一种G5多晶铸锭炉改造为G6多晶铸锭炉的方法，包括步骤，隔热笼外部保温板外侧开槽，槽深为30mm，隔热笼内部保温板左侧倒角45°切割处理，隔热笼转角部位设有转角隔热板，隔热笼内部的上保温板设有2块，隔热笼底部设有上挡火条上和下挡火条，DS块进行加宽，DS块设有加宽条，原有G5下隔热底板作为改造后的上隔热底板使用；侧面加热器吊臂上设有石墨电极；A1面侧面加热器、A4面侧面加热器、A3面侧面加热器与侧面加热器吊臂连接处设有凹槽。在隔热笼钢笼不变的情况，对原有G5改造，使得整个热场布局能满足G6铸锭内空尺寸要求，由于隔热板材配件结构设计中可以二次利用，具有G6升级改造成本价格低廉、安装方便的特点。
【技术实现步骤摘要】
一种G5多晶铸锭炉改造为G6多晶铸锭炉的方法
本专利技术涉及一种G5多晶铸锭炉改造为G6多晶铸锭炉的方法。
技术介绍
目前，随着国内装机容量的增加，硅片出现扩产，对于较大铸锭厂商，对G5原有炉台进行整体升级为G6热场所需资金较大，目前无法满足要求，怎么使用目前G5热场条件进行G6热场升级技术迫在眉睫。以目前GT450炉台为例，隔热笼内空尺寸距离为1350×1350×1245mm，顶部保温板尺寸为1170×1170×90mm，隔热板内保温尺寸为1214×1149×45mm，隔热板外板尺寸1255×1149×45mm。按目前常规方案进行G5升级G6热场，需对整个热场进行更换，使得热场内空尺寸满足G6坩埚尺寸1040mm要求，但由于隔热笼内空放大导致整个原有G5热场保温件无法适合大隔热笼尺寸。
技术实现思路
本专利技术其目的就在于提供一种G5多晶铸锭炉改造为G6多晶铸锭炉的方法，在隔热笼钢笼不变的情况，对原有G5改造，使得整个热场布局能满足G6铸锭内空尺寸要求，由于热场布局中石墨侧部加热器及顶部加热器得到二次利用，整体温差分布可以得到保留，从而使得铸锭热场中晶体生长与G5生长类似，保证晶体质量，同时由于隔热板材配件结构设计中可以二次利用，具有G6升级改造成本价格低廉、安装方便的特点。实现上述目的而采取的技术方案，包括步骤：1）隔热笼外部保温板（3）外侧开槽，槽深为30mm，所述隔热笼外部保温板（3）设置4块，分为上层2块、下层2块，上层2块隔热笼外部保温板（3）上的开槽尺寸长*宽*高为490×50×30mm，上层2块隔热笼外部保温板（3）上的开槽数左侧为3条、右侧为2条，下层2块隔热笼外部保温板（3）上的开槽尺寸长*宽*高为658×50×30mm,下层2块隔热笼外部保温板（3）上的开槽数左侧为3条、右侧为2条；2）隔热笼内部保温板(4)设置4块，分为上层2块、下层2块，隔热笼内部保温板(4)上层左侧倒角45°切割处理，上层左侧的隔热笼内部保温板(4)加工后尺寸为576×541×45mm，隔热笼内部保温板(4)下层左侧倒角45°切割处理，下层左侧的隔热笼内部保温板(4)加工后尺寸为615×541×45mm；3）隔热笼转角部位设有转角隔热板（12），转角隔热板（12）分为上下部分，其中上部的转角隔热板（12）尺寸为662×127×21mm，下部的转角隔热板（12）尺寸为610×127×21mm；4）隔热笼内部的上保温板设有2块，尺寸分别为686×615×45mm和686×576×45mm；5）隔热笼顶部保温板（1）尺寸为1225×1225×90mm；6）隔热笼底部设有上挡火条（10）和下挡火条（11），上挡火条（10）的尺寸为1257×115×45mm，下挡火条（11）的尺寸为1178×90×45mm；7）DS块(5)进行加宽，DS块（5）设有加宽条，加宽条结构设计尺寸为1040×135×101.5mm加装加宽条后DS块（5）的尺寸为1040mm×1040mm；8）隔热笼下隔热底板(8)的尺寸为1190×1190×45mm，原有G5下隔热底板作为改造后的上隔热底板（7）使用；9）侧面加热器吊臂（13）设计尺寸为420×205×25mm，侧面加热器吊臂（13）上设有石墨电极（18）；10）侧面加热器转角（14）设计尺寸为165×165×20mm；11）A1面侧面加热器（15）、A4面侧面加热器（16）、A3面侧面加热器（17）与侧面加热器吊臂（13）连接处设有凹槽，凹槽的尺寸为110×73.5×5mm。