玻璃基板的制造方法技术

本发明专利技术的目的在于提供一种能够减小玻璃基板的板厚偏差的玻璃基板的制造方法。玻璃基板的制造方法具备成形步骤、搬送步骤、取得步骤、算出步骤、及调节步骤。成形步骤是向形成在成形体的上表面的供给槽供给熔融玻璃，使从供给槽的两侧溢出的熔融玻璃沿着成形体的两侧面流下，并使熔融玻璃在成形体的下端合流而成形玻璃带。搬送步骤是使用设置在成形体的下方的辊，以特定的搬送速度朝下方搬送在成形步骤中成形的玻璃带。取得步骤是取得与成形体的形状相关的形状数据。算出步骤是基于在取得步骤中取得的形状数据，以玻璃带的宽度方向的板厚偏差变小的方式，算出搬送速度。调节步骤是以变成在算出步骤中算出的搬送速度的方式，调节玻璃带的搬送速度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种玻璃基板的制造方法。
技术介绍
用于液晶显示器及等离子显示器等平板显示器(FPD)的玻璃基板对表面要求较高的平坦度。通常,此种玻璃基板是通过溢流下拉法而制造。在溢流下拉法中,如专利文献1(美国专利第3,338,696号)所记载那样，流入成形体的上表面的槽并从槽溢出的熔融玻璃是经过成形体的两侧面而流落，并在成形体的下端合流而成形玻璃带。所成形的玻璃带是一面朝下方被拉伸一面缓冷。冷却后的玻璃带被切断成特定的尺寸，而获得玻璃基板。[
技术介绍
文献][专利文献][专利文献1]美国专利第3,338,696号
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]在溢流下拉法中，成形体是设置在成形炉内的高温气氛下。另外，在成形体施加有自重及熔融玻璃的重量所致的荷重。因此，因玻璃基板制造装置的长年运转，成形体因成形体的材质的热蠕变特性而逐渐蠕变变形。尤其是，成形体的长边方向的中央部容易因蠕变变形而朝下方垂下挠曲。结果，存在如下问题：从成形体的中央部溢出的熔融玻璃的量变得比从成形体的两端部溢出的熔融玻璃的量多，成形的玻璃带的宽度方向中央部的厚度增加，作为最终制品的玻璃基板的板厚偏差增加。成形体的蠕变变形在使用液相温度较高的玻璃、及应变点较高的玻璃的玻璃基板的制造步骤中，因成形体的温度容易变高而尤其成为问题。另外，近年来，随着玻璃基板的大型化，成形体的长边方向的尺寸不断变长，所以蠕变变形所致的成形体的挠曲有变得显著的倾向。因此，本专利技术的目的在于提供一种能够减小玻璃基板的板厚偏差的玻璃基板的制造方法。[解决问题的技术手段]本专利技术的玻璃基板的制造方法具备成形步骤、搬送步骤、取得步骤、算出步骤、及调节步骤。成形步骤是向形成在成形体的上表面的供给槽供给熔融玻璃，使从供给槽的两侧溢出的熔融玻璃沿着成形体的两侧面流下，使在两侧面流下的熔融玻璃在成形体的下端合流而成形玻璃带。搬送步骤是使用设置在成形体的下方的辊，将在成形步骤中成形的玻璃带以特定的搬送速度朝下方搬送。取得步骤是取得与成形体的形状相关的形状数据。算出步骤是基于在取得步骤中取得的形状数据，以使玻璃带的宽度方向的板厚偏差变小的方式，算出搬送速度。调节步骤是以变成在算出步骤中算出的搬送速度的方式，调节玻璃带的搬送速度。另外，在本专利技术的玻璃基板的制造方法中，优选为，取得步骤是取得基于成形体的蠕变变形的形状数据。另外，在本专利技术的玻璃基板的制造方法中，优选为，取得步骤是至少取得成形体的上表面的铅垂方向的移位量作为形状数据。在此情况下，优选为，算出步骤是移位量越大，则算出越大的值作为搬送速度。另外，在本专利技术的玻璃基板的制造方法中，优选为，搬送步骤是使用夹持玻璃带的宽度方向的两端部的辊，一面使玻璃带缓冷一面进行搬送，并基于在算出步骤中算出的搬送速度控制辊的旋转速度。另外，在本专利技术的玻璃基板的制造方法中，优选为，取得步骤是通过计算机模拟求出成形体的形状的时间变化，由此取得形状数据。[专利技术的效果]本专利技术的玻璃基板的制造方法能够减小玻璃基板的板厚偏差。附图说明图1是实施方式的玻璃基板的制造方法的流程图。图2是玻璃基板的制造装置的示意图。图3是成形装置的前视图。图4是成形装置的侧视图。图5是控制装置的框图。图6是由取得部所取得的成形体的形状数据的一例。图7是成形体的应变速度的温度依存变化的曲线的一例。图8是成形体的应变速度的应力依存变化的曲线的一例。图9是表示成形体的最大上表面移位量、与玻璃带的搬送速度之间的关系的曲线图。具体实施方式(1)玻璃基板的制造装置的构成一面参照附图，一面对本专利技术的玻璃基板的制造方法的实施方式进行说明。图1是表示本实施方式的玻璃基板的制造方法的一例的流程图。如图1所示，本实施方式的玻璃基板的制造方法主要包含熔解步骤S1、澄清步骤S2、搅拌步骤S3、成形步骤S4、冷却步骤S5、及切断步骤S6。在熔解步骤S1中，加热玻璃原料而获得熔融玻璃。熔融玻璃贮存在熔解槽，以具有所需温度的方式被通电加热。在玻璃原料添加有澄清剂。从减轻环境负担的观点出发，使用SnO2作为澄清剂。