化学增幅型感光性树脂组合物及由其制造的绝缘膜制造技术

本发明专利技术提供化学增幅型感光性树脂组合物及由其制造的绝缘膜。本发明专利技术涉及化学增幅型感光性树脂组合物和由其制造的绝缘膜，该化学增幅型感光性树脂组合物通过包含：包括(a‑1)酚性羟基或羧基的至少一部分用酸分解性基团保护的树脂、(a‑2)含有环氧基的丙烯酸系树脂和(a‑3)含有氧杂环丁烷基的丙烯酸系树脂的(A)粘结剂树脂、(B)光致产酸剂、和(C)溶剂，从而可得到显影性优异、具有改善的感度、图案的透过度和斜度以及经时稳定性得以确保的绝缘膜。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及化学增幅型感光性树脂组合物及由其制造的绝缘膜。
技术介绍
在薄膜晶体管(TFT)型的液晶显示装置等显示装置中，作为用于保护TFT(薄膜晶体管)电路、使其绝缘的保护膜，以往使用了氮化硅等无机系保护膜，但由于介电常数高，因此存在开口率没有提高的问题，为了消除该问题，介电常数低的有机绝缘膜的需要倾向于增加。作为这样的有机绝缘膜，一般使用作为通过光和电子束而进行化学反应、对于特定溶剂的溶解度变化的高分子化合物的感光性树脂，通过由上述有机绝缘膜的光反应引起的高分子的极性变化和交联反应来进行电路图案的微细加工。特别地，上述有机绝缘膜材料利用曝光后的对于碱水溶液等的溶剂的溶解性的变化特性。上述有机绝缘膜根据感光了的部分对于显影的溶解度，分类为正型和负型。正型光致抗蚀剂是使曝光了的部分溶解于显影液而形成图案的方式，负型光致抗蚀剂是曝光了的部分在显影液中不溶解、使没有曝光的部分溶解而形成图案的方式。其中，就正型有机绝缘膜而言，通过使用碱水溶液，能够将负型有机绝缘膜中使用的有机显影液的使用排除，因此在作业环境方面是有利的，同时在理论上能够阻止没有暴露于紫外线的部分的溶胀现象，具有分辨率提高的优点。另外，还具有如下优点：在形成了有机膜后，容易进行采用剥离液的除去，工序中的不良面板的产生时，通过有机膜除去，基板回收和再使用性显著提高。特别地，作为这样的有机绝缘膜，构成液晶显示装置的绝缘膜等时，对于上述绝缘膜要求优异的绝缘性、在基板上涂布时用于减小界面处的应力的低的热膨胀性、物理上强韧的特性以及优异的感度和透射率等。进而，在上述绝缘膜、保护膜等不残留残渣以及确保经时稳定性是最重要的要素，但实际情况是难以在满足上述的特性的同时确保形成性和经时稳定性。专利文献1中公开了正型感光性树脂组合物，其包含被具有不饱和烃基的化合物改性的酚醛树脂、利用光生成酸的化合物、热交联剂和溶剂，耐热冲击性和密合性优异，但对于上述的问题的解决对策没有提及。现有技术文献专利文献专利文献1：韩国公开专利第2010-0049687号
技术实现思路
专利技术要解决的课题本专利技术的目的在于提供显影性优异、不残留残渣的化学增幅型感光性树脂组合物。另外，本专利技术的目的在于提供感度、形成的图案的透过度和斜度优异、经时稳定性得以确保的化学增幅型感光性树脂组合物。进而，本专利技术的目的在于提供由上述化学增幅型感光性树脂组合物制造的绝缘膜和包含上述绝缘膜的图像显示装置。用于解决课题的手段1、化学增幅型感光性树脂组合物，其包含：包括(a-1)酚性羟基或羧基的至少一部分用酸分解性基团保护的树脂、(a-2)含有环氧基的丙烯酸系树脂和(a-3)含有氧杂环丁烷基的丙烯酸系树脂的(A)粘结剂树脂、(B)光致产酸剂、和(C)溶剂。