压敏元件和压力传感器制造技术

本发明专利技术提供一种具备柔性并在长期间发挥稳定的电可靠性的压敏元件和具备上述压敏元件的压力传感器。压敏元件100具有：导电性的压敏膜14；传感器电极12，设置在与压敏膜14相向的位置；以及绝缘层13，确保用于使压敏膜14和传感器电极12彼此分离的规定的距离A，压敏膜14为含有碳粒子140的树脂薄膜，压力传感器200具备：压敏元件100；以及感测部210，电连接于压敏元件100并且感测压敏膜14与传感器电极12的接触电阻。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及压敏元件和压力传感器。
技术介绍
近年来，在医疗、福利、机器人、虚拟现实等各领域中，触觉感测的重要性急速扩大。例如，在汽车区域中，压敏元件内置于座位成为主流。这是以在搭乘者乘上车辆并坐在座位时催促系上安全带为目的。具体地，搭乘者坐在车辆座位，由此，对压敏元件施加固定以上的负荷（体重）。由此，具备该压敏元件的压力传感器感测搭乘者的存在，以对搭乘者催促系上安全带的方式发挥作用。此外，作为另外的用途，压力传感器的采用在医疗或护理的领域中也被期待。更具体地，例如，使压敏元件内部存在于床的床垫中，期待对躺在床上的患者、高龄者（以下，也称为患者等）的体重的趋势情况进行监视。通过上述监视，能够把握患者等长时间以相同的姿势躺卧，通过上述监视，第三者能够把握使躺在床上的患者等的姿势适度地变更的定时，以便防止褥疮（bedsore）。此外，也能够在患者等的步行支承工具中利用压力传感器。具体地，在使用使压敏元件内部存在的支承工具来进行步行等的高龄者失去平衡的情况下，压力传感器能够感测该高龄者的体重的不均衡来作为压力分布的变化。由此，期待高龄者的摔倒防止或摔倒的把握。作为以往的压敏元件，广泛地本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压敏元件，其特征在于，具有：导电性的压敏膜；传感器电极，设置在与所述压敏膜相向的位置；以及绝缘层，确保用于使所述压敏膜和所述传感器电极彼此分离的规定的距离，所述压敏膜为含有碳粒子的树脂薄膜。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种压敏元件，其特征在于，具有：导电性的压敏膜；传感器电极，设置在与所述压敏膜相向的位置；以及绝缘层，确保用于使所述压敏膜和所述传感器电极彼此分离的规定的距离，所述压敏膜为含有碳粒子的树脂薄膜。2.根据权利要求1所述的压敏元件，其中，在初始状态且所述压敏膜为大致平坦的状态下测定的所述规定的距离为5μm以上25μm以下。3.根据权利要求1或2所述的压敏元件，其中，所述压敏膜的厚度为6.5μm以上40μm以下。4.根据权利要求1至3的任一项所述的压敏元件，其中，所述压敏膜的杨氏模量为5GPa以下。5.根据权利要求1至4的任一项所述的压敏元件，其中，所述压敏膜的表面电阻率为7kΩ/sq以上30kΩ/sq以下。6.根据权利要求1至5的任一项所述的压敏元件，其中，所述压敏膜的厚度的与所述传感器电极相向的面的表面粗糙度Rz为0.10μm以上0.50μm以下。7.根据权利要求1至6的任一项所述的压敏元件，其中，所述压敏膜为耐热性260℃以上。8.根据权利要求1至7的任一项所述的压敏元件，其中，构成所述压敏膜的树脂将聚酰亚胺或聚酰胺-酰亚胺作为主要材料。9.根据权利要求8所述的压敏元件，其中...

【专利技术属性】
技术研发人员：岩濑雅之，外山敬三，尾崎和行，大舘广和，木村泰介，丰岛良一，
申请(专利权)人：日本梅克特隆株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP