半导体甩干机控制器制造技术

半导体甩干机控制器，涉及半导体设备领域，解决现有半导体甩干机控制器存在因使用年限长而导致不稳定且故障率高的问题，本发明专利技术包括PLC控制器、电机驱动板、文本显示器、直流电源、指针式转速表、电机使能继电器、转速切换继电器、电机旋转继电器、喷淋转速调整电位器和甩干转速调整电位器；所述控制器分别与文本显示器、电机驱动板、直流电源、指针式转速表、喷淋转速调整电位器、甩干转速调整电位器、电机使能继电器、转速切换继电器以及电机旋转继电器连接，所述电机驱动板与直流电机连接。本发明专利技术具备操作简单，故障率低，维修方便，备件成本低，使用寿命长，可以随时根据用户需求进行功能扩展等特点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体设备领域，具体涉及一种用于半导体中芯片甩干设备，能够实现自动喷淋，吹氮气，速度调整等功能。
技术介绍
目前，生产线上使用的C225控制器由于使用年限较长，控制器出现不稳定的情况，尤其是CPU板，故障率偏高，已经对生产和质量产生了很大影响，而购买CPU板价格昂贵，并且资源很少，采购困难。为了从根本上解决以上问题，进行了设备开发，使用自制控制器替代SEMITOOL公司的C225控制器，降低设备故障率，提高设备的稳定性，延长设备使用寿命，降低维护成本，实现C225控制器国产化。
技术实现思路
本专利技术为解决现有半导体甩干机控制器存在因使用年限长而导致不稳定且故障率高的问题，提供一种半导体甩干机控制器。半导体甩干机控制器，包括PLC控制器、电机驱动板、文本显示器、直流电源、指针式转速表、电机使能继电器、转速切换继电器、电机旋转继电器、喷淋转速调整电位器和甩干转速调整电位器；所述控制器分别与文本显示器、电机驱动板、直流电源、指针式转速表、喷淋转速调整电位器、甩干转速调整电位器、电机使能继电器、转速切换继电器以及电机旋转继电器连接，所述电机驱动板与直流电机连接。本专利技术的有益效果：本专利技术所述的控制器采用PLC控制方式，人机界面采用TD200文本显示器，可以实现功能参数设定和数据显示。电机控制采用BC2000驱动板，外部安装电位器实现转速的设定。控制器接口仍采用原有连接方式，并且线序保持不变，改造后的控制器可以直接与原设备连接而不需要改变线路，即可以实现控制器通用性，完全替代C225控制器功能。本专利技术具备操作简单，故障率低，维修方便，备件成本低，使用寿命长，可以随时根据用户需求进行功能扩展等特点。附图说明图1为本专利技术所述的半导体甩干机控制器的结构示意图；图2为本专利技术所述的半导体甩干机控制器的电气原理示意图；图3为本专利技术所述的半导体甩干机控制器的流程图；图4为本专利技术所述的半导体甩干机控制器的操作界面效果图。具体实施方式具体实施方式一、结合图1至图4说明本实施方式，半导体甩干机控制器，包括PLC控制器1、电机驱动板2、文本显示器3、直流电源4、指针式转速表10、电机使能继电器5、转速切换继电器6、电机旋转继电器7、喷淋转速调整电位器8和甩干转速调整电位器9；所述控制器1分别与文本显示器3、电机驱动板2、直流电源4、指针式转速表10、喷淋转速调整电位器8、甩干转速调整电位器9、电机使能继电器5、转速切换继电器6以及电机旋转继电器7连接，所述电机驱动板2与直流电机连接。本实施方式所述的PLC控制器1具体为CPU224可编程控制器，电机驱动板2为BC2000，文本显示器3为西门子TD200文本显示器，直流电源4为直流24V开关电源。本实施方式中所述的输入设备包括启动按钮开关、停止按钮开关和门限开关。结合图2和图3说明本实施方式，本实施方式中PLC控制器作为核心部分，其的工作过程分为两步，第一步为喷淋程序，第二步为甩干程序；程序的运行通过首先启动输入设备中启动按钮开关，当按下启动按钮开关时，程序开始运行，当按下停止按钮开关时，程序停止运行。同时，门限开关为保护开关，检测门是否关闭好，门限开关未接通程序无法运行，当门限开关在运行过程中断开时，程序自动截止并报警。在喷淋程序阶段，由TD200显示器输入喷淋程序阶段时间设定值，由喷淋转速调整电位器8设定喷淋程序阶段转速值，程序开始运行后PLC内部计时器自动开始计时，并显示在文本显示器上，PLC控制器的Q0.1输出信号给甩干机的喷淋电磁阀和喷淋指示灯,Q0.0输出信号给甩干机的气囊电磁阀，Q0.4输出信号给电机使能继电器5，Q0.5输出信号给转速切换继电器6，Q0.6输出信号给电机旋转继电器7。当喷淋程序阶段计时器结束时，以上所有功能关闭，程序进入甩干程序阶段。在程甩干序阶段，由TD200显示器输入甩干程序阶段时间设定值，由甩干转速调整电位器9设定甩干程序阶段转速值，甩干程序开始运行后PLC内部计时器自动开始计时，并显示在文本显示器上，PLC控制器的Q0.0输出信号给甩干机的气囊电磁阀，Q0.2输出信号给氮气电磁阀，Q0.3输出信号给加热棒和加热指示灯，Q0.4输出信号给电机使能继电器5，Q0.5输出信号给转速切换继电器6，Q0.6输出信号给电机旋转继电器7。甩干程序计时结束后程序停止运行。结合图4说明本实施方式，本实施方式中，操作界面的文本显示器为中文彩色界面；F1键：进入喷淋程序，喷淋时间设定；F2键：进入甩干程序，甩干时间设定，▲键：计时时间增加，▼键：计时时间减少，旋钮1：调节喷淋时电机转速，顺时针转速增加，旋钮2：调节甩干时电机转速，顺时针转速增加。直流电机转速控制输出0-2000转/分，偏差±5％；输入电源85-264VAC，经开关电源转换为内部工作电压DC24V；计时器采用PLC内置定时器，计时准确；具备门联锁防护功能，门打开状态下，甩干机无法运行；具备扩展功能。本文档来自技高网...

