反射镜单元和曝光装置制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
反射镜单元和曝光装置
本专利技术涉及一种可变形的反射镜单元，所述反射镜单元能够校正曝光装置、天文望远镜等装置中的光学系统的波前误差和畸变，还涉及一种曝光装置。
技术介绍
近来，由于对曝光装置的分辨率要求越来越严格，因此对校正由曝光引起的像差的要求也越来越严格。为了校正由曝光引起的像差，已经提出了一种使用可变形反射镜的配置。日本专利特许公报JP4361269公开了一种反射镜支撑结构，其中用外环支撑反作用组件，并且用内环支撑反射镜，用于使反射镜变形的气动致动器被附连至反作用组件。日本专利公开特许公报JP2004-64076公开了一种伺服控制机构，所述伺服控制机构包括在至少三个刚性位置支撑可变形反射镜的多个致动器以及位于这些致动器附近的位移传感器。在日本专利特许公报JP4361269中，气动致动器通过连杆机械地耦合至反射镜的背面，因此相对于反射镜被过度约束。反射镜的形状容易受到装配误差的影响。在日本专利特许公报JP4361269公开的反射镜支撑结构中，气动致动器的反作用力通过反作用组件、内环和外环传递至反射镜，并且可能会影响反射镜的形状。日本专利公开特许公报JP2004...
【技术保护点】
一种反射镜单元，包括反射镜；多个非接触型致动器，所述非接触型致动器包括可移动元件和定子并且被构造成用于改变所述反射镜的形状；支撑板，所述定子被固定至所述支撑板；以及被构造成用于保持所述反射镜和所述支撑板的构件，其中所述可移动元件被附连至所述反射镜的与光学表面相反的表面，并且所述构件经由运动学支架保持所述支撑板。
【技术特征摘要】
2013.04.16 JP 2013-086060;2014.02.27 JP 2014-037321.一种反射镜单元，包括反射镜；多个非接触型致动器，所述非接触型致动器包括可移动元件和定子并且被构造成用于改变所述反射镜的形状；支撑板，所述定子被固定至所述支撑板；保持元件，所述保持元件被构造成用于在接触所述反射镜但不接触所述支撑板的情况下保持所述反射镜；运动学支架，所述运动学支架被构造成接触所述支撑板；以及被构造成用于保持所述保持元件并且被构造成用于在接触所述运动学支架的情况下保持所述支撑板的构件；其中所述可移动元件被附连至所述反射镜的与光学表面相反的表面。2.如权利要求1所述的反射镜单元，其中所述构件包括围绕所述多个致动器、所述反射镜以及所述支撑板的透镜镜筒。3.如权利要求1所述的反射镜单元，其中所述构件经由所述运动学支架保持所述反射镜。4.如权利要求1所述的反射镜单元，其中所述构件保持所述支撑板的侧表面。5.如权利要求1所述的反射镜单元，其中所述构件保持所述反射镜的侧表面...
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