2、上述项目1所述的化学增幅型感光性树脂组合物，其中，上述(a-1)树脂通过包含下述的化学式1、化学式2、化学式3和化学式4所示的单体的至少1个聚合而成。【化学式1】(式中，R为被碳数1～6的烷基取代或未取代的碳数1～6的烷基；四氢吡喃基；或者被碳数1～6的烷氧基或碳数4～8的环烷氧基取代或未取代的碳数1～6的烷基。)【化学式2】(式中，R1为氢原子或甲基，R2为碳数1～6的烷基或碳数4～8的环烷基。)【化学式3】(式中，R1为氢原子或甲基，R2为碳数3～8的亚烷基，R3为碳数1～6的烷基或碳数4～8的环烷基。)【化学式4】(式中，R1为氢原子或甲基，R2为碳数1～6的亚烷基或碳数4～8的亚环烷基，R3为碳数1～6的烷基或碳数4～8的环烷基。)3、上述项目1所述的化学增幅型感光性树脂组合物，其中，相对于(a-1)树脂全体，以20～60摩尔％包含上述化学式1～4的单体形成的重复单元。4、上述项目1所述的化学增幅型感光性树脂组合物，其中，上述(a-1)树脂的重均分子量为5,000～35,000。5、上述项目1所述的化学增幅型感光性树脂组合物，其中，上述(a-2)树脂通过包含下述化学式5所示的单体聚合而成。【化学式5】(式中，R1为氢原子或甲基，R2为碳数1～6的亚烷基，R3和R4相互独立地为氢原子或碳数1～6的烷基，或者可以相互连接而形成碳数3～8的环，m为1～6的整数。)6、上述项目1所述的化学增幅型感光性树脂组合物，其中，上述(a-2)树脂通过包含下述化学式6所示的单体聚合而成。【化学式6】(式中，R1为氢原子或甲基，R2为碳数1～6的亚烷基，R3和R4相互独立地为氢原子或碳数1～6的烷基，或者可以相互连接而形成碳数3～8的环。)7、上述项目5所述的化学增幅型感光性树脂组合物，其中，相对于(a-2)树脂全体，以5～60摩尔％含有上述化学式5的单体形成的重复单元。8、上述项目6所述的化学增幅型感光性树脂组合物，其中，相对于(a-2)树脂全体，以5～60摩尔％含有上述化学式6的单体形成的重复单元。9、上述项目1所述的化学增幅型感光性树脂组合物，其中，上述(a-2)树脂的重均分子量为5,000～40,000。10、上述项目1所述的化学增幅型感光性树脂组合物，其中，上述(a-3)树脂包含下述化学式7所示的重复单元。【化学式7】(式中，R1、R2和R3相互独立地为氢或甲基，R4为来自从下述式(1)～(3)中选择的单体的结构，R5为来自从(甲基)丙烯酸、六氢邻苯二甲酸2-(甲基)丙烯酰氧基乙酯、邻苯二甲酸2-(甲基)丙烯酰氧基乙酯和琥珀酸2-(甲基)丙烯酰氧基乙酯中选择的单体的结构，R6为来自下述式(4)所示的单体的结构，R7为碳数1～6的亚烷基，R8为碳数1～6的烷基，a＝40～80摩尔％、b＝5～45摩尔％、c＝10～55摩尔％。)11、上述项目1所述的化学增幅型感光性树脂组合物，其中，上述(a-3)树脂的重均分子量为5,000～30,000。12、上述项目1所述的化学增幅型感光性树脂组合物，其中，上述粘结剂树脂相对于全部粘结剂树脂100重量份，包含(a-1)树脂30～55重量份、(a-2)树脂30～60重量份和(a-3)树脂1～25重量份。13、上述项目1所述的化学增幅型感光性树脂组合物，其中，上述光致产酸剂为选自重氮盐系、鏻盐系、锍盐系、碘鎓盐系、酰亚胺磺酸酯系、肟磺酸酯系、重氮双砜系、双砜系、邻-硝基苄基磺酸酯系、三嗪系化合物中的1种以上。