【技术保护点】
半导体甩干机控制器，包括PLC控制器(1)、电机驱动板(2)、文本显示器(3)、直流电源(4)、指针式转速表(10)、电机使能继电器(5)、转速切换继电器(6)、电机旋转继电器(7)、喷淋转速调整电位器(8)和甩干转速调整电位器(9)；其特征是；所述控制器(1)分别与文本显示器(3)、电机驱动板(2)、直流电源(4)、指针式转速表(10)、喷淋转速调整电位器(8)、甩干转速调整电位器(9)、电机使能继电器(5)、转速切换继电器(6)以及电机旋转继电器(7)连接，所述电机驱动板2与直流电机连接；所述PLC控制器作为核心部分，能够实现喷淋功能和甩干功能。

【技术特征摘要】
1.半导体甩干机控制器，包括PLC控制器(1)、电机驱动板(2)、文本显
示器(3)、直流电源(4)、指针式转速表(10)、电机使能继电器(5)、转速切
换继电器(6)、电机旋转继电器(7)、喷淋转速调整电位器(8)和甩干转速调
整电位器(9)；其特征是；
所述控制器(1)分别与文本显示器(3)、电机驱动板(2)、直流电源(4)、
指针式转速表(10)、喷淋转速调整电位器(8)、甩干转速调整电位器(9)、电
机使能继电器(5)、转速切换继电器(6)以及电机旋转继电器(7)连接，所
述电机驱动板2与直流电机连接；所述PLC控制器作为核心部分，能够实现喷
淋功能和甩干功能。
2.根据权利要求1所述的半导体甩干机控制器，其特征在于，所述喷淋的
具体过程为：文本显示器(3)输入设定的时间值，由喷淋转速调整电位器(8)
设定喷淋的转速值，PLC控制器内部计时器自动开始计时，并显示在文本显示
器(3)上，所述PLC控制器分别输出信号给甩干机的...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨虎，
申请(专利权)人：吉林华微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：吉林;22