热束成膜装置制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种热束(ヒートビーム)成膜装置，通过瞬间加热到比基体温度更高温度的部件，使原料气体变化而生成气体，将生成的气体导向基体表面来进行成膜。
技术介绍
通常，气体的分子的化学键能量大多在3eV以上，仅对气体进行高温加热，气体的分子不会分解。但是，如果使加热成高温的气体垂直地与包含具有催化效果的元素的金属碰撞，则气体的分子变得容易进行反应。如果对能够在催化剂上进行化学反应的气体种类进行加热并使其碰撞，则能够发生反应而生成与原来的气体不同的分子种类或形态的气体(以下将其称为催化碰撞反应)。例如，如果在加入了钌催化剂的容器内，使对甲烷和水蒸气进行瞬间加热得到的气体与钌催化剂碰撞，则反应进行，生成氢气H2、二氧化碳CO2和一氧化碳CO。该反应是催化碰撞反应的一个例子(例如参照专利文献1)。此时认为，虽然水被加热而成为蒸汽，但是并不仅仅是温度单纯变高，其结构也从分子聚集的多量体(水簇)变化为单量体。推测生成的单量体气体化学性质发生变化，具有与通常的水不同的活性的化学性质。为了在工业上利用所述催化碰撞反应，需要对气体进行瞬间加热的装置和使气体与催化剂碰撞的低价的小...
【技术保护点】
一种热束成膜装置，其特征在于包括：原料气体的瞬间加热机构，具有流道结构，所述流道结构使高温加热了的原料气体反复与包含具有催化功能的元素的金属材料高速碰撞；以及基体，以比所述原料气体的瞬间加热机构的温度低的温度被支承，将通过所述原料气体的瞬间加热机构产生的生成气体吹向所述基体并使所述生成气体与所述基体接触来成膜。
【技术特征摘要】
2015.06.01 JP 2015-1117301.一种热束成膜装置，其特征在于包括：原料气体的瞬间加热机构，具有流道结构，所述流道结构使高温加热了的原料气体反复与包含具有催化功能的元素的金属材料高速碰撞；以及基体，以比所述原料气体的瞬间加热机构的温度低的温度被支承，将通过所述原料气体的瞬间加热机构产生的生成气体吹向所述基体并使所述生成气体与所述基体接触来成膜。2.根据权利要求1所述的热束成膜装置，其特征在于，所述原料气体的瞬间加热机构的流道的表面由包含钌、镍、铂、铁、铬、铝和钽元素中的一种以上的金属形成。3.根据权利要求1所述的热束成膜装置，其特征在于，设置有多个所述原料气...
【专利技术属性】
技术研发人员：古村雄二，清水纪嘉，西原晋治，
申请(专利权)人：株式会社菲尔科技，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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