热处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种热处理装置，其能够实现节能化，且能够使供给电力的形态更为多样化。热处理装置(1)具备热处理炉(2)、热电转换部件(3)、控制装置(4)以及切换部(5)。热处理炉(2)设置为用于对被处理物(100)进行热处理。热电转换部件(3)用于将来自热处理炉(2)的热能转换为电力。控制装置(4)设置为用于控制热处理炉(2)。切换部(5)将来自外部电源(20)的电力和来自热电转换部件(3)的电力择一供给至控制装置(4)。

【技术实现步骤摘要】
本专利技术是申请号为2013100643938、申请日为2013年2月28日、专利技术名称为“热处理装置”的中国专利技术专利申请的分案申请。
本专利技术涉及热处理装置。
技术介绍
已知有用于对基板进行加热处理的基板加热处理装置(例如参照专利文献1)。在专利文献1中记载的基板加热处理装置具备能够收纳基板的处理腔。在处理腔内配置有热板。热板设置为用于加热基板。在热板的侧方配置有热电转换模块。热电转换模块用于将来自热板的热能转换为电力。该电力供给至电力供给源。来自电力供给源的电力用于基板加热处理装置的各部的驱动。通过上述结构，企图对热板的热能进行有效利用。专利文献1：日本特开2000-68183号公报(0026段、0032段)但是，热处理装置为了通过电热加热器来对基板等被加热物进行加热，需要较大的电力。因此，热处理装置通常使用作为由电力公司提供的电源的外部电源，来确保必需的电力。在专利文献1中记载的结构中，由热电转换模块供给的电力被供给至用于驱动基板处理装置的各部的电力供本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种热处理装置，其特征在于，所述热处理装置具备：热处理炉，其用于对被处理物进行热处理；热电转换部件，其将来自所述热处理炉的热能转换为电力；控制装置，其用于控制所述热处理炉；以及切换部，其用于将来自外部电源的电力和来自所述热电转换部件的电力择一供给至所述控制装置，所述切换部构成为，在所述热处理炉的温度小于预定的阈值时，将来自所述外部电源的电力供给至所述控制装置，并且，在所述热处理炉的温度为所述阈值以上时，将来自所述热电转换部件的电力供给至所述控制装置。

【技术特征摘要】
2012.10.05 JP JP2012-2228631.一种热处理装置，其特征在于，所述热处理装置具备：
热处理炉，其用于对被处理物进行热处理；
热电转换部件，其将来自所述热处理炉的热能转换为电力；
控制装置，其用于控制所述热处理炉；以及
切换部，其用于将来自外部电源的电力和来自所述热电转换部件的电力择一供给
至所述控制装置，
所述切换部构成为，
在所述热处理炉的温度小于预定的阈值时，将来自所述外部电源...

【专利技术属性】
技术研发人员：向井正行，
申请(专利权)人：光洋热系统股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP