一种应用于柔性光电器件的透明导电薄膜及其制备方法技术

一种应用于柔性光电器件的透明导电薄膜，设置有第一氧化物层、金属膜夹层和位于金属膜夹层之上的第二氧化物层；第一氧化物层为单层或复合多层宽禁带一元氧化物非晶态薄膜，宽禁带一元氧化物为氧化钛、氧化铝、氧化锆或氧化镁。金属膜夹层为银或铜单质薄膜或者其合金薄膜。第二氧化物层为透明氧化物(In2O3)x(MO)y(ZnO)z非晶态薄膜。该透明导电薄膜结构简单，能够简化制备工序，所获得透明导电薄膜透光率高、导电性好、热稳定性佳。本发明专利技术的制备工艺实现了以简单步骤制备得到透光率高、导电性好、热稳定性佳的透明导电薄膜。

【技术实现步骤摘要】
一种应用于柔性光电器件的透明导电薄膜及其制备方法
本专利技术涉及柔性光电器件
，特别是涉及一种应用于柔性光电器件的透明导电薄膜及其制备方法。
技术介绍
透明导电氧化物（TransparentConductorOxide，TCO）具有禁带宽、光透射率高和电阻率低等特点，已在太阳能电池、平面显示、特殊功能窗口涂层等领域获得了广泛的应用。目前，掺锡氧化铟、掺氟氧化锡和掺铝氧化锌等透明导电薄膜在光电领域已应用广泛。但是，随着柔性电子的高速发展，对透明导电膜在导电性、可靠性方面都提出了新的要求。近年来发展的氧化物-金属-氧化物透明导电薄膜具有透光率和导电率高等特点，而且具有制备抗弯折导电膜的潜力，正收到研究的关注，并已逐步应用到柔性太阳能电池和显示等光电领域。因为柔性电子器件通常制作于塑料衬底之上。而塑料衬底对水氧阻隔能力远远不及传统的玻璃、不锈钢衬底。因此通常柔性电子器件在制作之前还需要制作额外的水氧阻隔层，如此一来增加了器件结构的复杂度，增加了工艺工序。因此，针对现有技术不足，提供一种能够简化结构和工艺的透明导电薄膜及其制备方法甚为必要。
技术实现思路
本专利技术的目的在于避免现有技术的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种应用于柔性光电器件的透明导电薄膜，其特征在于：设置有第一氧化物层、设置于第一氧化物层之上的金属膜夹层和设置于金属膜夹层之上的第二氧化物层；所述第一氧化物层为单层或复合多层宽禁带一元氧化物非晶态薄膜，所述宽禁带一元氧化物为氧化钛、氧化铝、氧化锆或氧化镁。

【技术特征摘要】
1.一种应用于柔性光电器件的透明导电薄膜，其特征在于：设置有第一氧化物层、设置于第一氧化物层之上的金属膜夹层和设置于金属膜夹层之上的第二氧化物层；所述第一氧化物层为单层或复合多层宽禁带一元氧化物非晶态薄膜，所述宽禁带一元氧化物为氧化钛、氧化铝、氧化锆或氧化镁；所述金属膜夹层为银或铜单质薄膜，或者为含银、铜的合金薄膜；所述第二氧化物层为透明氧化物非晶态薄膜，所述透明氧化物为金属氧化物(In2O3)x(MO)y(ZnO)z，其中0≤x≤1，0≤y≤1，0≤z≤1，且x+y+z＝1，M为镓、锡、钛、铝、镁、钽、铪、镱、锆中的一种元素或两种以上的元素的任意组合。2.根据权利要求1所述的应用于柔性光电器件的透明导电薄膜，其特征在于：所述第一氧化物层的厚度为1nm～100nm。3.根据权利要求2所述的应用于柔性光电器件的透明导电薄膜，其特征在于：所述金属膜夹层的厚度为7nm～12nm。4.根据权利要求3所述的应用于柔性光电器件的透明导电薄膜，其特征在于：所述第二氧化物层的厚度为5～15nm。5.根据权利要求1至4任意一项所述的应用于柔性光电器件的透明导电薄膜，其特征在于：...

【专利技术属性】
技术研发人员：李民，徐华，陈子凯，徐苗，王磊，邹建华，陶洪，
申请(专利权)人：广州新视界光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44