超高纯过氧化氢连续生产的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种超高纯过氧化氢连续生产的装置，由原料槽（１）、活性炭预混器（２）、微滤超滤过滤器（３）、多塔串联精馏塔（４）、反渗透器（５）、纳滤器（６）、成品接受器（７）、泵（８）和阀（９）组成，原料槽（１）出口与活性炭预混器（２）进口相连通，活性炭预混器（２）出口与微滤超滤过滤器（３）进口相连通，微滤超滤过滤器（３）出口与泵（８）进口相连通，泵（８）出口与多塔串联精馏塔（４）进口相连通，多塔串联精馏塔（４）出口通过管路与反渗透器（５）进口相连通，反渗透器（５）出口通过管路与阀（９）进口相连通，阀（９）出口通过管路与纳滤器（６）进口相连通，纳滤器（６）出口通过管路与成品接受器（７）相连通本实用新型专利技术装置制作较为简单，成本低，工艺连续性强、质量分离效果好、产品纯度高，杂质离子含量低，适合大规模的工业化生产。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种超净高纯化学试剂的生产装置，尤其是涉及一种超高纯过氧化氢连续生产的装置。超高纯过氧化氢主要适用于微电子工业制造大规模集成电路半导体器件行业中作为清洗和腐蚀之用。
技术介绍
超净高纯化学试剂又称微电子化学品，是微电子行业加工制造中关键性的基础材料，主要用于集成电路(IC)微加工过程中的清洗和蚀刻。其纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性有着十分重大的影响。随着IC存储含量的不断提高，容量也在不断地增大，因而氧化膜变得更薄。但是微电子化学品中的碱金属杂质，像钠、钙等杂质，会溶进氧化膜中去，从而导致了耐绝缘电压的下降，重金属杂质像铜、铁、铬、银等，如果附着在硅晶片的表面上，将会使P-N结的耐电压降低。因此，对微电子化学试剂的颗粒含量和金属杂质含量的要求也越来越高。超高纯过氧化氢是一种十分重要的微电子化学试剂，通常是以工业级过氧化氢为原料纯化精制而成。目前绝大部分工业过氧化氢生产技术采用蒽醌法。工业级过氧化氢含有有机物、各种金属和非金属杂质，主要有重芳烃、磷酸三辛酯和蒽醌及其衍生物等。目前，工业化提纯过氧化氢的方-->法有两种：一是采用有机碳吸附阴离子交换法。它是将原本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超高纯过氧化氢连续生产的装置，其特征在于所述装置由原料槽（１）、活性炭预混器（２）、微滤超滤过滤器（３）、多塔串联精馏塔（４）、反渗透器（５）、纳滤器（６）、成品接受器（７）、泵（８）和阀（９）组成，　所述原料槽（１）出口通过管路 与活性炭预混器（２）进口相连通，活性炭预混器（２）出口通过管路与微滤超滤过滤器（３）进口相连通，微滤超滤过滤器（３）出口通过管路与泵（８）进口相连通，泵（８）出口通过管路与多塔串联精馏塔（４）进口相连通，多塔串联精馏塔（４）出口通过管路与反渗透器（５）进口相连通，反渗透器（５）出口通过管路与阀（９）进口相连通，阀（９）出口通过管路与纳滤器（６）进口相连...

【技术特征摘要】
1、一种超高纯过氧化氢连续生产的装置，其特征在于所述装置由原料槽(1)、活性炭预混器(2)、微滤超滤过滤器(3)、多塔串联精馏塔(4)、反渗透器(5)、纳滤器(6)、成品接受器(7)、泵(8)和阀(9)组成，所述原料槽(1)出口通过管路与活性炭预混器(2)进口相连通，活性炭预混器(2)出口通过管路与微滤超滤过滤器(3)进口相连通，微滤超滤过滤器(3)出口通过管路与泵(8)进口相连通，泵(8)出口通过管路与多塔串联...

【专利技术属性】
技术研发人员：戈士勇，
申请(专利权)人：江阴市润玛电子材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]