【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及多晶硅电池片生产
,特别涉及一种多晶硅多线切割装置,尤其是一种多晶硅多线切割装置的喷砂系统。
技术介绍
多线切割是切割大直径多晶硅铸锭的有效方法,近年来多线切割机(简称线锯)以其极高的生产效率和出片率,在大直径硅片加工领域已逐渐取代内圆切割机,线切割加工的过程有赖于晶硅切割液(又称悬浮液)与碳化硅微粉(又称磨料)的混配液-砂浆。实际切割过程中,砂浆被往复运动的钢线带到切割区,被带入的砂浆决定硅片的切割质量,而钢线所带砂浆中所含有碳化硅微粉的粒型及粒度,是决定切割材料成品片表面光洁程度和切割能力的关键。若碳化硅微粉的粒型规则则切出来的成品片表面光洁度就会很好,碳化硅微粉的粒度分布均匀则会提高切割机的切割能力。多线切割加工过程中会产生大量的废砂浆,这些废砂浆中含有大量的未参与切割的碳化硅刃料,并含有铁料、硅料、碳化硅料,其中碳化硅料颗粒按照粒径大小分为可重复利用颗粒刃料与磨损的废颗粒。废砂浆中较大杂质碎片可用普通不锈钢过滤网过滤,可是切屑却随砂浆流入砂桶,再次循环进入喷砂管容易堵塞管道及喷嘴,降低设备使用寿命和加工质量。
技术实现思路
为解决上述技术问题,本专利技术提供了一种多晶硅多线切割装置的喷砂系统,以实现喷嘴堵塞时的及时高效自动疏通。为达到上述目的,本专利技术的技术方案如下:一种多晶硅多线切割装置的喷砂系统,包括:两套砂浆座和两套砂浆管固定装置,所述砂浆座 ...
【技术保护点】
一种多晶硅多线切割装置的喷砂系统,其特征在于,包括:两套砂浆座和两套砂浆管固定装置,所述砂浆座上均固定有管接头和固定块,砂浆管固定装置由砂浆管、连接板和砂浆尾座组成,砂浆管上设置有并列的喷嘴;所述喷嘴的内侧壁设置有压力传感器,所述喷嘴的外侧设置有振动器,所述压力传感器用于检测所述喷嘴的喷射压力,并将压力信号传输至控制器,通过所述控制器控制所述振动器振动与否。
【技术特征摘要】
1.一种多晶硅多线切割装置的喷砂系统,其特征在于,包括:
两套砂浆座和两套砂浆管固定装置,所述砂浆座上均固定有管接头和
固定块,砂浆管固定装置由砂浆管、连接板和砂浆尾座组成,砂浆管上设
置有并列的喷嘴;
所述喷嘴的内侧壁设置有压力传感器,所述喷嘴的外侧设置有振动器,
所述压力传感器用于检测所述喷嘴的喷射压力,并将压力信号传输至控制
器,通过所述控制器控制所述振动器振动与否。
...
【专利技术属性】
技术研发人员:蒋兴贤,
申请(专利权)人:常州兆晶光能有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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