电喷雾装置制造方法及图纸

提供电喷雾装置，该电喷雾装置能够抑制因施加给溶液材料的电压(电流)导致送液驱动部破损。具体而言，该电喷雾装置(100)将从喷嘴(1)喷雾的溶液材料作为薄膜堆积在基板(200)上，该电喷雾装置(100)具有：喷嘴(1)，其在对溶液材料施加了电压的状态下进行喷雾；泵部(6)和电磁阀(7)，其用于将溶液材料输送给喷嘴(1)；接头部(8)，其设置在喷嘴(1)与泵部(6)、电磁阀(7)之间，包含由具有导电性的材料构成的接头主体部(81)，接头主体部(81)被接地。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及电喷雾装置(ELECTROSPRAYDEVICE)，尤其涉及将从喷嘴被喷雾的溶液材料作为薄膜堆积在基板上的电喷雾装置。
技术介绍
以往，公知有将从喷嘴被喷雾的溶液材料作为薄膜堆积在基板上的电喷雾装置(例如，参照专利文献1)。在上述专利文献1中公开了具有导电体喷嘴、导电体喷嘴施加电源以及溶液材料供给装置的电喷雾装置。该电喷雾装置构成为通过从溶液材料供给装置对导电体喷嘴供给溶液材料并且从导电体喷嘴施加电源对导电体喷嘴施加电压而使溶液材料带电。并且构成为带电的溶液材料因导电体喷嘴与基板之间的电场而对基板进行静电喷雾。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2012-135704号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题然而，在上述专利文献1中记载的这样的以往的电喷雾装置中存在如下的问题：在溶液材料的导电率比较大的情况下，施加给导电体喷嘴的电压(电流)在溶液材料中传递，有时会使配置在输送溶液材料的导电体喷嘴侧的相反侧的溶液材料供给装置(送液驱动部)等仪器破损。本专利技术是为了解决上述这样的课题而完成的，本专利技术的一个目的在于提供电喷雾装置，能够抑制因施加给溶液材料的电压(电流)而引起送液驱动部破损的情况。用于解决课题的手段为了达成上述目的，本专利技术的一方式的电喷雾装置是将从喷嘴被喷雾的溶液材料作为薄膜堆积在基板上的电喷雾装置，其中，该电喷雾装置具有：喷嘴，其在对溶液材料施加了电压的状态下进行喷雾；送液驱动部，其用于将溶液材料输送给喷嘴；以及接头部，其设置在喷嘴与送液驱动部之间，包含接头主体部，该接头主体部由具有导电性的材料构成，接头主体部被接地。在这一方式的电喷雾装置中，像上述那样，由于通过将设置于喷嘴与送液驱动部之间的接头部的接头主体部接地，从而利用喷嘴与送液驱动部之间的接头部将施加给喷嘴且在溶液材料中传递的电压(电流)接地，因此能够抑制施加给喷嘴的电压(电流)施加给送液驱动部。由此，能够抑制因施加给溶液材料的电压(电流)而导致送液驱动部破损。其结果为，由于不需要针对送液驱动部实现耐绝缘性的对策，因此能够将电喷雾装置的结构简化。在上述一方式的电喷雾装置中，优选喷嘴设置有多个，接头部构成为使从送液驱动部输送的溶液材料向多个喷嘴侧分支。这里，在设置有多个喷嘴的情况下，从喷嘴向送液驱动部侧流动的电流的大小按照喷嘴的个数的量而变大(流过大电流)。在该情况下，即使是在送液驱动部自身接地的情况下，有时会因大电流流过送液驱动部而导致送液驱动部破损。因此，在本专利技术中，通过将接头部(接头主体部)接地而能够有效地抑制送液驱动部破损。在上述一方式的电喷雾装置中，优选接头部还包含绝缘部，该绝缘部被设置为覆盖接头主体部，使接头主体部相对于外部绝缘。如果以这种方式构成，则当通过在溶液材料中传递的电压(电流)使电荷蓄积于接头主体部的情况下，能够通过绝缘部抑制在接头部与周围的仪器之间产生绝缘破坏而向周围的仪器传递电压(电流)。由此，由于能够减小接头部与周围的仪器之间的间隔，因此能够实现电喷雾装置的小型化。在上述一方式的电喷雾装置中，优选送液驱动部包含泵部以及控制阀，该控制阀对从泵部向喷嘴侧输送的溶液材料的流路进行切换，接头部设置在喷嘴与控制阀之间。如果以这种方式构成，则能够抑制因施加给喷嘴而在溶液材料中传递的电压(电流)引起而使泵部和控制阀破损。在上述一方式的电喷雾装置中，优选喷嘴设置有多个，接头部包含第1接头部以及除此之外的第2接头部，该第1接头部包含由具有导电性的材料构成的接头主体部，该电喷雾装置构成为从送液驱动部输送的溶液材料被第1接头部和第2接头部阶段性地分支到多个流路而输送给多个喷嘴，设置于溶液材料被最初分支的部分的接头部是包含由具有导电性的材料构成的接头主体部的第1接头部。