基于积分球的高功率激光多参数测量装置制造方法及图纸

技术编号:13291295 阅读:126 留言:0更新日期:2016-07-09 09:38
本发明专利技术提供了一种基于积分球的高功率激光多参数测量装置,由缩束镜、积分球、光电管、能量计、光纤耦合器、示波器、光谱仪和计算机组成。其特点在于:大口径待测激光经缩束镜缩束,进入一个四开口积分球,在三个出光口分别测量出射光的光谱、能量、时间波形,通过简单的运算可以恢复待测激光的光谱参数、能量参数、时间波形参数。本发明专利技术可以消除能量计的面均匀性误差、提高测量精度,对待测激光入射方向的宽容度高、空间体积小、易于集成。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光学测量领域,具体用于高功率激光多参数测量,主要用于测量光谱参数、能量参数、时间波形参数。
技术介绍
现有的高功率激光多参数测量系统,通常是基于光的透反特性、采用多片平板玻璃将入射光分成多束,注入不同的测量仪器直接或间接测量相关参数。这种测量方案需要对于每个平板玻璃单独调节,费时费力;占有较大的空间,不易于集成;同时对于待测光入射方向要求极高,若待测光的入射方向出现一点偏差,就可能影响测量结果甚至无法读数。国外的学者在论文中提出了一种基于光栅的高功率激光多参数测量方案,该方案采用光栅将待测光分成多束,通过设计光栅结构,使得出射光具有合理的分光比和出射方向。相较于传统的方法,该方案采用单一元件分光,解决了集成化的问题。但同样对于待测光的入射方向要求极高,而且衍射光栅损伤阈值较低易被高功率激光打坏。现有的高能激光能量计主要有两种:热电偶能量计、热释电能量计。主要误差有面均匀性误差、定标误差、读数误差等。积分球是一种内部涂有漫反射涂层的空腔球体,其衰减率为,其中,ρ为漫反射涂层的反射率,R为积分球半径,Sout分别为出本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于积分球的高功率激光多参数测量装置,其特征在于包括:缩束镜、积分球(3)、能量计(4)、光电管(5)、光纤耦合器(6)、与能量计(4)相连的计算机(7)、与光电管(5)相连的示波器(8)和与光纤耦合器(6)相连的光谱仪(9);所述的缩束镜置于积分球(3)的入光口前,所述的能量计(4)置于积分球(3)第一出光口前,用计算机(7)采集能量计输出的数据;所述的光电管(5)置于积分球(3)第二出光口前,用示波器(8)采集光电管输出数据;所述的光纤耦合器(6)置于积分球(3)第三出光口前,用光谱仪(9)采集光纤耦合器输出的光谱参数。

【技术特征摘要】
1.一种基于积分球的高功率激光多参数测量装置,其特征在于包括:缩束
镜、积分球(3)、能量计(4)、光电管(5)、光纤耦合器(6)、与能量计(4)相连的计算
机(7)、与光电管(5)相连的示波器(8)和与光纤耦合器(6)相连的光谱仪(9);
所述的缩束镜置于积分球(3)的入光口前,所述的能量计(4)置于积分球(3)第
一出光口前,用计算机(7)采集能量计输出的数据;所述的光电管(5)置于积分球
(3)第二出光口前,用示波器(8)采集光电管输出数据;所述的光纤耦合器(6)置于
积分球(3)第三出光口前,用光谱仪(9)采集光纤耦合器输出的光谱参数。

【专利技术属性】
技术研发人员:唐顺兴陈欣惠宏超井媛媛朱宝强
申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所
类型:发明
国别省市:上海;31

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