【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种超净高纯化学试剂的生产装置，尤其是涉及一种超高纯过氧化氢连续生产的装置。超高纯过氧化氢主要适用于微电子工业制造大规模集成电路半导体器件行业中作为清洗和腐蚀之用。
技术介绍
超净高纯化学试剂又称微电子化学品，是微电子行业加工制造中关键性的基础材料，主要用于集成电路(IC)微加工过程中的清洗和蚀刻。其纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性有着十分重大的影响。随着IC存储含量的不断提高，容量也在不断地增大，因而氧化膜变得更薄。但是微电子化学品中的碱金属杂质，像钠、钙等杂质，会溶进氧化膜中去，从而导致了耐绝缘电压的下降，重金属杂质像铜、铁、铬、银等，如果附着在硅晶片的表面上，将会使P-N结的耐电压降低。因此，对微电子化学试剂的颗粒含量和金属杂质含量的要求也越来越高。超高纯过氧化氢是一种十分重要的微电子化学试剂，通常是以工业级过氧化氢为原料纯化精制而成。目前绝大部分工业过氧化氢生产技术采用蒽醌法。工业级过氧化氢含有有机物、各种金属和非金属杂质，主要有重芳烃、磷酸三辛酯和蒽醌及其衍生物等。目前，工业化提纯过氧化氢的方-->法有两种：一是采用有机碳吸附阴离子交换法。它是将原料通过泵输入吸附树脂进行离子交换，最后过滤除去颗粒杂质，从而得到超高纯过氧化氢产品，其生产原料过氧化氢利用率低，生产成本高，分离效果差，产品纯度只能符合国际半导体设备与材料组织的SEMI-C1标准。二是采用单个阴阳离子交换加阴阳离子交换法。它是将工业级过氧化氢溶液连续通过阴离子、阳离子、阴阳离子交换树脂，制备得高纯过氧化氢产品。其在生产过程中原料过氧化氢利用率低，分离效果差，纯...
【技术保护点】
一种超高纯过氧化氢连续生产的装置，其特征在于所述装置由原料槽（１）、活性炭预混器（２）、微滤超滤过滤器（３）、多塔串联精馏塔（４）、反渗透器（５）、纳滤器（６）、成品接受器（７）、泵（８）和阀（９）组成， 所述原料槽（１）出口通过管路 与活性炭预混器（２）进口相连通，活性炭预混器（２）出口通过管路与微滤超滤过滤器（３）进口相连通，微滤超滤过滤器（３）出口通过管路与泵（８）进口相连通，泵（８）出口通过管路与多塔串联精馏塔（４）进口相连通，多塔串联精馏塔（４）出口通过管路与反渗透器（５）进口相连通，反渗透器（５）出口通过管路与阀（９）进口相连通，阀（９）出口通过管路与纳滤器（６）进口相连通，纳滤器（６）出口通过管路与成品接受器（７）相连通， 所述微滤超滤过滤器（３）中微滤膜的孔径为０．９μｍ，超滤膜的孔径 为０．０６μｍ，纳滤器（６）的纳滤膜的孔径为２ｎｍ， 所述微滤膜、超滤膜、反渗透器的反渗透膜和纳滤膜均采用均苯四酸二酐材料制成。
【技术特征摘要】
1、一种超高纯过氧化氢连续生产的装置，其特征在于所述装置由原料槽(1)、活性炭预混器(2)、微滤超滤过滤器(3)、多塔串联精馏塔(4)、反渗透器(5)、纳滤器(6)、成品接受器(7)、泵(8)和阀(9)组成，所述原料槽(1)出口通过管路与活性炭预混器(2)进口相连通，活性炭预混器(2)出口通过管路与微滤超滤过滤器(3)进口相连通，微滤超滤过滤器(3)出口通过管路与泵(8)进口相连通，泵(8)出口通过管路与多塔串联...
【专利技术属性】
技术研发人员：戈士勇，
申请(专利权)人：江阴市润玛电子材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]
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