【技术实现步骤摘要】
本技术涉及LED照明
,具体为一种波浪纹型蓝宝石衬底。
技术介绍
如今节能已成为了当今时代发展的主题之一,节能已经成为发展的必然趋势。照明用户数量巨大,照明用电量则占总用电量的16%。而近年来提出的图形化衬底技术能有效地提高蓝宝石衬底GaN基LED的出光效率,成为了目前蓝宝石衬底GaN基LED领域研究的热点。PSS(Patterned Sapphire Substrate),也就是在蓝宝石衬底上生长干法刻蚀用掩膜,用标准的光刻工艺将掩膜刻出图形,利用ICP刻蚀技术刻蚀蓝宝石,并去掉掩膜,再在其上生长GaN材料,使GaN材料的纵向外延变为横向外延。一方面可以有效减少GaN外延材料的位错密度,从而减小有源区的非辐射复合,减小反向漏电流,提高LED的寿命;另一方面有源区发出的光,经GaN和蓝宝石衬底界面多次散射,改变了全反射光的出射角,增加了倒装LED的光从蓝宝石衬底出射的几率,从而提高了光的提取效率。综合这两方面的原因,使PSS上生长的LED的出射光亮度比传统的LED大大提高,同时反向漏电流减小,LED的寿命也得到了延长。PSS的种类有很多,包括不同图形的衬底,比如圆锥形、圆台形、三角锥形、三棱台形等蓝宝石衬底,但是,这些蓝宝石图形衬底在实际测试结果中并未得到最优的光提取效率。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种波浪纹型蓝宝石衬底,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种波浪纹型蓝宝石衬底,包括衬底主体、波浪纹型结构、DBR膜系、光敏材料层、铝膜层、光刻胶、三角圆锥体和掩膜层,所述衬底主体上端安装有波浪纹型结构,所述 ...
【技术保护点】
一种波浪纹型蓝宝石衬底,包括衬底主体(1)、波浪纹型结构(2)、DBR膜系(3)、光敏材料层(4)、铝膜层(5)、光刻胶(6)、三角圆锥体(7)和掩膜层(8),其特征在于:所述衬底主体(1)上端安装有波浪纹型结构(2),所述波浪纹型结构(2)上端设置有DBR膜系(3),所述DBR膜系(3)上端安装有光敏材料层(4),所述光敏材料层(4)上端设置有铝膜层(5),所述铝膜层(5)上设置有光刻胶(6),所述波浪纹型结构(2)外侧设置有掩膜层(8)。
【技术特征摘要】
1.一种波浪纹型蓝宝石衬底,包括衬底主体(1)、波浪纹型结构(2)、DBR膜系(3)、光敏材料层(4)、铝膜层(5)、光刻胶(6)、三角圆锥体(7)和掩膜层(8),其特征在于:所述衬底主体(1)上端安装有波浪纹型结构(2),所述波浪纹型结构(2)上端设置有DBR膜系(3),所述DBR膜系(3)上端安装有光敏材料层(4),所述光敏材料层(4)上端设置有铝膜层(5),所述铝膜层(5)上设置有光刻胶(6),所述波浪纹型结构(2)外侧设...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈铭欣,林木榕,林永腾,
申请(专利权)人:福建晶安光电有限公司,
类型:新型
国别省市:福建;35
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