14、上述项目1所述的化学增幅型感光性树脂组合物，其中，上述溶剂为选自醚类、乙酸酯类、酯类、酮类、酰胺类和内酯类中的1种以上。15、使上述项目1～14的任一项所述的化学增幅型感光性树脂组合物固化而成的绝缘膜。16、图像显示装置，其包含上述项目15所述的绝缘膜。专利技术的效果根据本专利技术的化学增幅型感光性树脂组合物，能够得到显影性优异、无残渣的绝缘膜。另外，根据本专利技术的化学增幅型感光性树脂组合物，能够得到确保高感度、显著改善的透射率、优异的图案斜度和经时稳定性的绝缘膜。本专利技术的化学增幅型感光性树脂组合物的分辨率优异，并且流动性得到改善，加工容易。附图说明图1为与由实施例1的组合物形成的绝缘膜有关的照片。图2为与由比较例1的组合物形成的绝缘膜有关的照片。具体实施方式本专利技术涉及化学增幅型感光性树脂组合物和由其制造的绝缘膜，该化学增幅型感光性树脂组合物通过包含：包含(a-1)酚性羟基或羧基的至少一部分用酸分解性基团保护的树脂、(a-2本文档来自技高网...

【技术保护点】
化学增幅型感光性树脂组合物，其包含：包括(a‑1)酚性羟基或羧基的至少一部分用酸分解性基团保护的树脂、(a‑2)含有环氧基的丙烯酸系树脂和(a‑3)含有氧杂环丁烷基的丙烯酸系树脂的(A)粘结剂树脂、(B)光致产酸剂、和(C)溶剂。

【技术特征摘要】
2015.03.06 KR 10-2015-00315811.化学增幅型感光性树脂组合物，其包含：包括(a-1)酚性羟基或羧基的至少一部分用酸分解性基团保护的树脂、(a-2)含有环氧基的丙烯酸系树脂和(a-3)含有氧杂环丁烷基的丙烯酸系树脂的(A)粘结剂树脂、(B)光致产酸剂、和(C)溶剂。2.根据权利要求1所述的化学增幅型感光性树脂组合物，其中，上述(a-1)树脂通过含有下述的化学式1、化学式2、化学式3和化学式4所示的单体的至少1个聚合而成：【化学式1】式中，R为被碳数1～6的烷基取代或未取代的碳数1～6的烷基；四氢吡喃基；或者被碳数1～6的烷氧基或碳数4～8的环烷氧基取代或未取代的碳数1～6的烷基，【化学式2】式中，R1为氢原子或甲基，R2为碳数1～6的烷基或碳数4～8的环烷基，【化学式3】式中，R1为氢原子或甲基，R2为碳数3～8的亚烷基，R3为碳数1～6的烷基或碳数4～8的环烷基，【化学式4】式中，R1为氢原子或甲基，R2为碳数1～6的亚烷基或碳数4～8的亚环烷基，R3为碳数1～6的烷基或碳数4～8的环烷基。3.根据权利要求1所述的化学增幅型感光性树脂组合物，其中，相对于(a-1)树脂全体，以20～60摩尔％含有上述化学式1～4的单体形成的重复单元。4.根据权利要求1所述的化学增幅型感光性树脂组合物，其中，上述(a-1)树脂的重均分子量为5,000～35,000。5.根据权利要求1所述的化学增幅型感光性树脂组合物，其中，上述(a-2)树脂通过含有下述的化学式5或化学式6所示的单体聚合而成：【化学式5】式中，R1为氢原子或甲基，R2为碳数1～6的亚烷基，R3和R4相互
\t独立地为氢原子或...

【专利技术属性】
技术研发人员：任玟柱，崔硕均，梁敦植，
申请(专利权)人：东友精细化工有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR