光检测装置及其制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种光检测装置及其制造方法。光检测装置包括一图案化金属层形成于一基板上方；一保护层形成于基板上方且暴露出部分图案化金属层；多个彩色滤光元件形成于保护层上；和一图案化无机滤光层形成于彩色滤光元件上方。再者，一中间层可选择性地形成于彩色滤光元件和图案化无机滤光层之间。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种光检测装置及其制造方法，且特别是涉及一种于彩色滤光阵列(color filter array)之后形成滤光膜层(light filter film)的光检测装置及其制造方法。
技术介绍
光感测器是可以捕捉和转换光为电子信号的一种光检测装置。光感测器可以广义地分成两类：影像感测器(image sensor)和环境光感测器(ambient light sensor，ALS)。影像感测器可以将一光学影像转换为一电子信号。而环境光感测器则侦测可获得的环境光源，其中包含可见光以及红外光线，并在一应用中，如电子产品的显示面板(如液晶显示面板)，帮助一程序处理器(processor)决定一背光亮度或影像感测器所需的亮度。可应用的电子产品例如是手机、平板电脑、和可测量和处理光线的其他型态的产品。通过环境光感测器侦测环境的亮暗程度，而控制和调整显示面板的背光，进而减少显示系统整体的功率损耗。因此环境光感测器的使用可节省显示面板的能源和增加显示面板的使用寿命。环境光感测器和影像感测器的传统结构仍有许多问题待解决。例如，传统感测器结构中构成彩色滤光阵列的彩色滤光元件有大幅度的高度落差，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光检测装置，包括：图案化金属层，形成于一基板上方；保护层，形成于该基板上方且暴露出部分该图案化金属层；多个彩色滤光元件，形成于该保护层上；和图案化无机滤光层，形成于该些彩色滤光元件上方。

【技术特征摘要】
1.一种光检测装置，包括：图案化金属层，形成于一基板上方；保护层，形成于该基板上方且暴露出部分该图案化金属层；多个彩色滤光元件，形成于该保护层上；和图案化无机滤光层，形成于该些彩色滤光元件上方。2.如权利要求1所述的光检测装置，还包括一中间层，形成于该保护层上和位于该图案化金属层的该些暴露部分之外，其中该中间层位于该些彩色滤光元件和该图案化无机滤光层之间。3.如权利要求2所述的光检测装置，其中该中间层全面地覆盖该些彩色滤光元件。4.如权利要求2所述的光检测装置，其中该中间层包括一平坦层、二氧化硅层、四乙基硅烷层、富硅氧化层、等离子体增强氧化层和旋转涂布玻璃膜层至少其中一者。5.如权利要求2所述的光检测装置，其中该中间层以一低温化学气相沉积制作工艺形成。6.如权利要求2所述的光检测装置，其中该中间层于温度100℃到300℃之间沉积于该保护层上。7.如权利要求2所述的光检测装置，其中该中间层的一厚度在到之间。8.如权利要求7所述的光检测装置，其中各该彩色滤光元件的一厚度在0.5μm到2.5μm之间。9.如权利要求1所述的光检测装置，其中该图案化无机滤光层包括：第一无机层，形成于一第一光检测区域，该第一光检测区域具有至少的该些彩色滤光元件的一堆叠；和第二无机层，形成于一第二光检测区域，该第二光检测区域具有排列为一阵列的该些彩色滤光元件。10.如权利要求9所述的光检测装置，还包括一中间层，覆盖位于该第一光检测区域和该第二光检测区域的所有该些彩色滤光元件，其中该第一无机层和该第二无机层形成于该中间层上并分别对应该第一光检测区域和该
\t第二光检测区域。11.如权利要求9所述的光检测装置，其中该第一无机层与该第二无机层分隔开来。12.如权利要求1所述的光检测装置，其中该图案化无机滤光层为一多层膜结构。13.如权利要求1所述的光检测装置，其中该图案化无机滤光层至少包括多个第一无机材料层和第二无机材料层...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡旻翰，刘裕腾，林之韵，阮韦铭，
申请(专利权)人：联华电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71