耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺制造技术

耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺，属于不锈钢电解抛光工艺技术领域。具体步骤为：首先对不锈钢材料工件进行手动抛光打磨处理，要求Ra<0.1；对洁净工件直接进行电解抛光处理，即：将手动抛光后的工件脱脂清洗干净，保湿放入电抛槽后，立刻通电，进行电解抛光；电抛光亮的工件进行钝化后，取出清洗吹干。从而得到表面光亮且具有较高的耐腐蚀性能，采用临界点蚀温度测试(CPT)，观察工件随温度升高表面耐腐蚀性能变化，温度可达到80℃。本发明专利技术耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺可有效提高工件的耐腐蚀性能，本发明专利技术可得到光亮美观的电抛表面，且电解抛光深度强，耐腐蚀性能优异，电解抛光后可在温度较高且具有腐蚀性的环境中保持光泽长久不变。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于不锈钢电解抛光工艺
，特别是涉及一种耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺。适于IC装配晶圆加工及处理，环境要求耐腐蚀和外观要求较高的环境。
技术介绍
耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺，有其特别的重要性。不锈钢电解抛光工艺由于其特殊性能在工业生产中有着广泛的应用，IC领域中对不锈钢电解抛光工艺能要求越来越高，由于IC装配晶圆加工及处理环境要求具有较高的耐腐蚀和温度管控，因此开发具有较高耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺，提高设备性能及使用寿命有重要意义。
技术实现思路
针对上述存在的技术问题，本专利技术提供一种耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺，通过对不锈钢材料工件进行电解抛光处理，控制电解抛光过程中溶液浓度，反应温度，反应电压，阴阳极板面积比例，钝化控制等。从而得到具有较高的耐腐蚀性能的光亮美观金属表面，采用临界点蚀温度测试(CPT)，温度可达到80℃。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的：本专利技术一种耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺，包括如下步骤：(1)对不锈钢材料工件进行手动抛光打磨处理，要求Ra<0.1；(2)对洁净工件直接进行电解抛光处理，即：将步骤(1)中手动抛光后的工件脱脂清洗干净，保湿放入电抛槽后，立刻通电，进行电解抛光；(3)将步骤(2)电抛光亮的工件进行钝化后，取出清洗吹干；(4)对步骤(3)处理后的工件进行临界点蚀温度测试测试，观察工件随温度升高耐腐蚀性能变化，观察其临界点蚀温>80℃，因此具有较高耐腐蚀性能。进一步地，所述不锈钢材料工件选择316/316L不锈钢材料。进一步地，所述电解抛光前经过手动抛光打磨处理，要求Ra<0.1进一步地，所述电解抛光的溶液为40％wt磷酸、50％wt硫酸及10％wt浓缩液电解抛光药水，过程工艺参数为：温度：50-60℃，恒定电压：8-12V，电解抛光：40-120s，电流密度控制在5-7A/dm2。进一步地，所述电抛槽的阴极为钛板，阴极极板面积为零件面积的1/3-1/5。进一步地，所述钝化在50％硝酸中进行，钝化温度20-30℃，钝化时间60-75min。本专利技术的有益效果为：1.本专利技术耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺可有效提高工件的耐腐蚀性能，对工件进行临界点蚀温度测试(CPT)，观察其临界点蚀温可达到80℃。2.本专利技术耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺，可得到光亮美观金属表面，且电解抛光深度强，耐腐蚀性能优异，电解抛光后可在温度较高且具有腐蚀性的环境中保持光泽长久不变。具体实施方式下面结合实施例对本专利技术进行详细描述。实施例1：本专利技术一种耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺，包括如下步骤：(1)选择316/316不锈钢材料工件进行手动抛光打磨处理，要求Ra<0.1；(2)对洁净工件直接进行电解抛光处理，即：将步骤(1)中手动抛光后的工件脱脂清洗干净，保湿放入电抛槽后，立刻通电，进行电解抛光；(3)将步骤(2)电抛光亮的工件进行钝化后，取出清洗吹干；(4)对步骤(3)处理后的工件进行CPT测试，观察其临界点蚀温>80℃。所述电解抛光前经过手动抛光打磨处理，要求Ra<0.1所述电解抛光的溶液为40％wt磷酸、50％wt硫酸及10％wt浓缩液电解抛光药水，过程工艺参数为：温度：55℃，恒定电压：10V，电解抛光：80s，电流密度控制在6A/dm2。所述电抛槽的阴极为钛板，阴极极板面积为零件面积的1/4。所述钝化在50％硝酸中进行，钝化温度25℃，钝化时间70min。实施例2：本例与实施例1不同的是：本例中所述电解抛光的过程工艺参数为：温度：50℃，恒定电压：8V，电解抛光：40s，电流密度控制在5A/dm2。所述电抛槽的阴极为钛板，阴极极板面积为零件面积的1/3。所述钝化在50％硝酸中进行，钝化温度20℃，钝化时间60min。实施例3：本例与实施例1不同的是：本例中所述电解抛光的过程工艺参数为：温度：60℃，恒定电压：12V，电解抛光：120s，电流密度控制在7A/dm2。所述电抛槽的阴极为钛板，阴极极板面积为零件面积的1/5。所述钝化在50％硝酸中进行，钝化温度30℃，钝化时间75min。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺，其特征在于：包括如下步骤：(1)对不锈钢材料工件进行手动抛光打磨处理，要求Ra＜0.1；(2)对洁净工件直接进行电解抛光处理，即：将步骤(1)中手动抛光后的工件脱脂清洗干净，保湿放入电抛槽后，立刻通电，进行电解抛光；(3)将步骤(2)电抛光亮的工件进行钝化后，取出清洗吹干；(4)对步骤(3)处理后的工件进行临界点蚀温度测试测试，观察工件随温度升高耐腐蚀性能变化，观察其临界点蚀温＞80℃，因此具有较高耐腐蚀性能。

【技术特征摘要】
1.一种耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺，其特征在于：包括如下步骤：(1)对不锈钢材料工件进行手动抛光打磨处理，要求Ra＜0.1；(2)对洁净工件直接进行电解抛光处理，即：将步骤(1)中手动抛光后的工件脱脂清洗干净，保湿放入电抛槽后，立刻通电，进行电解抛光；(3)将步骤(2)电抛光亮的工件进行钝化后，取出清洗吹干；(4)对步骤(3)处理后的工件进行临界点蚀温度测试测试，观察工件随温度升高耐腐蚀性能变化，观察其临界点蚀温＞80℃，因此具有较高耐腐蚀性能。2.如权利要求1所述耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺，其特征在于：所述不锈钢材料工件选择316/316L不锈钢材料。3.如权利要求1所述耐腐蚀性不锈钢电解抛...

【专利技术属性】
技术研发人员：张少杰，
申请(专利权)人：沈阳富创精密设备有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21