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本发明涉及一种热束成膜装置，生成即使在基体不会产生变形和变质的低温特别是100℃以下也能够反应的分子种类来进行成膜。在将原料气体瞬间加热至高温并使其与具有催化功能的金属壁碰撞的热束加热装置中，通过非平衡的反应，高效地生成活性化分子种类，将其...
该专利属于株式会社菲尔科技所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社菲尔科技授权不得商用。

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