【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及用于研磨机或抛光机领域,具体涉及一种用于研磨机或抛光机的一体化顶台上盘结构。
技术介绍
单面研磨机/抛光机是目前硬脆材料平面加工的主要设备,因加工材料的特殊性,要求设备的稳定性高。顶台的刚性对上盘系统的稳定性起着至关重要的作用。现有的用于研磨机或抛光机,上盘系统固定在焊接箱体上,支撑刚度及稳定性均存在缺陷。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术存在的问题,提供一种用于研磨机或抛光机的一体化顶台上盘结构,提高了设备的稳定性,尤其是上盘系统在加压过程中的刚性和稳定性。为实现上述技术目的,达到上述技术效果,本专利技术通过以下技术方案实现:一种用于研磨机或抛光机的一体化顶台上盘结构,包括顶台,所述顶台上设有上盘系统,所述顶台底部设有立柱,所述顶台与所述立柱之间通过第一螺钉,第一平垫和第一弹垫连接,所述顶台与所述上盘系统之间通过第二螺钉,第二平垫和第二弹垫连接。进一步的,所述上盘系统有4组。进一步的,所述立柱有4组。优选的,所述顶台的中心位置设有添加抛光液的孔,所述顶台的内部设有安装平台,通风排气孔和安装孔,所述顶台的四个角都设有加强筋安装平台有4个。进一步的,所述安装平台有4个,用于安装4组上盘系统,所述安装孔用于安装温度传感器。本专利技术的有益效果:本专利技术有效的保证了设备在研磨抛光过程中,上盘气缸在施加大压力情况下,加工过程中上下盘之间的平行度以及加工过程的稳定性。附图说明图1是本专利技术用于研磨机或抛光机的一体化顶台上盘结构的整体装配结构示意图;图2是本专利技术用于研磨机或抛光机的一体化顶台上盘结构的顶台顶部结构示意图;图3是本专利技 ...
【技术保护点】
一种用于研磨机或抛光机的一体化顶台上盘结构,其特征在于,包括顶台(2),所述顶台(2)上设有上盘系统(1),所述顶台(2)底部设有立柱(3),所述顶台(2)与所述立柱(3)之间通过第一螺钉(4),第一平垫(5)和第一弹垫(6)连接,所述顶台(2)与所述上盘系统(1)之间通过第二螺钉(7),第二平垫(8)和第二弹垫(9)连接。
【技术特征摘要】
1.一种用于研磨机或抛光机的一体化顶台上盘结构,其特征在于,包括顶台(2),所述顶台(2)上设有上盘系统(1),所述顶台(2)底部设有立柱(3),所述顶台(2)与所述立柱(3)之间通过第一螺钉(4),第一平垫(5)和第一弹垫(6)连接,所述顶台(2)与所述上盘系统(1)之间通过第二螺钉(7),第二平垫(8)和第二弹垫(9)连接。2.根据权利要求1所述的用于研磨机或抛光机的一体化顶台上盘结构,其特征在于,所述上盘系统(1)有4组。3.根据权利要求1所述的用于研磨机或抛光机的一体化...
【专利技术属性】
技术研发人员:乔卫民,翟新,李方俊,马艳,
申请(专利权)人:苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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