如果以这种方式构成，则溶液材料必然通过设置于最初被分支的部分的第1接头部，因此能够仅通过将该第1接头部(1个第1接头部)接地而将输送给多个喷嘴的所有的溶液材料接地。由此，与在溶液材料已被分支后的各个部分进行接地的情况(在多个部位进行接地的情况)不同，能够将电喷雾装置的结构简化。专利技术效果根据本专利技术，像上述那样能够抑制因施加给溶液材料的电压(电流)导致送液驱动部破损。附图说明图1是示出本专利技术的一实施方式的电喷雾装置的概略结构的整体图。图2是示出本专利技术的一实施方式的电喷雾装置的喷嘴的结构的图。具体实施方式以下，根据附图对将本专利技术具体化后的实施方式进行说明。参照图1和图2对本实施方式的电喷雾装置100的结构进行说明。如图1所示，电喷雾装置100具有：多个喷嘴1、接地导板2、掩模3、升降单元4、以及电源部5。并且，电喷雾装置100具有：泵部6、电磁阀7、接头部8、以及容器部9。另外，多个喷嘴1、泵部6、电磁阀7、接头部8以及容器部9通过由树脂构成的配管10而连接。并且，在接地导板2与掩模3之间配置有基板200。另外，泵部6是本专利技术的“送液驱动部”的一例。并且，电磁阀7是本专利技术的“送液驱动部”和“控制阀”的一例。并且，接头部8是本专利技术的“第1接头部”的一例。喷嘴1构成为在对溶液材料施加了电压的状态下将溶液材料从下方(Z2方向)朝向上方(Z1方向)进行喷雾。并且，构成为从喷嘴1被喷雾出的溶液材料作为薄膜(未图示)堆积于基板200。接地导板2由例如金属板构成。接地导板2构成为在薄膜的形成时(图1所示的状态)与基板200接触而将基板200接地。并且，掩模3配置在基板200与喷嘴1之间。并且，掩模3构成为掩模3的两端部由升降单元4支承而与升降单元4的升降一同升降。并且，掩模3构成为与基板200一同被升降单元4向接地导板2侧(Z1方向侧)推压。并且，在掩模3中设置有开口部3a，构成为对从开口部3a露出的基板200的部分堆积薄膜。并且，电源部5构成为与多个喷嘴1和接地导板2连接，在多个喷嘴1与接地导板2之间产生电位差(电场)。在本实施方式中，对多个喷嘴1施加正电压，并且将接地导板2接地。泵部6例如由注射器泵构成，构成为将溶液材料经由电磁阀7和接头部8输送给多个喷嘴1。并且，泵部6与定序器(未图示)等连接。电磁阀7设置在泵部6与接头部8之间。并且，电磁阀7构成为对从泵部6输送给喷嘴1侧的溶液材料的流路进行切换。具体而言，在电磁阀7将流路切换到箭头A方向(参照图1)的状态下，溶液材料从泵部6输送给喷嘴1侧。并且，在电磁阀7将流路切换到箭头B方向(参照图1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电喷雾装置，该电喷雾装置将从喷嘴被喷雾的溶液材料作为薄膜堆积在基板上，其中，该电喷雾装置具有：所述喷嘴，其在对所述溶液材料施加了电压的状态下进行喷雾；送液驱动部，其用于将溶液材料输送给所述喷嘴；以及接头部，其设置在所述喷嘴与所述送液驱动部之间，包含接头主体部，该接头主体部由具有导电性的材料构成，所述接头主体部被接地。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.12.11 JP 2013-2555851.一种电喷雾装置，该电喷雾装置将从喷嘴被喷雾的溶液材料作为薄膜堆积在
基板上，其中，
该电喷雾装置具有：
所述喷嘴，其在对所述溶液材料施加了电压的状态下进行喷雾；
送液驱动部，其用于将溶液材料输送给所述喷嘴；以及
接头部，其设置在所述喷嘴与所述送液驱动部之间，包含接头主体部，该接头主
体部由具有导电性的材料构成，
所述接头主体部被接地。
2.根据权利要求1所述的电喷雾装置，其中，
所述喷嘴设置有多个，
所述接头部构成为使从所述送液驱动部输送的所述溶液材料向所述多个喷嘴侧
分支。
3.根据权利要求1或2所述的电喷雾装置，其中，
所述接头部还包含绝缘部，该绝缘部被设置为覆盖所述接头主...

【专利技术属性】
技术研发人员：本田显真，
申请(专利权)人：东丽工程株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP