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光吸收夹层结构,光学器件及制备方法技术
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文档序号:14295433
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本发明提供一种光吸收夹层结构,具有第一吸收层,用于进行光学吸收;反射层,形成与所述第一吸收层之上,用于进行光学反射;第二吸收层,形成于所述反射层之上,用于进行光学吸收。本发明能够提高光吸收率,使应用光吸收夹层结构的光学器件精度更高。...
该专利属于中航(重庆)微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中航(重庆)微电子有限公司授权不得商用。
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