有益效果与现有技术相比本专利技术具有以下优点。使用现有G5隔热笼钢架配件，在保持现有G5整体热场布局情况下，对隔热保温板结构进行重新设计，通过隔热板结构重新设计，实现热场升级，此种专利技术条件下可以最大优化提升现有G5产能，使得晶锭在装料重量为820KG的情况下，晶锭良品收益达到65%（半熔技术，晶棒头尾按3μs截取）、全熔晶锭收益达到70%（晶棒头尾按3μs截取），其中黑点比率小于0.5%。在隔热笼钢笼不变的情况，对原有G5相关配件组建结构进行重新设计改造，使得整个热场布局能满足G6铸锭内空尺寸要求，由于热场布局中石墨侧部加热器及顶部加热器得到二次利用，整体温差分布可以得到保留，从而使得铸锭热场中晶体生长与G5生长类似，保证晶体质量，同时由于隔热板材配件结构设计中可以二次利用，使用此专利技术进行G6升级改造成本价格低廉，安装方便。附图说明下面结合附图对本专利技术作进一步详述。图1为G5炉台的剖面结构示意图；图2为本专利技术改造后的G5炉台俯视图；图3为本专利技术改造后的G5炉台的侧面加热器结构示意图。具体实施方式一种G5多晶铸锭炉改造为G6多晶铸锭炉的方法，如图1、图2、图3所示，包括步骤：1）隔热笼外部保温板3外侧开槽，槽深为30mm，所述隔热笼外部保温板3设置4块，分为上层2块、下层2块，上层2块隔热笼外部保温板3上的开槽尺寸长*宽*高为490×50×30mm，上层2块隔热笼外部保温板3上的开槽数左侧为3条、右侧为2条，下层2块隔热笼外部保温板3上的开槽尺寸长*宽*高为658×50×30mm,下层2块隔热笼外部保温板3上的开槽数左侧为3条、右侧为2条；2）隔热笼内部保温板4设置4块，分为上层2块、下层2块，隔热笼内部保温板4上层左侧倒角45°切割处理，上层左侧的隔热笼内部保温板4加工后尺寸为576×541×45mm，隔热笼内部保温板4下层左侧倒角45°切割处理，下层左侧的隔热笼内部保温板4加工后尺寸为615×541×45mm；3）隔热笼转角部位设有转角隔热板12，转角隔热板12分为上下部分，其中上部的转角隔热板12尺寸为662×127×21mm，下部的转角隔热板12尺寸为610×127×21mm；4）隔热笼内部的上保温板设有2块，尺寸分别为686×615×45mm和686×576×45mm；5）隔热笼顶部保温板1尺寸为1225×1225×90mm；6）隔热笼底部设有上挡火条10和下挡火条11，上挡火条10的尺寸为1257×115×45mm，下挡火条11的尺寸为1178×90×45mm；7）DS块5进行加宽，DS块5设有加宽条，加宽条结构设计尺寸为1040×135×101.5mm加装加宽条后DS块5的尺寸为1040mm×1040mm；8）隔热笼下隔热底板8的尺寸为1190×1190×45mm，原有G5下隔热底板作为改造后的上隔热底板7使用；9）侧面加热器吊臂13设计尺寸为420×205×25mm，侧面加热器吊臂13上设有石墨电极18；10）侧面加热器转角14设计尺寸为165×165×20mm；11）A1面侧面加热器15、A4面侧面加热器16、A3面侧面加热器17与侧面加热器吊臂13连接处设有凹槽，凹槽的尺寸为110×73.5×5mm。