玻璃溅射机构制造技术

本发明专利技术公开了一种玻璃溅射机构，其中，所述玻璃溅射机构包括壳体，所述壳体内部的上端固定有靶材机构，所述靶材机构下方设有挡板，所述挡板的周边与所述壳体内壁相连接，所述挡板上设有贯穿槽，所述贯穿槽位于所述靶材机构的正下方，所述挡板中靠近所述靶材机构的表面上可移动地设有第一滑板和第二滑板，通过滑动所述第一滑板和所述第二滑板可以将所述贯穿槽遮蔽。解决了传统的溅射设备其运输机构和靶材机构之间并没有设置有挡板，不利于靶材机构调试的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及玻璃镀膜设备，具体地，涉及玻璃溅射机构。
技术介绍
溅射设备是设计用于在平板建筑玻璃上镀制低辐射膜、低辐射太阳膜以及阳光控制膜，玻璃板由水平输送系统传送至镀膜室进行处理，镀膜室顶端设置有靶材机构，传统的溅射设备其运输机构和靶材机构之间并没有设置有挡板，靶材机构在使用前需要进行试溅射来调节溅射参数，试溅射时的溅射粒子会之间打在运输机构上，不仅不利于粒子的收集再利用，同时运输机构长期溅射后会受到腐蚀，影响其使用寿命。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种玻璃溅射机构，解决了传统的溅射设备其运输机构和靶材机构之间并没有设置有挡板，不利于靶材机构调试的问题。为了实现上述目的，本专利技术提供了一种玻璃溅射机构，其中，所述玻璃溅射机构包括壳体，所述壳体内部的上端固定有靶材机构，所述靶材机构下方设有挡板，所述挡板的周边与所述壳体内壁相连接，所述挡板上设有贯穿槽，所述贯穿槽位于所述靶材机构的正下方，所述挡板中靠近所述靶材机构的表面上可移动地设有第一滑板和第二滑板，通过滑动所述第一滑板和所述第二滑板可以将所述贯穿槽遮蔽。优选地，所述壳体相对的内壁上固定有第一气缸和第二气缸，所述第一气缸本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃溅射机构，其特征在于，所述玻璃溅射机构包括壳体(1)，所述壳体(1)内部的上端固定有靶材机构(8)，所述靶材机构(8)下方设有挡板(2)，所述挡板(2)的周边与所述壳体(1)内壁相连接，所述挡板(2)上设有贯穿槽，所述贯穿槽位于所述靶材机构(8)的正下方，所述挡板(2)中靠近所述靶材机构(8)的表面上可移动地设有第一滑板(51)和第二滑板(52)，通过滑动所述第一滑板(51)和所述第二滑板(52)可以将所述贯穿槽遮蔽。

【技术特征摘要】
1.一种玻璃溅射机构，其特征在于，所述玻璃溅射机构包括壳体(1)，所述壳体(1)内部的上端固定有靶材机构(8)，所述靶材机构(8)下方设有挡板(2)，所述挡板(2)的周边与所述壳体(1)内壁相连接，所述挡板(2)上设有贯穿槽，所述贯穿槽位于所述靶材机构(8)的正下方，所述挡板(2)中靠近所述靶材机构(8)的表面上可移动地设有第一滑板(51)和第二滑板(52)，通过滑动所述第一滑板(51)和所述第二滑板(52)可以将所述贯穿槽遮蔽。2.根据权利要求1所述的玻璃溅射机构，其特征在于，所述壳体(1)相对的内壁上固定有第一气缸和第二气缸，所述第一气缸一端固定在所述壳体(1)内壁上，另一端连接所述第一滑板(51)，所述第二气缸一端固定在所述壳体(1)内壁上，另一端连接所述第二滑板(52)，使得所述第一滑板(51)和所述第二滑板(52...

【专利技术属性】
技术研发人员：金海涛，薛辉，昌江，任俊春，
申请(专利权)人：芜湖真空科技有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34