下载反射镜单元和曝光装置的技术资料

文档序号:10565280

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一种反射镜单元,包括:反射镜;多个非接触型致动器,所述非接触型致动器包括可移动元件和定子并且被构造成用于改变所述反射镜的形状;支撑板,所述定子被固定至所述支撑板;以及被构造成用于保持所述反射镜和所述支撑板的构件。所述可移动元件被附连至所述反...
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