The utility model provides a thin film transistor and a display panel. The thin film transistor comprises a grid, a first insulating layer, a first two semiconductor pattern, a source electrode, a second insulating layer and a drain electrode. First insulation layer covering grid. The first semiconductor pattern is positioned on the first insulating layer. The second semiconductor pattern is positioned on the first semiconductor pattern. Source covers second semiconductor pattern. The edge trimming source in the first semiconductor pattern and the edge of the second semiconductor pattern in the first semiconductor pattern. First semiconductor pattern exposing the same part of the source and the second semiconductor pattern. The second insulating layer covers the source and the first and the two semiconductor patterns, and has an opening for exposing the first semiconductor pattern of the part. The drain is filled into the opening to electrically connect with the first semiconductor pattern. The thin film transistor of the utility model has the advantages of good electrical property. The display panel of the utility model comprises a thin film transistor.
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种电子元件,尤其涉及一种薄膜晶体管及显示面板。
技术介绍
随着显示面板的发展,人们对显示质量的要求越来越高,特别是,对于显示面板的解析度。然而,随着显示面板的解析度提高,每一子像素的尺寸必需随着缩小。因此,尺寸小的金属氧化物薄膜晶体管已被应用在高解析度的显示面板中。在金属氧化物薄膜晶体管的制程中,为了保护不耐水、氧、酸液的金属氧化物半导体图案,多会在金属氧化物半导体图案上制作一个蚀刻阻挡图案。蚀刻阻挡图案会保护金属氧化物半导体图案,以在图案化出源极与漏极的过程中,避免蚀刻液损伤金属氧化物半导体图案。然而,薄膜晶体管的通道长度会受限于蚀刻阻挡图案的尺寸,而使解析度不易进一步提高。因此,有人提出一种能够抵抗蚀刻液的新式金属氧化物半导体材料,以使薄膜晶体管不需设置蚀刻阻挡图案。经实验证实,新式的金属氧化物半导体材料确实较不易受到蚀刻液的损伤,然而,以现有薄膜晶体管架构及新式金属氧化物半导体材料制作的薄膜晶体管,其电性不佳。
技术实现思路
本技术提供一种薄膜晶体管,其电性佳。本技术的薄膜晶体管包括栅极、第一绝缘层、第一半导体图案、第二半导体图案、源极、第二绝缘层以及漏极。第一绝缘层覆盖栅极。第一半导体图案配置在第一绝缘层上。第二半导体图案配置在第一半导体图案上且与第一半导体图案电连接。第二半导体图案暴露部分的第一半导体图案。源极覆盖第二半导体图案且与第二半导体图案电连接。源极具有位在第一半导体图案上的边缘。第二半导体图案具有位在第一半导体图案上的边缘。源极的所述边缘与第二半导体图案的所述边缘切齐。源极与第二半导体图案暴露同一部分的第一半导体图案。第二绝缘层覆 ...
【技术保护点】
一种薄膜晶体管,其特征在于,包括:栅极;第一绝缘层,覆盖所述栅极;第一半导体图案,配置在所述第一绝缘层上;第二半导体图案,配置在所述第一半导体图案上且与所述第一半导体图案电连接,所述第二半导体图案暴露一部分的所述第一半导体图案;源极,覆盖所述第二半导体图案且与所述第二半导体图案电连接,所述源极具有位在所述第一半导体图案上的边缘,所述第二半导体图案具有位在所述第一半导体图案上的边缘,所述源极的所述边缘与所述第二半导体图案的所述边缘切齐,所述源极与所述第二半导体图案暴露同一所述部分的所述第一半导体图案;第二绝缘层,覆盖所述源极、所述第二半导体图案以及所述第一半导体图案,且具有暴露同一所述部分的所述第一半导体图案的开口;以及漏极,配置在所述第二绝缘层上且填入所述开口,以和所述第一半导体图案电连接。
【技术特征摘要】
1.一种薄膜晶体管,其特征在于,包括:栅极;第一绝缘层,覆盖所述栅极;第一半导体图案,配置在所述第一绝缘层上;第二半导体图案,配置在所述第一半导体图案上且与所述第一半导体图案电连接,所述第二半导体图案暴露一部分的所述第一半导体图案;源极,覆盖所述第二半导体图案且与所述第二半导体图案电连接,所述源极具有位在所述第一半导体图案上的边缘,所述第二半导体图案具有位在所述第一半导体图案上的边缘,所述源极的所述边缘与所述第二半导体图案的所述边缘切齐,所述源极与所述第二半导体图案暴露同一所述部分的所述第一半导体图案;第二绝缘层,覆盖所述源极、所述第二半导体图案以及所述第一半导体图案,且具有暴露同一所述部分的所述第一半导体图案的开口;以...
【专利技术属性】
技术研发人员:曹文光,吴德峻,黄彦余,姜信铨,陈玉仙,
申请(专利权)人:中华映管股份有限公司,
类型:新型
国别省市:中国台湾;71
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