电光学装置以及电子设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够提高显示品质的电光学装置以及电子设备。该电光学装置具有：第一基材(10a)、设置在第一基材(10a)上的层间绝缘层(45)、以及设置于层间绝缘层(45)的槽(16’)，在槽(16’)的内部形成有按下部电极(16a)、下部电介质膜(16b)、中部电极(16c)、上部电介质膜(16d)、上部电极(16e)的顺序依次层叠而形成的多个电容(第一电容元件(161)、第二电容元件(162))。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电光学装置以及电子设备。
技术介绍
作为上述电光学装置，例如已知有按每个像素具备对像素电极进行开关控制的晶体管的有源驱动方式的液晶装置。该液晶装置例如被用作作为电子设备的液晶投影仪的液晶光阀。在上述液晶装置中，为了保持像素电位，具备在一对电容电极之间夹持有电介质膜的构造的电容元件。若上述液晶投影仪为高亮度，则有晶体管的漏光(电流)增加的趋势，所以为了维持显示品质，需要增加电容元件的电容量。例如，专利文献1中公开有将辅助电容沿像素的平面方向设置多个来增加电容量的方法。专利文献1：日本特开平6－75248号公报然而，存在如下课题：若如上述专利文献1那样，在像素的平面方向上增加电容量，则需要很多面积，所以开口率降低，无法应对像素间距的窄间距化、液晶装置的小型化。另外，若要应对像素间距的窄间距化，则存在电容变小、漏光增加而无法应对高亮度化这样的课题。
技术实现思路
本专利技术的方式是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，能够作为以下的方式或者应用例来实现。[应用例1]本应用例所涉及的电光学装置的特征在于，具有：基板；设置于上述基板上的绝缘层；以及设置于上述绝缘层的槽，在上述槽的内部形成有按第一电极、第一绝缘膜、第二电极、第二绝缘膜、第三电极的顺序依次层叠而形成的多个电容。根据本应用例，在槽(沟槽)的内部由层叠膜构成多个电容(电容
元件)，所以不增加平面上的面积，就能够增加电容。因此，能够使像素间距窄间距化，并且能够提高亮度。[应用例2]在上述应用例所涉及的电光学装置中，优选在上述基板上设置有晶体管，上述多个电容被配置在上述晶体管之上。根据本应用例，在晶体管之上配置有电容(沟槽型的电容)，所以能够用沟槽型的电容遮挡来自晶体管的漏光。另外，能够用沟槽的侧壁反射从外部向晶体管侵入的光(倾斜光等)。因此，能够抑制如光射入至晶体管的情况那样晶体管产生误动作。[应用例3]在上述应用例所涉及的电光学装置中，优选上述晶体管具有半导体层，上述槽被配置成在俯视时与上述半导体层重叠。根据本应用例，以与半导体层重叠的方式形成电容(槽)，所以能够通过电容遮挡来自半导体层(特别是LDD(Lightly Doped Drain：轻掺杂漏极)区域)的漏光。另外，即使在使用遮光性低但膜的埋入性好的膜的情况下，通过膜被层叠，也能够提高遮光性。[应用例4]在上述应用例所涉及的电光学装置中，优选上述第一电极、上述第二电极以及上述第三电极是氮化钛，上述第一绝缘膜以及上述第二绝缘膜是High－k膜。根据本应用例，通过使用上述材料，能够在槽中层叠多个电容膜，并且能够使电容量增加。[应用例5]本应用例所涉及的电子设备的特征在于，具备上述的电光学装置。根据本应用例，具备上述的电光学装置，所以能够提供能够小型化且使显示品质提高的电子设备。附图说明图1是表示液晶装置的结构的示意俯视图。图2是沿着图1所示的液晶装置的H－H’线的示意剖视图。图3是表示液晶装置的电性结构的等效电路图。图4是表示液晶装置的像素的构造的概略剖视图。图5是表示像素的构造的概略俯视图。图6是按工序顺序表示液晶装置的制造方法的流程图。图7是表示液晶装置的制造方法中的一部分制造方法的概略剖视图。图8是表示液晶装置的制造方法中的一部分制造方法的概略剖视图。图9是表示液晶装置的制造方法中的一部分制造方法的概略剖视图。图10是表示液晶装置的制造方法中的一部分制造方法的概略剖视图。图11是表示作为电子设备的投影仪的结构的概略图。附图标记说明：3a…扫描线，3b…电容线，6a…数据线，10…元件基板，10a…作为基板的第一基材，13…绝缘层，14…密封材料，15…液晶层，16…电容元件，16’…槽(沟槽)，16a…作为第一电极的下部电极，16b…作为第一绝缘膜的下部电介质膜，16c…作为第二电极的中部电极，16d…作为第二绝缘膜的上部电介质膜，16e…作为第三电极的上部电极，16f…覆盖TEOS膜，18…遮光层，20…对置基板，20a…第二基材，22…数据线驱动电路，24…扫描线驱动电路，26…上下导通部，27…像素电极，28…第一取向膜，29…布线，30…TFT，30a…半导体层，30c…沟道区域，30d…像素电极侧源极和漏极区域，30d1…像素电极侧LDD区域，30g…栅极电极，30s…数据线侧源极和漏极区域，30s1…数据线侧LDD区域，31…共用电极，32…第二取向膜，33…栅极绝缘膜，41…第一绝缘层，42…第二绝缘层，43…第三绝缘层，44～49…层间绝缘层，51…第一遮光膜，52…第二遮光膜，53…第三遮光膜，61…外部连接端子，81…第一中继层，82…第二中继层，83a～83f…接触孔，84a～84d…中继电极，84e…共用布线，100…液晶装置，161…作为电
容的第一电容元件，162…作为电容的第二电容元件，1000…投影仪，1100…偏振光照明装置，1101…灯单元，1102…集成透镜，1103…偏振光变换元件，1104、1105…分色镜，1106、1107、1108…反射镜，1201、1202、1203、1204、1205…中继透镜，1206…十字分色棱镜，1207…投射透镜，1210、1220、1230…液晶光阀，1300…屏幕，1400…投射光学系统。具体实施方式以下，根据附图对将本专利技术具体化了的实施方式进行说明。此外，使用的附图被适当地放大或者缩小来显示，以便使要说明的部分成为能够识别的状态。此外，在以下的方式中，设例如记载为“在基板上”的情况表示：配置成接触到基板之上的情况，或者隔着其他构成物配置在基板之上的情况，或者一部分以接触的方式配置在基板之上、一部分隔着其他构成物配置的情况。在本实施方式中，例举具备薄膜晶体管(TFT：Thin Film Transistor)来作为像素的开关元件的有源矩阵型的液晶装置来进行说明。该液晶装置例如能够作为后述的投射型显示装置(液晶投影仪)的光调制元件(液晶光阀)来优选使用。＜作为电光学装置的液晶装置的结构＞图1是表示液晶装置的结构的示意俯视图。图2是沿着图1所示的液晶装置的H－H’线的示意剖视图。图3是表示液晶装置的电性结构的等效电路图。以下，参照图1～图3对液晶装置的结构进行说明。如图1以及图2所示，本实施方式的液晶装置100具备：对置配置的元件基板10以及对置基板20、和被上述一对基板夹持的液晶层15。作为构成元件基板10的基板的第一基材10a以及构成对置基板20的第二基材20a例如使用玻璃基板、石英基板等透明基板。元件基板10比对置基板20大，两基板经由沿着对置基板20的外周配置的密封材料14接合，在其间隙中封入具有负的介电各向异性的
液晶来构成液晶层15。密封材料14例如采用热固化性或者紫外线固化性的环氧树脂等粘合剂。在密封材料14中混入有用于将一对基板的间隔保持为恒定的间隙材料。在密封材料14的内侧具有排列有多个像素P的显示区域E。在密封材料14与显示区域E之间以包围显示区域E的方式配置有遮光性的例如由金属或者金属氧化物等构成的遮光层18(隔断部)。此外，显示区域E也可以包括以包围对显示做出贡献的多个像素P的方式配置的多个伪像素。在第一基材10a的1边部与沿着1边部的密封材料14本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电光学装置，其特征在于，具备：基板；绝缘层，其被设置在所述基板上；以及槽，其被设置于所述绝缘层，在所述槽的内部形成有按第一电极、第一绝缘膜、第二电极、第二绝缘膜、第三电极的顺序依次层叠而形成的多个电容。

【技术特征摘要】
2015.03.31 JP 2015-0015331.一种电光学装置，其特征在于，具备：基板；绝缘层，其被设置在所述基板上；以及槽，其被设置于所述绝缘层，在所述槽的内部形成有按第一电极、第一绝缘膜、第二电极、第二绝缘膜、第三电极的顺序依次层叠而形成的多个电容。2.根据权利要求1所述的电光学装置，其特征在于，在所述基板上设置有晶体管，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：杉本阳平，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP