一种大校正量低阶变形反射镜制造技术

本发明专利技术公开了一种大校正量低阶变形反射镜，它由镜面、耦合结构、驱动器和底座组成：每个驱动器的一端固定在一个大块整体底座上，另一端通过耦合结构与镜面相连。其中，镜面使用超高光洁度抛光的单晶硅材料，保证了镀制膜层的高反射率和低吸收系数；驱动器由多层压电陶瓷片或电致伸缩陶瓷片组成；底座和镜面采用相同的材料以匹配其热膨胀系数。耦合结构作为柔性连接来调节镜面的局部倾斜。当施加工作电压时，耦合结构减小了驱动器的弯曲刚度，提高了镜面的偏斜能力，增大了变形反射镜的行程，同时，耦合结构增大了相邻驱动器之间的交连值，增强了变形反射镜的低阶校正能力，从而满足大功率激光发射系统的校正要求。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于自适应光学系统的波前校正
，涉及一种大校正量低阶变形反射镜，用于发射激光的自适应光学系统，可以校正大气热晕效应和潮流扰动、激光腔内误差和光学系统误差等引起的误差。
技术介绍
变形反射镜是自适应光学系统的核心器件之一。它通过改变表面面形来实现波前控制和光学像差校正。变形反射镜在激光加工、激光发射和远距离输运、聚焦系统等方面有重要的应用，是激光光束质量和聚焦特性自适应控制的关键技术。无论气体化学激光器或是固体激光器，在大功率输出情况下均存在较大热变形问题，美国David等人曾经在文献“High-Energy Hydrogen Fluoride/Deuterium Fluoride Laser Beam Correction：History and Iaaues”2006，提出化学激光器具有各种空间和时间成分的像差，其中低空间频率的像差成分占主要分量，国内许冰在文章“哈特曼波前传感器对COIL激光器光束质量测量的初步结果”1996，杨平在OPTICS EXPRESS等杂志中本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大校正量低阶变形反射镜，其特征在于：由镜面(1)、耦合结构(2)、驱动器(3)和底座(4)组成；驱动器(3)和镜面(1)之间通过耦合结构(2)相连，耦合结构(2)作为柔性连接来调节镜面(1)的局部倾斜；驱动器(3)的一端固定在刚性底座(4)上，另一端通过耦合结构(2)与镜面(1)相连；所述耦合结构(2)作为柔性连接来调节镜面(1)的局部倾斜和交连值：当施加工作电压时，耦合结构(2)减小了驱动器(3)的弯曲刚度，提高了镜面(1)的偏斜能力，增大了变形反射镜的行程，同时，耦合结构(2)增大了相邻驱动器(3)之间的交连值，增强了变形反射镜的低阶校正能力。

【技术特征摘要】
1.一种大校正量低阶变形反射镜，其特征在于：由镜面(1)、耦合结构(2)、驱动器(3)
和底座(4)组成；驱动器(3)和镜面(1)之间通过耦合结构(2)相连，耦合结构(2)
作为柔性连接来调节镜面(1)的局部倾斜；驱动器(3)的一端固定在刚性底座(4)上，
另一端通过耦合结构(2)与镜面(1)相连；所述耦合结构(2)作为柔性连接来调节镜面
(1)的局部倾斜和交连值：当施加工作电压时，耦合结构(2)减小了驱动器(3)的弯曲
刚度，提高了镜面(1)的偏斜能力，增大了变形...

【专利技术属性】
技术研发人员：程琳，官春林，周虹，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：四川;51