电容式压力传感器制造技术

一种改进的电容式压力计，所述压力计包括：隔膜，其包括（a）公共电极以及（b）具有中心电极和环形电极的电极结构，其中，所述隔膜在（i）当隔膜每侧上压力相同时的零位置以及（ii）当向隔膜施加最大可测量压力差的最大压力差位置之间可移动，以及支撑结构，设置其以支撑所述隔膜，从而所述隔膜相对于电极结构而受限，并且所述公共电极相对于所述压力计的对准轴而与所述中心和环形电极间隔开并轴向对齐；其中，所述电极结构相对于所述隔膜而固定在围绕对准轴呈角度间隔的三个夹紧位置；以及其中，限定在包含限制隔膜的点和每个夹紧位置点的每个正确平面内相对于处于零位置处的隔膜平面的角度在60°和90°之间，以使得减少电极盘支撑高度的改变，允许在隔膜和电极结构之间具有较小的间隙和提高的稳定性。通过包括具有多个突出部的间隔环以及设置成在每个突出部的位置将所述电极结构夹紧至所述间隔环的夹具，以便限定围绕对准轴的多个等角度间隔的夹紧位置，从而消除偶然间隔器引起的径向剪切力以及可能影响可重复性和稳定性的随后可能粘滞滑动情况的可能性。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术一般地涉及一种电容式压力传感器，并且尤其涉及一种改进的传感器，它尤其在极低压力(真空)的情况下提供非常准确和精确的压力测量结果。
技术介绍
已经在大量应用中采用压力换能器。一种这样的换能器是电容式压力计，其提供了对气体、蒸汽或其他流体的压力的准确和精确测量值。应用包括对基于真空的处理以及半导体处理控制的精准控制。实例包括半导体蚀刻处理和物理蒸汽沉积。电容式压力计通常使用(a)形成或包括电极结构的弹性隔膜以及(b)与隔膜间隔开的固定电极结构，以在其间形成电容。在隔膜一侧上的压力相对于隔膜另一侧上压力的改变，使得隔膜弯曲，从而所述隔膜的电极结构和固定的电极结构之间的电容作为这个压力差的函数而改变。通常，在隔膜一侧上的气体或蒸汽处于测得的压力(Ρχ)，而隔膜的相对侧上的气体或蒸汽处于已知的参考压力(Pr)，后者为大气压或一些固定的高或低压(真空)，从而可以确定隔膜的测量侧上的压力作为电容测量值的函数。需要极度低压(高真空)的许多应用已经并且继续发展，而导致需要能够测量这种低压的电容式压力计。然而，增加电容式压力计的灵敏性以在低压时提供非常准确和精确的压力测量值，提出了许多设计挑本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：S·D·布兰肯希普，
申请(专利权)人：MKS仪器公司，
类型：发明
国别省市：