本方法与常规G5升级G6方案对比，整体上看常规的G5升级G6方案隔热笼内空尺寸1450×1450mm，隔热板厚度为180mm，隔热笼净空尺寸为1270×1270mm，而本方案G5升级G6后，隔热笼净空尺寸仅为1230×1230mm，但1230×1230mm内空可以满足目前G6常规坩埚1040×1040mm的尺寸要求，同时由于隔热笼为原有G5隔热笼，原有净空尺寸为1170×1170mm，为使得净空尺寸能满本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种G5多晶铸锭炉改造为G6多晶铸锭炉的方法，其特征在于，包括步骤：隔热笼外部保温板（3）外侧开槽，槽深为30mm，所述隔热笼外部保温板（3）设置4块，分为上层2块、下层2块，上层2块隔热笼外部保温板（3）上的开槽尺寸长*宽*高为490×50×30mm，上层2块隔热笼外部保温板（3）上的开槽数左侧为3条、右侧为2条，下层2块隔热笼外部保温板（3）上的开槽尺寸长*宽*高为658×50×30mm, 下层2块隔热笼外部保温板（3）上的开槽数左侧为3条、右侧为2条；隔热笼内部保温板(4) 设置4块，分为上层2块、下层2块，隔热笼内部保温板(4)上层左侧倒角45°切割处理，上层左侧的隔热笼内部保温板(4)加工后尺寸为576×541×45mm，隔热笼内部保温板(4)下层左侧倒角45°切割处理，下层左侧的隔热笼内部保温板(4)加工后尺寸为615×541×45mm；隔热笼转角部位设有转角隔热板（12），转角隔热板（12）分为上下部分，其中上部的转角隔热板（12）尺寸为662×127×21mm，下部的转角隔热板（12）尺寸为610×127×21mm；隔热笼内部的上保温板设有2块，尺寸分别为686×615×45mm和686×576×45mm；隔热笼顶部保温板（1）尺寸为1225×1225×90mm；隔热笼底部设有上挡火条上（10）和下挡火条（11），上挡火条上（10）和下挡火条（11）的尺寸分别为1178×90×45mm和1257×115×45mm；DS块(5)进行加宽， DS块（5）设有加宽条，加宽条结构设计尺寸为1040×135×101.5mm加装加宽条后DS块（5）的尺寸为1040mm×1040mm；隔热笼下隔热底板 (8)的尺寸为1190×1190×45mm，原有G5下隔热底板作为改造后的上隔热底板（7）使用；侧面加热器吊臂（13）设计尺寸为420×205×25mm，侧面加热器吊臂（13）上设有石墨电极（18）；侧面加热器转角（14）设计尺寸为165×165×20mm；A1面侧面加热器（15）、A4面侧面加热器（16）、A3面侧面加热器（17）与侧面加热器吊臂（13）连接处设有凹槽，凹槽的尺寸为110×73.5×5mm。...
【技术特征摘要】
1.一种G5多晶铸锭炉改造为G6多晶铸锭炉的方法，其特征在于，包括步骤：隔热笼外部保温板（3）外侧开槽，槽深为30mm，所述隔热笼外部保温板（3）设置4块，分为上层2块、下层2块，上层2块隔热笼外部保温板（3）上的开槽尺寸长*宽*高为490×50×30mm，上层2块隔热笼外部保温板（3）上的开槽数左侧为3条、右侧为2条，下层2块隔热笼外部保温板（3）上的开槽尺寸长*宽*高为658×50×30mm,下层2块隔热笼外部保温板（3）上的开槽数左侧为3条、右侧为2条；隔热笼内部保温板(4)设置4块，分为上层2块、下层2块，隔热笼内部保温板(4)上层左侧倒角45°切割处理，上层左侧的隔热笼内部保温板(4)加工后尺寸为576×541×45mm，隔热笼内部保温板(4)下层左侧倒角45°切割处理，下层左侧的隔热笼内部保温板(4)加工后尺寸为615×541×45mm；隔热笼转角部位设有转角隔热板（12），转角隔热板（12）分为上下部分，其中上部的转角隔热板（12）尺寸为662×127×21mm，下部的转角隔热板（12）尺寸...
【专利技术属性】
技术研发人员：宋丽平，张珩琨，许桢，冯子甜，
申请(专利权)人：江西旭阳雷迪高科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江西;36
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