一种压力监测设备制造技术

本实用新型专利技术涉及监测设备领域，公开一种压力监测设备，包括换向组件、第一管道、第二管道、第三管道和真空压力计，其中:换向组件包括第一接口、第二接口和第三接口，当换向组件处于第一工作状态时，第一接口与第二接口连通；当换向组件处于第二工作状态时，第一接口与第三接口连通；第一管道的一端用于与排风管道连通、另一端与第一接口连通；第二管道的一端与第二接口连通，真空压力计安装于第二管道的另一端；第三管道的一端用于与干燥气源装置连通、另一端与第三接口连通。该设备可改善因冷凝液体进入监测管道造成的监控数据异常，提高了排风系统压力监测准确性，并改善了因压力监测数据异常造成的设备稼动率降低的问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及监测设备领域，特别涉及一种压力监测设备。
技术介绍
在现代工业中，生产车间内为防止在生产过程中产生的有害物或水蒸气对生产过程造成影响，多采用排风系统将有害物或水蒸气排出车间。例如在目前液晶显示面板制造业中，生产过程中所用的湿法刻蚀机以及湿法剥离机的药液区间升温后会产生药液挥发气体，而水洗区间则会产生水蒸气，为减少药液挥发气体和水蒸气对生产过程的影响，需设置排风系统将药液挥发气体和水蒸气排出。为保证生产工艺稳定和减少药液损失，要求排风系统的负压维持在一定范围内，需采用压力监测设备对排风系统的负压进行监测，压力监测设备中通常使用监测管道与排风管道相连，并在监测管道的一端设置真空压力计以进行负压进行监测，当监测到的负压超出设定范围时，设备会停止生产，以避免在此情况下继续生产而造成的产品不良。但是，在排风过程中，药液挥发气体和水蒸气会在真空压力计的监测管道上冷凝，冷凝液体会因压力变化而进入监测管道并使管道堵塞，导致所测得的数值与实际不符，降低了排风系统的压力监测准确性，不能反应排风系统的真实压力。若此异常数值超出生产工艺要求的设定范围，还会造成设备非正常停机，降低设备稼动率。技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压力监测设备，其特征在于，包括换向组件、第一管道、第二管道、第三管道和真空压力计，其中:所述换向组件包括第一接口、第二接口和第三接口，当所述换向组件处于第一工作状态时，所述第一接口与所述第三接口断开，所述第二接口与所述第三接口断开，且所述第一接口与所述第二接口连通；当所述换向组件处于第二工作状态时，所述第一接口与所述第二接口断开，所述第二接口与所述第三接口断开，所述第一接口与所述第三接口连通；所述第一管道的一端用于与排风管道连通、另一端与所述第一接口连通；所述第二管道的一端与所述第二接口连通，所述真空压力计安装于所述第二管道的另一端；所述第三管道的一端用于与干燥气源装置连通、另一端与所述第...

【技术特征摘要】
1.一种压力监测设备，其特征在于，包括换向组件、第一管道、第二管道、第三管道和真空压力计，其中:所述换向组件包括第一接口、第二接口和第三接口，当所述换向组件处于第一工作状态时，所述第一接口与所述第三接口断开，所述第二接口与所述第三接口断开，且所述第一接口与所述第二接口连通；当所述换向组件处于第二工作状态时，所述第一接口与所述第二接口断开，所述第二接口与所述第三接口断开，所述第一接口与所述第三接口连通；所述第一管道的一端用于与排风管道连通、另一端与所述第一接口连通；所述第二管道的一端与所述第二接口连通，所述真空压力计安装于所述第二管道的另一端；所述第三管道的一端用于与干燥气源装置连通、另一端与所述第三接口连通。2.根据权利要求1所述的压力监测设备，其特征在于，所述换向组件包括：壳体；安装于所述壳体内的挡板，所述挡板的一端铰接于所述壳体、且可绕其铰接端转动，当所述挡板处于第一工位时将所述第三接口封堵，以使所述换向组件处于第一工作状态；当所述挡板处于第二工位时将所述第二接口封堵，以使所述换向组件处于所述第二工作状态；与所述挡板连接的离合机构，在所述第三接口内的气压未超过预设阈值时，所述挡板在所述离合机构的作用下处于第一工位；在所述第三接口内的气压超过预设阈值时，所述挡板在所述第三接口内的气压的作用下克服所述离合机构的作用力运动至第二工位。3.根据权利要求2所述的压力监测设备，其特征在于，所述离合机构包括第一磁...

【专利技术属性】
技术研发人员：李盛荣，王世凯，金童燮，耿军，王华东，石正东，
申请(专利权)人：合肥鑫晟光电科技有限公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34