光吸收夹层结构，光学器件及制备方法技术

本发明专利技术提供一种光吸收夹层结构，具有第一吸收层，用于进行光学吸收；反射层，形成与所述第一吸收层之上，用于进行光学反射；第二吸收层，形成于所述反射层之上，用于进行光学吸收。本发明专利技术能够提高光吸收率，使应用光吸收夹层结构的光学器件精度更高。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光学领域。本专利技术更具体地但不限于涉及一种光吸收夹层结构及应用该结构的光学器件。
技术介绍
在光学MEMS器件应用中，往往需要使来自外部的光线选择性地进入光学传感器。现有技术中通常的办法是在器件部分表面形成具有光吸收能力的薄膜材料，从而在相应位置阻挡光线进入。为避免潜在的干扰，理想光吸收薄膜材料需要具有较高的光学吸收率，以及较低的透射率和反射率。常见的光吸收薄膜材料TiN在可见光部分具有较高的透射率，在近红外、红外区有较高反射率，在需要较好可见光透过性的场合具有应用价值，但是在某些对可见光、近红外波段之透射、反射有特殊限制的领域，传统单一TiN薄膜的应用则显示出一定局限性。
技术实现思路
本专利技术考虑到现有技术中的一个或多个问题，提出了一种光吸收夹层结构，应用该光吸收夹层结构的光学器件以及相应的制备方法。本专利技术的第一方面，提出了一种光吸收夹层结构，包含：第一吸收层，用于进行光学吸收；反射层，形成与所述第一吸收层之上，用于进行光学反射；第二吸收层，形成于所述反射层之上，用于进行光学吸收。在一个实施例中，所述第一吸收层和所述第二吸收层的材料为TiNx，日常状态下为黑色本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光吸收夹层结构，包含：第一吸收层，用于进行光学吸收；反射层，形成与所述第一吸收层之上，用于进行光学反射；第二吸收层，形成于所述反射层之上，用于进行光学吸收。

【技术特征摘要】
1.一种光吸收夹层结构，包含：第一吸收层，用于进行光学吸收；反射层，形成与所述第一吸收层之上，用于进行光学反射；第二吸收层，形成于所述反射层之上，用于进行光学吸收。2.如权利要求1所述的光吸收夹层结构，其中，所述第一吸收层和所述第二吸收层的材料为TiNx，日常状态下为黑色，其中Ti与N的原子比大于1。3.如权利要求1所述的光吸收夹层结构，进一步包含：衬底，位于所述第一吸收层下方，用于提供支撑及附着性，并用于光学透射；第一亲和层，形成于所述衬底与所述第一吸收层之间，用于增加所述第一吸收层与所述衬底之间的附着力；第二亲和层，形成于所述第一吸收层和所述反射层之间，用于缓和所述第一吸收层和所述反射层之间的应力；第三亲和层，形成与所述反射层和所述第二吸收层之间，用于缓和所述反射层与所述第二吸收层之间的应力。4.如权利要求1所述的光吸收夹层结构，其中，所述光吸收夹层结构还具有衬底，用于提供支撑及附着性，并用于光学透射，所述第一吸收层位于所述衬底之上，所述第二吸收层位于上表面暴露在外，多个反射层和中间吸收层纵向交替排列于所述第一吸收层和所述第二吸收层之间。5.如权利要求4所述的光吸收夹层结构，其中所述多个中间吸收层的材料为TiNx，日常状态下为黑色，其中Ti与N的原子比大于1。6.如权利要求2或5所述的光吸收夹层结构，其中TiNx材料中，Ti与N的原子比范围为1.05-1.2。7.一种光学器件，包含：光吸收夹层结构，包含衬底，所述衬底用于对上方结构提供支撑，附着，并用于光学透射；多个沟槽，位于所述光吸收夹层结构内，自所述光吸收夹层结构的顶部延伸到底部，与所述衬底上表面接触；光学传感器阵列，位于所述衬底下方，含有多个光传感单元，每个所述光传感单元对应位于一个沟槽下方，接收来自上方的入射光线，根据入射光线产生相应的电信号；其中，所述光吸收夹层结构还包含：第一吸收层，形成于所述衬底之上，用于光学吸收；反射层，形成与所述第一吸收层之上，用于光学反射；第二吸收层，形成于所述反射层之上，用于光学吸收。8.如权利要求7所...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑晨焱，张小辛，粟笛，
申请(专利权)人：中航重庆微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：重庆;50