下载玻璃溅射机构的技术资料

文档序号:13744580

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本发明公开了一种玻璃溅射机构,其中,所述玻璃溅射机构包括壳体,所述壳体内部的上端固定有靶材机构,所述靶材机构下方设有挡板,所述挡板的周边与所述壳体内壁相连接,所述挡板上设有贯穿槽,所述贯穿槽位于所述靶材机构的正下方,所述挡板中靠近所述靶材机...
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