror device

The utility model relates to a variable curvature mirror device includes a mirror assembly and pneumatic drive assembly; mirror comprises a mirror body and a supporting base; a gas cavity is arranged between the mirror body and a support base; the support chassis is provided with a compressed air inlet, exhaust hole and sampling hole pneumatic pressure sensor; the drive assembly includes an air compressor, a pressure sensor, proportional valve, solenoid valve and IPC; air compressor for providing compressed air to air cavity mirror; pressure sensor for monitoring the air cavity air pressure; IPC is used to drive the air chamber pressure control valve; for controlling compressed air inlet opening or closing proportion; the valve is used to control the inflow of compressed air. The utility model has the advantages that the curvature variation can also be used to obtain the high precision surface shape preserving effect, and the variable curvature mirror technology can be applied to the visible light band zoom imaging with higher requirement of the shape precision maintenance.

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种变曲率反射镜装置。
技术介绍
作为一种主动光学元件，变曲率反射镜的雏形最早可以追溯到1973年耶路撒冷希伯来大学研制的样片。自此以后，前苏联，德国，美国、法国以及中国等各个国家的科研人员均围绕变曲率反射镜技术开展了大量的研究和原型装置的研制工作。自概念及最初的原型器件提出以来，变曲率反射镜主要应用于提升高能固体激光器的输出光束品质。高能固体激光器工作时的高功率会在谐振腔内产生极高的温度，从而使谐振腔窗口玻璃发生热变形而引入球差及离焦，进而恶化输出光束的品质。变曲率反射镜能够通过改变自身的曲率半径对热透镜效应引起的球差及离焦进行有效补偿，从而达到提升激光器光束品质的目的。近些年的研究表明，变曲率反射镜还能够用于实现一种新型的变焦成像技术——无运动部件变焦。传统变焦技术，无论是机械补偿式还是光学补偿式都依赖镜片或镜组之间的相对运动，在一定程度上限制了其在对空间、功耗以及稳定性等方面要求苛刻的领域中的应用。变曲率反射镜曲率半径的变化对应于光焦度的改变，而局部元件光焦度的微小变化则可以通过光学杠杆效应光学设计被放大为系统焦距的大幅度改变，从而在不依赖宏观运动部件的前提下实现变本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种变曲率反射镜装置，其特征在于：包括反射镜组件和气动驱动组件；所述反射镜组件包括反射镜本体和支撑底盘；所述反射镜本体和支撑底盘之间设置有气腔；所述支撑底盘上设置有压缩空气进气孔、排气孔和压力传感器采样孔；所述气动驱动组件包括空气压缩机、压力传感器、比例阀、开关阀和工控机；空气压缩机用于为反射镜组件的气腔提供压缩空气；压力传感器用于监测气腔内的空气压力；工控机用于控制气腔内的驱动气压；开关阀用于控制压缩空气进气孔的开启或关闭；比例阀用于控制压缩空气的进气量。

【技术特征摘要】
1.一种变曲率反射镜装置，其特征在于：包括反射镜组件和气动驱动组件；所述反射镜组件包括反射镜本体和支撑底盘；所述反射镜本体和支撑底盘之间设置有气腔；所述支撑底盘上设置有压缩空气进气孔、排气孔和压力传感器采样孔；所述气动驱动组件包括空气压缩机、压力传感器、比例阀、开关阀和工控机；空气压缩机用于为反射镜组件的气腔提供压缩空气；压力传感器用于监测气腔内的空气压力；工控机用于控制气腔内的驱动气压；开关阀用于控制压缩空气进气孔的开启或关闭；比例阀用于控制压缩空气的进气量。2.根据权利要求1所述的变曲率反射镜装置，其特征在于：所述反射镜本体包括中心厚边缘薄的渐变厚度反射镜。3.根据权利要求2所述的变曲率反射镜装置，其特征在于：所述渐变厚度反射镜的厚度分布方程为y＝t0·[1-k·(2r/D)m]n；其中，t0是反射镜的中心厚度，r是反射镜球面的极坐标半径，D是反...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵惠，许亮，解晓蓬，樊学武，
申请(专利权)人：中国科学院西安光学精密机械研究所，
类型：新型
国别省市：陕西;61