下载一种变曲率反射镜装置的技术资料

文档序号:14588443

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及一种变曲率反射镜装置,包括反射镜组件和气动驱动组件;反射镜组件包括反射镜本体和支撑底盘;反射镜本体和支撑底盘之间设置有气腔;支撑底盘上设置有压缩空气进气孔、排气孔和压力传感器采样孔;气动驱动组件包括空气压缩机、压力传感器、比例...
该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院西安光学精密机械研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。