在澄清步骤S2中，在熔解步骤S1中获得的熔融玻璃在澄清管的内部流动而除去熔融玻璃所含的气体，由此使熔融玻璃澄清。首先，在澄清步骤S2中，使熔融玻璃的温度上升。添加在熔融玻璃的澄清剂因升温而引起还原反应，释放氧气。熔融玻璃所含的包含CO2、N2、SO2等气体成分的泡，吸收因澄清剂的还原反应所产生的氧气。吸收氧气而成长的泡向熔融玻璃的液面浮上，破泡而被消除。被消除的泡所含的气体向澄清管内部的气相空间释放，并被排出至外部大气。接着，在澄清步骤S2中，降低熔融玻璃的温度。由此，已还原的澄清剂引起氧化反应，吸收熔融玻璃中残留的氧气等气体成分。在搅拌步骤S3中，搅拌在澄清步骤S2中被除去气体的熔融玻璃，使熔融玻璃的成分均质化。由此，减少成为玻璃基板的纹理等的原因的熔融玻璃的组成不均。在成形步骤S4中，使用溢流下拉法从在搅拌步骤S3中均质化的熔融玻璃连续地成形玻璃带。在冷却步骤S5中，将在成形步骤S4中成形的玻璃带一面朝下方搬送一面使其冷却。在冷却步骤S5中，以玻璃带不产生应变及翘曲的方式，一面调节玻璃带的温度一面使玻璃带逐渐冷却。在切断步骤S6中，将在冷却步骤S5中冷却的玻璃带切断为特定的尺寸，获得玻璃基板。然后，进行玻璃基板的端面的研削及研磨、以及玻璃基板的洗净。然后，检查玻璃基板的损伤等缺陷的有无，并将检查合格的玻璃基板捆包后作为制品出货。图2是表示本实施方式的玻璃基板制造装置1的一例的示意图。玻璃基板制造装置1具备熔解槽10、澄清管20、搅拌装置30、成形装置40、及移送管50a、50b、50c。移送管50a将熔解槽10与澄清管20连接。移送管50b将澄清管20与搅拌装置30连接。移送管50c将搅拌装置30与成形装置40连接。在熔解步骤S1中利用熔解槽10所得的熔融玻璃2是通过移送管50a而流入澄清管20。在澄清步骤S2中利用澄清管20澄清后的熔融玻璃2通过移送管50b而流入搅拌装置30。在搅拌步骤S3中利用搅拌装置30搅拌的熔融玻璃2通过移送管50c流入成形装置40。在成形步骤S4中，通过成形装置40而从熔融玻璃2连续地成形玻璃带3。在冷却步骤S5中，将玻璃带3一面朝下方搬送一面使其冷却。在切断步骤S6中，将冷却后的玻璃带3切断成特定的大小而获得玻璃基板。玻璃基板的宽度为例如500mm～3500mm，长度为例如500mm～3500mm。玻璃基板的厚度为例如0.2mm～0.8mm。通过玻璃基板制造装置1而制造的玻璃基板尤其适用于液晶显示器、等离子显示器、有机EL显示器等平板显示器(FPD)用的玻璃基板。作为FPD用的玻璃基板，使用无碱玻璃、含有微量碱的玻璃、低温多晶硅(LTPS)用的玻璃、或氧化物半导体用的玻璃。作为高精细显示器用的玻璃基板，使用高温时具有较高的粘性及较高的应变点的玻璃。例如，成为高精细显示器用的玻璃基板的原料的玻璃在1500℃具有102.5poise的粘性。在熔解槽10中，玻璃原料被熔解而获得熔融玻璃2。玻璃原料以能够获得具有所需组成的玻璃基板的方式进行制备。作为玻璃基板的组成的一例，适合作为FPD用的玻璃基板的无碱玻璃含有SiO2：50质量％～70质量％、Al2O3：10质量％～25质量％、本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃基板的制造方法，具备：成形步骤，向形成在成形体的上表面的供给槽供给熔融玻璃，使从所述供给槽的两侧溢出的所述熔融玻璃沿着所述成形体的两侧面流下，并使在所述两侧面流下的所述熔融玻璃在所述成形体的下端合流而成形玻璃带；搬送步骤，使用设置在所述成形体的下方的辊，以特定的搬送速度朝下方搬送在所述成形步骤中成形的所述玻璃带；取得步骤，取得与所述成形体的形状相关的形状数据；算出步骤，基于在所述取得步骤取得的所述形状数据，以所述玻璃带的宽度方向的板厚偏差变小的方式，算出所述搬送速度；以及调节步骤，以变成在所述算出步骤中算出的所述搬送速度的方式，调节所述玻璃带的所述搬送速度。

【技术特征摘要】
2015.06.30 JP 2015-1318711.一种玻璃基板的制造方法，具备：成形步骤，向形成在成形体的上表面的供给槽供给熔融玻璃，使从所述供给槽的两侧溢出的所述熔融玻璃沿着所述成形体的两侧面流下，并使在所述两侧面流下的所述熔融玻璃在所述成形体的下端合流而成形玻璃带；搬送步骤，使用设置在所述成形体的下方的辊，以特定的搬送速度朝下方搬送在所述成形步骤中成形的所述玻璃带；取得步骤，取得与所述成形体的形状相关的形状数据；算出步骤，基于在所述取得步骤取得的所述形状数据，以所述玻璃带的宽度方向的板厚偏差变小的方式，算出所述搬送速度；以及调节步骤，以变成在所述算出步骤中算出的所述搬送速度的方式，调节所述玻...

【专利技术属性】
技术研发人员：中嶋公彦，
申请(专利权)人：安瀚视特控股株式会社，安瀚视特韩国有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP