【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光纤
，具体的说是涉及一种MEMS集成光纤连接器新型结构。
技术介绍
随着当前光纤通信系统应用的不断增长，光纤连接器已经成为光通信系统中的重要光无源器件之一，用于实现系统中设备间、设备与仪表间、设备与光纤间以及光纤与光纤间的非永久性固定连接。随着光系统的小型化和光纤配线架上连接器密集化程度的不断增加，传统连接器逐渐显示出体积过大、价格太贵的缺点，MEMS光纤连接器凭借其加工精度高、零件尺寸小、无需装配和可批量制造的优点展现出了巨大的市场潜力和广阔的应用前景。现有技术中，硅蚀刻完全受晶面控制，无法实现平滑过渡，导入端宽度呈阶梯变化现象，不便于平滑导入，这样可能会破坏基体，同时不利于光纤的准直安装。
技术实现思路
针对现有技术中的不足，本技术要解决的技术问题在于提供了一种MEMS集成光纤连接器新型结构。为解决上述技术问题，本技术通过以下方案来实现：一种MEMS集成光纤连接器新型结构，所述光纤连接器包括：置于最底层的光纤基板，所述光纤基板为单晶硅基板层，在该单晶硅基板层设置有若干硅V型槽，硅V型槽内固定有光纤；电热驱动器，所述电热驱动器设置有两层，置于硅V型槽）的上端，将光纤压紧；驱动单元，所述驱动单元通过桥接板与电热驱动器连接，所述桥接板上设置有电路，驱动单元电连接电热驱动器。进一步的，所述电热驱动器边缘呈方形或边缘翘曲。进一步的，所述电热驱动器盖于光纤上，使光纤准直于硅V型槽内。进一步的，所述单晶硅基板层是经氧化后的单晶硅基板。进一步的，所述硅V型槽的开口宽度小于183μm。进一步的，所述光纤直径为105μm。 相对于现有技术，本技术的有益效...
【技术保护点】
一种MEMS集成光纤连接器新型结构，其特征在于，所述光纤连接器包括：置于最底层的光纤基板（1），所述光纤基板（1）为单晶硅基板层，在该单晶硅基板层设置有若干硅V型槽（3），硅V型槽（3）内固定有光纤（2）；电热驱动器（4），所述电热驱动器（4）设置有两层，置于硅V型槽（3）的上端，将光纤（2）压紧；驱动单元（6），所述驱动单元（6）通过桥接板（5）与电热驱动器（4）连接，所述桥接板（5）上设置有电路，驱动单元（6）电连接电热驱动器（4）。
【技术特征摘要】
1.一种MEMS集成光纤连接器新型结构，其特征在于，所述光纤连接器包括：置于最底层的光纤基板（1），所述光纤基板（1）为单晶硅基板层，在该单晶硅基板层设置有若干硅V型槽（3），硅V型槽（3）内固定有光纤（2）；电热驱动器（4），所述电热驱动器（4）设置有两层，置于硅V型槽（3）的上端，将光纤（2）压紧；驱动单元（6），所述驱动单元（6）通过桥接板（5）与电热驱动器（4）连接，所述桥接板（5）上设置有电路，驱动单元（6）电连接电热驱动器（4）。2.根据权利要求1所述的一种MEMS集成光纤连接器新型结构，其特征在于：所...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨学臣，
申请(专利权)人：深圳市晨洋通信产品有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
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