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本发明公开了一种大校正量低阶变形反射镜，它由镜面、耦合结构、驱动器和底座组成：每个驱动器的一端固定在一个大块整体底座上，另一端通过耦合结构与镜面相连。其中，镜面使用超高光洁度抛光的单晶硅材料，保证了镀制膜层的高反射率和低吸收系数；驱动器由多...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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