本发明提供在室温下高速且被覆性良好地成膜化合物的膜的方法。该方法的膜形成装置具备分别蓄积第一原料气体和第二原料气体的蓄积机构、对第一原料气体及第二原料气体进行加热的瞬间加热部、和放置有温度低于瞬间加热部的加热温度的基体的反应室，将在蓄积...

本发明提供一种成膜装置，使基体变形也不会碎裂、剥离的化合物膜在室温下生长。对原料气体进行瞬间加热，分别引导通过瞬间加热产生的2种以上的生成气体分子种，使其与温度比原料气体的瞬间加热机构的加热温度低的基体接触，形成第一化合物膜，同时形成包...

本发明涉及一种热束成膜装置，生成即使在基体不会产生变形和变质的低温特别是100℃以下也能够反应的分子种类来进行成膜。在将原料气体瞬间加热至高温并使其与具有催化功能的金属壁碰撞的热束加热装置中，通过非平衡的反应，高效地生成活性化分子种类，...

本发明提供一种廉价地加热大流量的气体或液体的小型热交换装置和有机物处理装置。在利用冲压加工而弯曲从而形成有流道槽的第一板上连接有第二板，形成具有气密性的流道，通过使导入流道的流体与该流道的壁垂直地碰撞来进行热交换。构成流道的材料可以是金...

本发明提供一种能够低成本地对大流量的气体、液体进行加热的小型流体加热装置。在金属柱的侧面上形成流体的槽流路，通过了狭窄的流路的流体与下一个流路的壁垂直撞击，形成了不能形成停滞层的流路。在较小的空间内瞬间进行换热，并且其构造制造较容易。

本发明提供一种可在玻璃基板上高效地形成膜的加热装置及具有此加热装置的膜形成装置。此膜形成装置具有对支撑台（２６）上所载置的玻璃基板（２４）的表面（２５）垂直地喷吹比此玻璃基板的软化点温度高的高温气体的加热装置，且对所述玻璃基板的表面与高...